[發(fā)明專(zhuān)利]半導(dǎo)體晶圓輸送器具

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380039787.6
• 申請(qǐng)日: 2015-08-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104508813A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-07-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 六辻利彥;長(zhǎng)田要
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 千住金屬工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/673
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/673;B65G49/07
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會(huì)華

1.一種半導(dǎo)體晶圓輸送器具，其用于對(duì)規(guī)定大小的半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行保持且進(jìn)行輸送，其特征在于，

該半導(dǎo)體晶圓輸送器具包括：

主體構(gòu)件，其設(shè)有口徑大于上述半導(dǎo)體晶圓的直徑的開(kāi)口部；

支承構(gòu)件，其至少為三個(gè)，具有規(guī)定的長(zhǎng)度且具有與上述半導(dǎo)體晶圓的直徑相對(duì)應(yīng)地配置的多個(gè)銷(xiāo)構(gòu)件，而且，該支承構(gòu)件構(gòu)成用于在上述主體構(gòu)件自上述開(kāi)口部的內(nèi)緣部位突出的位置將半導(dǎo)體晶圓以同心圓狀保持的保持機(jī)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體晶圓輸送器具，其特征在于，

對(duì)應(yīng)每一個(gè)上述銷(xiāo)設(shè)置有一個(gè)以上的高度高于上述銷(xiāo)的高度的晶圓位置偏移防止引導(dǎo)件，該晶圓位置偏移防止引導(dǎo)件呈同心圓狀設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體晶圓輸送器具，其特征在于，

上述銷(xiāo)的高度為至少兩種高度，

高度相同的銷(xiāo)配置在同一圓周上，且以高度自輸送器具的中心朝向外側(cè)依次升高的方式以同心圓狀配置上述銷(xiāo)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體晶圓輸送器具，其特征在于，

上述保持機(jī)構(gòu)由支承板、保持銷(xiāo)以及晶圓位置偏移防止引導(dǎo)件構(gòu)成：

該支承板自上述開(kāi)口部的中心以放射狀配置；

該保持銷(xiāo)用于在上述支承板上自上述半導(dǎo)體晶圓的下方保持上述半導(dǎo)體晶圓；

該晶圓位置偏移防止引導(dǎo)件在上述支承板上位于比該保持銷(xiāo)靠外側(cè)的位置且高度高于上述保持銷(xiāo)的高度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體晶圓輸送器具，其特征在于，

自上述開(kāi)口部的中心以放射狀設(shè)有三個(gè)以上的上述支承板。