[發明專利]復合傳感器及復合傳感器模塊

有效

• 申請號: 201380041019.4
• 申請日: 2013-04-16
• 公開（公告）號: CN104508441B
• 公開（公告）日: 2017-03-08
• 發明（設計）人: 尾島史一;間瀬光人;櫻井直人
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: G01J5/04
• 分類號: G01J5/04;G01J5/02;H01L27/146;H04N5/33
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司11322
• 代理人: 楊琦

1.一種復合傳感器，其特征在于，

具備：

第1基板，其排列有由多個熱電元件構成的熱圖像傳感器；以及

第2基板，其排列有距離圖像傳感器，所述距離圖像傳感器具有根據入射光而產生電荷的電荷產生區域、以及基于預先所賦予的電荷傳送信號而將在所述電荷產生區域產生的電荷傳送至規定的電荷收集區域的傳送電極，

所述第2基板以所述熱圖像傳感器的排列區域與所述距離圖像傳感器的排列區域從層疊方向看重疊的方式層疊在所述第1基板，

通過所述第1基板與所述第2基板的層疊，從而形成以所述第1基板為頂板而密封所述熱圖像傳感器的周圍的空間的密封體。

2.如權利要求1所述的復合傳感器，其特征在于，

所述第2基板中的所述距離圖像傳感器的排列間距比所述第1基板中的所述熱圖像傳感器的排列間距小。

3.如權利要求1或2所述的復合傳感器，其特征在于，

在所述密封體的內壁面，形成有通過中紅外區域的光的光學濾波膜。

4.如權利要求1～3中的任一項所述的復合傳感器，其特征在于，

所述密封體的內部為真空狀態。

5.一種復合傳感器模塊，其特征在于，

具備：權利要求1～4中的任一項所述的復合傳感器；以及以所述第2基板中的所述距離圖像傳感器的排列區域成為成像面的方式配置的透鏡。