[發明專利]基于源試劑的用于批量沉積的高物質通量流體的輸送

有效

• 申請號: 201380038921.0
• 申請日: 2013-05-31
• 公開（公告）號: CN104487608A
• 公開（公告）日: 2015-04-01
• 發明（設計）人: 布賴恩·C·亨德里克斯;約翰·N·格雷格;斯科特·L·巴特爾;唐·K·納伊托;凱勒·巴托什;約翰·M·克利里;澤布姆·琴;約爾丹·霍奇斯
• 申請（專利權）人: 高級技術材料公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/458
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;張英

1.一種系統，包括：

具有包圍內部空間的一個或多個內壁的汽化器容器；和

多個試劑支持盤，其中：

所述多個試劑支持盤中的每個包括具有構造為支持供給的源試劑物質的頂面和底面的支持表面；以及

所述多個試劑支持盤構造為在所述內部空間內可垂直堆疊以形成試劑支持盤疊層，其中，所述多個試劑支持盤中的一個或多個構造為重新定向通過所述試劑支持盤疊層中的兩個或更多個相鄰的試劑支持盤之間的氣流，以使所述氣流在進入所述試劑支持盤疊層中的所述多個試劑支持盤的下一個之前，在所述多個試劑支持盤的一個特定試劑支持盤中與所述源試劑物質相互作用。

2.根據權利要求1所述的系統，其中，所述多個試劑支持盤中的每個包括至少部分跨越所述支持表面延伸的至少一個隔板，所述至少一個隔板具有在所述底面下延伸第一距離的下端和上端，以及貫穿所述下端和所述上端之間的所述至少一個隔板延伸的至少一條通道，其中，所述底面下的氣體被迫離開所述底面循環，以到達所述至少一個隔板的所述下端處的所述至少一條通道。

3.根據權利要求2所述的系統，其中，所述多個試劑支持盤中的每個構造為與所述一個或多個內壁緊密接合，使得所述至少一個隔板的所述至少一條通道提供用于所述氣體從所述底面下流至頂面上方的唯一通路。

4.根據權利要求2所述的系統，其中，所述多個試劑支持盤中的每個進一步包括側壁，其中，所述側壁基本圍繞所述支持表面的外周，并且其中，將所述側壁構造為沿著所述支持表面的外周與所述一個或多個內壁緊密接合。

5.根據權利要求4所述的系統，其中，所述多個試劑支持盤包括支持盤和構造為在所述支持盤下可垂直堆疊的下層支持盤，并且其中，所述支持盤的所述側壁的下邊緣沿著所述支持表面的所述外周與所述下層支持盤的所述側壁的上邊緣接合。

6.根據權利要求2所述的系統，其中，所述多個試劑支持盤包括支持盤和下層支持盤，其中，當將所述下層支持盤垂直堆疊在所述支持盤下時，所述下層支持盤的所述至少一個隔板構造為與所述支持盤的所述至少一個隔板偏置，使得通過所述下層支持盤的所述至少一個隔板的所述至少一條通道的所述下層支持盤的所述底面下的氣流不會直線流至所述支持盤的所述至少一個隔板的所述至少一條通道。

7.根據權利要求6所述的系統，其中，當所述下層支持盤垂直堆疊在所述支持盤下時，所述下層支持盤的所述至少一個隔板的下層上端延伸至所述支持盤的所述支持表面的所述底面的第二距離內，并且其中，所述第一距離大于所述第二距離，使得從所述下層支持盤的所述至少一個隔板的所述至少一條通道通過的氣流必須離開所述支持盤的所述底面循環，以到達所述支持盤的所述至少一個隔板的所述下端處的所述至少一條通道。

8.根據權利要求2所述的系統，其中，所述至少一個隔板通常是中空的，使得所述至少一條通道包括貫穿所述至少一個隔板延伸的槽。

9.根據權利要求2所述的系統，其中，所述至少一個隔板包括貫穿所述隔板延伸的多個孔，其中，所述多個孔形成貫穿所述多個隔板中的每個延伸的多個基本平行的通道。

10.根據權利要求2所述的系統，其中，所述多個試劑支持盤中的至少一個包括完全跨越所述支持表面延伸的至少一個隔板。

11.根據權利要求2所述的系統，其中，至少一個所述試劑支持盤包括部分跨越所述支持表面延伸的至少一個隔板。

12.根據權利要求2所述的系統，其中，至少一個所述試劑支持盤包括具有在由所述支持表面限定的平面上基本平行的側面的至少一個隔板。

13.根據權利要求2所述的系統，其中，至少一個所述試劑支持盤包括具有在由所述支持表面限定的平面上不平行的側面的至少一個隔板。

14.根據權利要求2所述的系統，其中，至少一個所述試劑支持盤包括完全跨越所述支持表面延伸的至少一個隔板，并且所述支持盤不包括僅部分跨越所述支持表面延伸的隔板。

15.根據權利要求1所述的系統，其中，所述多個試劑支持盤中的每個包括構造為允許管貫穿所述至少一個隔板和所述支持表面延伸的開口，其中，所述管構造為使載氣從所述汽化器容器的上部分流至所述汽化器容器的所述內部空間的下部分，或者從所述汽化器容器的所述內部空間的下部分流至所述汽化器容器的上部分。