[發明專利]濾光器和傳感器系統有效
| 申請號： | 201380036656.2 | 申請日： | 2013-07-16 |
| 公開（公告）號： | CN104471449B | 公開（公告）日： | 2018-05-18 |
| 發明（設計）人： | 凱倫·丹尼絲·亨德里克斯;小查理德·A.·布蘭得利;馬呂斯·格里戈尼斯 | 申請（專利權）人： | VIAVI科技有限公司 |
| 主分類號： | G02B5/28 | 分類號： | G02B5/28 |
| 代理公司： | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人： | 鄭小粵 |
| 地址： | 美國加利福尼亞*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 濾光 傳感器 系統 | ||
1.一種濾光器，所述濾光器為干涉濾光器，其具有至少與800nm至1100nm的波長范圍部分重疊的通帶和在800nm至1100nm范圍內的中心波長，所述濾光器包括：
濾光疊層，所述濾光疊層包括：
多個氫化硅層，其中的每個層在800nm至1100nm的波長范圍內的折射率均大于3；和
多個低折射率層，其中的每個層在800nm至1100nm的波長范圍內的折射率均小于3，所述多個低折射率層與所述多個氫化硅層以一對一的比率交替堆疊，其中所述通帶具有中心波長，在入射角從0°改變至30°時，所述中心波長的偏移幅度小于20nm。
2.如權利要求1所述的濾光器，其中每個所述氫化硅層在830nm波長處的折射率均大于3.6。
3.如權利要求1所述的濾光器，其中每個所述氫化硅層在800nm至1100nm的波長范圍內的折射率均大于3.5。
4.如權利要求1所述的濾光器，其中每個所述氫化硅層在800nm至1100nm的波長范圍內的吸收系數均小于0.0004。
5.如權利要求1所述的濾光器，其中每個所述低折射率層在800nm至1100nm的波長范圍內的折射率均小于2.5。
6.如權利要求1所述的濾光器，其中所述低折射率層由二氧化硅SiO
7.如權利要求1所述的濾光器，其中所述濾光器為長波長通過式截止濾波器，且其中所述通帶具有處于800nm至1100nm的波長范圍內的截止波長。
8.如權利要求1所述的濾光器，其中濾光器為帶通濾波器，且其中所述通帶的中心波長處于800nm至1100nm的波長范圍內。
9.如權利要求8所述的濾光器，其中所述通帶的半高寬FWHM小于50nm。
10.如權利要求1所述的濾光器，其中所述濾光器在所述通帶內的透光度高于90％。
11.如權利要求1所述的濾光器，其中所述通帶具有在825nm至865nm的波長范圍內的中心波長，其中在入射角從0°改變至30°時，所述中心波長的偏移幅度小于12.2nm。
12.一種傳感器系統，包括：
光源，用于在800nm至1100nm的波長范圍內的發射波長處發射光；
如權利要求1至11中的任一項所述的濾光器，其中所述通帶包括發射波長，所述濾光器被設置為接收所發射的光，用于透射所發射的光；和
傳感器，其被設置為接收所發射的經過所述濾光器透射后的光，用于檢測所發射的光。
13.如權利要求12所述的傳感器系統，其中所述濾光器被設置在所述傳感器上。
14.如權利要求12所述的傳感器系統，其中所述光源用于向目標發射光，其中所述濾光器被設置為接收所發射的經所述目標反射后的光，且其中所述傳感器為距離傳感器，用于檢測所發射的光，以感知所述目標的距離。
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