[發(fā)明專利]具有單色F?θ物鏡的無色掃描裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201380040097.2 | 申請日： | 2013-07-24 |
| 公開（公告）號： | CN104508536B | 公開（公告）日： | 2017-10-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 烏爾利希·克洛伊格;湯瑪士·德烈斯勒;史戴芬·海納曼 | 申請（專利權(quán)）人： | 耶恩光學系統(tǒng)公司 |
| 主分類號： | G02B27/00 | 分類號： | G02B27/00;G02B26/12 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11243 | 代理人： | 許靜,黃燦 |
| 地址： | 德國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 具有 單色 物鏡 無色 掃描 裝置 | ||
1.一種無色掃描裝置，其具有一光源(1)，一包含一旋轉(zhuǎn)式多角形棱柱面鏡(3.1)且具一多角形角度(Wp)的掃描單元(3)、一布置于該多角形棱柱面鏡(3.1)上游的上游光學掃描器件(2)以及一布置于該多角形棱柱面鏡(3.1)下游的下游光學掃描器件(4)，該上游光學掃描器件用于成型一由該光源(1)所發(fā)射的光束(1.1)并將其導引至該多角形棱柱面鏡(3.1)，其中該光束(1.1)具有一包含第一波長(λ1)的第一射束分量(1.1.1)及一包含第二波長(λ2)的第二射束分量(1.1.2)，該下游光學掃描器件由一F-θ物鏡構(gòu)成，該F-θ物鏡用于成型被該多角形棱柱面鏡(3.1)沿掃描方向(R)所偏轉(zhuǎn)的光束(1.1)并將其導引至一目標表面(5)，該目標表面是針對該二射束分量(1.1.1)、(1.1.2)布置在該下游光學掃描器件的一影像平面(BEpost)內(nèi)，其中，
該下游光學掃描器件(4)采用單色方案，也即只對具一波長的一光束成像到一理想的影像位置，且該上游光學掃描器件(2)及該下游光學掃描器件(4)設(shè)計成使得針對映射至該目標表面(5)的光束(1.1)而言，該上游光學掃描器件在一第一像側(cè)交點距離(s'preλ1)處的第一影像平面(BEpreλ1)與該下游光學掃描器件的針對該第一射束分量(1.1.1)的第一物鏡平面(OE postλ1)疊合，該上游光學掃描器件在一第二像側(cè)交點距離(s'preλ2)處的一個第二影像平面(BEpreλ2)與該下游光學掃描器件的針對該第二射束分量(1.1.2)的一個第二物鏡平面(OEpostλ2)疊合，其中，該下游光學掃描器件的影像平面(BEpost)和該下游光學掃描器件的該第一物鏡平面(OEpostλ1)及該下游光學掃描器件的該第二物鏡平面(OEpostλ2)共軛，從而針對該二射束分量(1.1.1)、(1.1.2)而校正縱向色差，其特征在于，
該下游光學掃描器件(4)具有一針對該第一射束分量1.1.1的第一像側(cè)焦距(f'postλ1)，且具有一針對該第二射束分量1.1.2的第二像側(cè)焦距(f'postλ2)，該第一及第二像側(cè)焦距滿足以下等式：
2f`postλ1Wp+f`postλ1Ws1(Wp；s`preλ1)＝2f`postλ2Wp+f`postλ2Ws2(Wp；s`preλ2),
其中，Ws1為該第一射束分量(1.1.1)的角向分量，Ws2為該第二射束分量(1.1.2)的角向分量，且tan(Ws1)≈Sw/2×sin(Wp)/s'preλ1且tan(Ws2)≈Sw/2×sin(Wp)/s'preλ2，其中Sw為多角形棱柱面鏡(3.1)的基本寬度，從而同樣針對該二射束分量(1.1.1)、(1.1.2)而校正橫向色差。
2.如權(quán)利要求1的無色掃描裝置，其特征在于，
該上游光學掃描器件(2)上游設(shè)有一調(diào)制器(6)，其采用某種控制方案，使得該調(diào)制器的用于使該光束(1.1)圍繞該上游光學掃描器件的一光軸(Apre)轉(zhuǎn)動的角速度與多角形棱柱面鏡(3.1)的旋轉(zhuǎn)速度相同，從而使得該光束(1.1)的中心射束總是對準該多角形棱柱面鏡(3.1)的一反射式多角形棱柱面鏡(3.1.1)的中點。
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