[發明專利]研磨材料再生方法

在審

• 申請號: 201380039008.2
• 申請日: 2013-07-24
• 公開（公告）號: CN104507639A
• 公開（公告）日: 2015-04-08
• 發明（設計）人: 永井佑樹;前澤明弘;乾智惠
• 申請（專利權）人: 柯尼卡美能達株式會社
• 主分類號: B24B57/00
• 分類號: B24B57/00;C02F11/14
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所11105
• 代理人: 張濤

技術領域

本發明涉及一種研磨材料再生方法。

背景技術

作為在玻璃光學元件，玻璃基板，半導體設備的制造工序中進行精密研磨的研磨材料，目前使用以氧化鈰為主成分，并向其中加入了氧化鑭，氧化釹，氧化鐠等而得到的稀土元素氧化物。作為其他的研磨材料，可以列舉金剛石、氧化鐵、氧化鋁、氧化鋯、膠體二氧化硅等。

通常，在研磨材料的主要構成元素中，包含由日本國內不出產的礦物得到的材料，一部分依賴進口資源，且大多材料價格昂貴。因此，對于含有使用過的研磨材料的研磨材料廢液，在技術上對資源的再利用化的對應成為重要問題。

通常，作為在各種產業領域中產生的含有懸浮微粒的廢水的處理方法，目前是使用中和劑或無機凝聚劑、高分子凝聚劑等將懸浮微粒凝聚分離，然后處理水排放，凝聚分離得到的污泥通過焚燒等方法進行廢棄處理。

另外，含使用過的研磨材料的廢液中混入了在研磨工序中大量產生的被研磨成分，例如光學玻璃屑等。通常難以將該廢液中所含的研磨材料成分和被研磨成分有效地分離，因此，現狀是，研磨材料廢液大多情況下在使用過后被廢棄，在廢棄成本方面存在問題。

因此，近年來，有效地回收及再利用研磨材料的主要構成元素來實現作為稀有且價值高的元素的資源節約化成為重要的問題。

關于研磨材料成分的回收方法，已經公開了回收膠體二氧化硅類的研磨材料的方法，即在鎂離子的存在下，向研磨材料廢液添加堿將pH值調整到10以上，由此進行凝聚處理來回收研磨材料的方法(例如參照專利文獻1)。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2000-254659號公報

發明內容

發明所要解決的技術問題

但是，包含使用過的研磨材料的研磨材料漿料中有時會混入與研磨材料成分不同的金屬元素粒子這樣的雜質。

專利文獻1的方法能夠將來自被研磨物的成分與研磨材料分離，回收研磨材料，但是無法去除混入的雜質即金屬元素粒子。

作為去除雜質粒子的方法，可以考慮使用具備篩孔等的陶瓷過濾器等進行去除。但是，用陶瓷過濾器等去除雜質粒子的方法中，當混入的金屬元素的粒子比研磨材料粒子的粒徑大時，能夠通過陶瓷過濾器等的過濾器進行去除，但是當混入的金屬元素的粒子與研磨材料粒子的粒徑相同或者比其小時，無法有效地去除，會導致再生研磨材料的純度降低。

本發明要解決的技術問題在于，提供一種研磨材料再生方法，其可以從包含使用過的研磨材料的研磨材料漿料中得到高純度的再生研磨材料。

用于解決技術問題的技術方案

本發明的所述技術問題可通過下述方案來解決：

1、一種研磨材料再生方法，其從包含使用過的研磨材料的研磨材料漿料中再生研磨材料，該研磨材料是選自下述研磨材料組中的至少一種，并且該研磨材料再生方法經由下述工序A～D再生研磨材料，而且工序D在工序A～C中任意一項工序之后進行或者與工序B或工序C同時進行，

工序A：回收包含使用過的研磨材料的研磨材料漿料的漿料回收工序A；

工序B：向該回收得到的研磨材料漿料中添加作為無機鹽的含有堿土金屬元素的金屬鹽，使研磨材料凝聚，從母液中分離出該研磨材料并進行濃縮的分離濃縮工序B；

工序C：將該分離并濃縮后的研磨材料進行固液分離并進行回收的研磨材料回收工序C；

工序D：用磁性過濾器過濾去除混入研磨材料漿料的金屬元素粒子的過濾工序D，

研磨材料組：氧化鈰、金剛石、氮化硼、碳化硅、氧化鋁、氧化鋁-氧化鋯、氧化鋯。

2、如第一項所述的研磨材料再生方法，其中，所述磁性過濾器由永久磁鐵材料或者電磁鐵材料構成。

3、如第一項或第二項所述的研磨材料再生方法，其還包括工序E：對回收得到的所述研磨材料的粒徑進行調整的粒徑控制工序E，

所述過濾工序D在所述粒徑控制工序E即將開始前進行。

4、如第三項所述的研磨材料再生方法，其中，在所述研磨材料回收工序C之后，所述粒徑控制工序E之前，還包括工序F：對上述回收得到的研磨材料實施過濾處理并進行二次濃縮的第二濃縮工序F。

5、如第一項至第四項中任意一項所述的研磨材料再生方法，其中，所述分離濃縮工序B中使用的含有堿土金屬元素的金屬鹽為鎂鹽。

6、如第一項至第五項中任意一項所述的研磨材料再生方法，其中，所述研磨材料回收工序C中，研磨材料的回收方法是采用自然沉降進行的傾析分離法。

發明效果