[發明專利]TiAlN?涂層工具有效
| 申請號: | 201380041300.8 | 申請日: | 2013-07-23 |
| 公開(公告)號: | CN104520472B | 公開(公告)日: | 2017-09-12 |
| 發明(設計)人: | 法伊特·席爾;烏爾里希·阿爾伯斯 | 申請(專利權)人: | 瓦爾特公開股份有限公司 |
| 主分類號: | C23C28/04 | 分類號: | C23C28/04;C23C28/00;C23C30/00;C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司: | 中原信達知識產權代理有限責任公司11219 | 代理人: | 張爽,郭國清 |
| 地址: | 德國*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | tialn 涂層 工具 | ||
1.一種包含基體和以PVD工藝施加至所述基體的單層或多層耐磨保護涂層的工具,所述基體由硬質金屬、金屬陶瓷、陶瓷或鋼制成,所述耐磨保護涂層中的至少一層是其中x+y=1的鈦鋁氮化物TixAlyN層,其特征在于
所述TixAlyN層是具有至少40個周期性交替的Tix(A)Aly(A)N涂層(A)和Tix(B)Aly(B)N涂層(B)的多涂層亞結構,其中x(A)+y(A)=1,x(B)+y(B)=1,
涂層(B)中的Al濃度y(B)最多占67原子%(y(B)≤0.67),和涂層(B)中的Al濃度y(B)比涂層(A)中的Al濃度y(A)高10至25原子%(y(B)=(y(A)+0.10)至(y(A)+0.25)),
所述Tix(A)Aly(A)N涂層(A)中Ti與Al的濃度比x(A):y(A)為0.45:0.55至0.55:0.45,并且
所述TixAlyN層的維氏硬度HV為2500至4000HV 0.015,所述TixAlyN層在10μm長度上測量的平均表面粗糙度Ra≤1.0μm,并且所述TixAlyN層的彈性模量(E-模量)為380GPa至470GPa。
2.根據權利要求1所述的工具,其特征在于所述鈦鋁氮化物TixAlyN層根據工藝含有最高達5重量%的其它金屬。
3.根據權利要求1所述的工具,其特征在于所述耐磨保護涂層中的所述至少一個TixAlyN層具有至多300個周期性交替的Tix(A)Aly(A)N涂層(A)和Tix(B)Aly(B)N涂層(B)。
4.根據前述權利要求中的任一項所述的工具,其特征在于所述Tix(A)Aly(A)N涂層(A)的厚度在2至40nm的范圍內,和所述Tix(B)Aly(B)N涂層(B)的厚度在1至20nm的范圍內。
5.根據權利要求4所述的工具,其特征在于所述Tix(A)Aly(A)N涂層(A)的厚度在4至15nm的范圍內。
6.根據權利要求4所述的工具,其特征在于所述Tix(B)Aly(B)N涂層(B)的厚度在2至7nm的范圍內。
7.根據權利要求1至3中的任一項所述的工具,其特征在于所述Tix(A)Aly(A)N涂層(A)的厚度是所述Tix(B)Aly(B)N涂層(B)的厚度的1.5至3.0倍。
8.根據權利要求1至3中的任一項所述的工具,其特征在于所述Tix(A)Aly(A)N涂層(A)中Ti與Al的濃度比x(A):y(A)為0.50:0.50。
9.根據權利要求1至3中的任一項所述的工具,其特征在于所述具有多涂層亞結構的TixAlyN層為所述耐磨保護涂層的最外層。
10.根據權利要求9所述的工具,其特征在于所述工具至少在特定區域具有疊加的薄的磨損檢測層,所述疊加的薄的磨損檢測層的厚度為0.1至1.5μm。
11.根據權利要求10所述的工具,其特征在于所述疊加的薄的磨損檢測層是TiN或ZrN層。
12.根據權利要求1至3中的任一項所述的工具,其特征在于所述工具為整體硬質金屬工具或可轉位刀具刀片。
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