[發明專利]光傳感器

有效

• 申請號: 201380039851.0
• 申請日: 2015-08-03
• 公開（公告）號: CN104508438A
• 公開（公告）日: 2015-07-29
• 發明（設計）人: 杉浦真紀子;吉田貴彥;大塚澄
• 申請（專利權）人: 株式會社電裝
• 主分類號: G01J1/06
• 分類號: G01J1/06;G01J1/02;G01J3/18;G01N21/17;G01W1/12;G01W1/14;G01C1/00;G02B5/20;H01L27/14;H01L31/10;H01L31/12
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 徐冰冰;劉杰

本申請以于2012年9月7日提出申請的日本專利申請號2012－197339號為基礎，將其記載內容援引到本申請中。

技術領域

本申請涉及具有受光部、限定朝受光部入射的入射光的入射角度的限定部、以及選定入射光的波長的選定部的光傳感器。

背景技術

以往，例如如專利文獻1所示，提案有包括光電二極管、限制入射光相對于光電二極管的受光區域的入射角度的角度限制濾波器、以及透射入射光中的特定波長的光的光帶通濾波器的光學傳感器。角度限制濾波器由遮光物質形成，光帶通濾波器由多層薄膜形成。角度限制濾波器形成在光電二極管上，光帶通濾波器形成在角度限制濾波器上。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2011－203247號公報

發明內容

在專利文獻1所公開的光學傳感器中，角度限制濾波器由遮光物質形成，光帶通濾波器由多層薄膜形成。角度限制濾波器與光帶通濾波器分開形成，因此光學傳感器的體型增大。

本申請的目的在于提供一種抑制了體型的增大的光傳感器。

在本申請的一例中，光傳感器具有受光部；限定部，限定朝受光部入射的入射光的入射角度；以及選定部，選定入射光的波長，其中，限定部以及選定部共有設置于受光部的上方的遮光膜。限定部具有形成于遮光膜的開口部，選定部具有設置在由開口部圍成的區域內的、形成于遮光膜的狹縫。

據此，與限定部與選定部分開形成的結構相比，可抑制光傳感器的體型的增大。

附圖說明

圖1是示出實施方式所涉及的光傳感器的概要結構的剖視圖。

圖2是用于對光傳感器的主要部分進行說明的剖視圖。

圖3是用于對開口部和狹縫進行說明的俯視圖。

圖4是用于對狹縫的變形例進行說明的剖視圖。

圖5是用于對狹縫的變形例進行說明的剖視圖。

圖6是用于對狹縫的變形例進行說明的俯視圖。

具體實施方式

以下，在本申請中，基于附圖對搭載于車輛的前風窗的情況下的實施方式進行說明。前風窗相當于透明板。基于圖1～圖3對本實施方式所涉及的光傳感器進行說明。

光傳感器100具有受光部10、限定部30以及選定部50。限定部30限定朝受光部10入射的入射光的入射角度，選定部50選定入射光的波長。光傳感器100除了受光部10、限定部30和選定部50之外，還具有發光部70和收納部80。如圖1所示，收納部80搭載于前風窗的內壁面，在由收納部80和前風窗構成的收納空間內設置有受光部10、限定部30、選定部50以及發光部70。經由前風窗、限定部30以及選定部50的車外的光以及從發光部70照射的光朝受光部10入射。

受光部10將由限定部30限定了入射角度且由選定部50選定了波長的入射光轉換成電信號。受光部10是具有PN結的光電二極管，形成于半導體基板11的形成面11a。受光部10具有三個受光部12～14，受光部12～14各自的受光范圍(能夠檢測的光的波段)不同。

限定部30具有：具有透光性的透光膜31；具有遮光性的遮光膜32；以及形成于該遮光膜32的開口部33。如圖2所示，遮光膜32由第一膜32a、第二膜32b和第三膜32c構成，且按照上述順序在形成面11a(受光部10)的上方隔開預定的間隔層疊。開口部33具有與受光部12～14分別對應的開口部34～36，如圖2中用虛線箭頭表示的那樣，由開口部34～36限定的入射光的入射角度不同。此外，如圖3中用虛線表示的那樣，開口部34～36各自的開口面積也不同。

選定部50共有限定部30所具有的遮光膜32，且具有形成于該共有的遮光膜32的狹縫51。如上所述，第一膜32a、第二膜32b和第三膜32c在形成面11a的上方隔開預定的間隔層疊。選定部50與限定部30共有遮光膜32中的、離開形成面11a的第二膜32b和第三膜32c，在所共有的第二膜32b與第三膜32c上形成有狹縫51。

狹縫51位于由開口部33圍成的區域內，具有與受光部12～14分別對應的狹縫52～54。由狹縫52～54選定的入射光的波長不同，第1狹縫52選定由發光部70照射的光中所主要包含的波段，第2狹縫53選定除了由發光部70照射的光中所主要包含的波段以外的波段。并且，第3狹縫54選定紅外線。如圖2所示，在第二膜32b和第三膜32c上分別形成第1狹縫52，在第三膜32c上形成狹縫53、54。