[發明專利]XIII族硒化物納米粒子有效
| 申請號: | 201380036492.3 | 申請日: | 2013-07-05 |
| 公開(公告)號: | CN104428870B | 公開(公告)日: | 2017-07-14 |
| 發明(設計)人: | 納瑟莉·格雷斯蒂;翁布雷塔·馬薩拉;克里斯托弗·紐曼;斯蒂芬·懷特萊格;奈杰爾·皮克特 | 申請(專利權)人: | 納米技術有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/02 | 分類號: | H01L21/02;H01L31/032;H01L31/0352;B82Y30/00;C01B19/00;C09D11/52 |
| 代理公司: | 中科專利商標代理有限責任公司11021 | 代理人: | 柳春琦 |
| 地址: | 英國曼*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | xiii 族硒化物 納米 粒子 | ||
1.一種制備二元第13族硒化物納米粒子的方法,所述二元第13族硒化物納米粒子具有通式MxSey,其中M是Ga或In,0<x,并且0<y,所述方法包括:
通過在第一溫度將第13族離子前體分散在非配位溶劑、配位溶劑或非配位溶劑和配位溶劑的組合中,而形成分散體;
將硒醇化合物添加到所述分散體中而形成混合物;以及
將所述混合物的溫度升高到第二溫度,并且將所述混合物在第二溫度保持一定時間,以形成所述二元第13族硒化物納米粒子;
其中所述二元第13族硒化物納米粒子基本上不含硫。
2.權利要求1所述的方法,其中所述第13族離子前體是第13族元素的氯化物、乙酸鹽或乙酰丙酮化物。
3.權利要求1所述的方法,其中所述第13族離子前體選自由以下各項組成的組:InCl3、In(OAc)3、In(acac)3、GaCl3、Ga(OAc)3和Ga(acac)3。
4.權利要求1所述的方法,其中所述硒醇是烷基、烯基、炔基或芳基硒醇。
5.權利要求1所述的方法,其中所述硒醇含有4至14個碳原子。
6.權利要求1所述的方法,其中所述硒醇化合物是辛烷硒醇。
7.權利要求1所述的方法,所述方法還包括將第二硒化合物添加至所述第13族離子前體。
8.權利要求7所述的方法,其中所述第二硒源是硒化三辛基膦。
9.權利要求1所述的方法,其中所述納米粒子的直徑為等于或小于200nm。
10.權利要求1所述的方法,其中所述納米粒子的直徑為2至100nm。
11.權利要求1所述的方法,其中所述納米粒子的直徑為等于或小于10nm。
12.一種組合物,所述組合物包含:納米粒子,所述納米粒子包含核和有機覆蓋配體,其中所述核包含二元第13族硒化物半導體,所述二元第13族硒化物納米粒子具有通式MxSey,其中M是Ga或In,0<x,并且0<y,并且其中所述有機覆蓋配體通過碳-硒共價鍵結合到所述納米粒子。
13.權利要求12所述的組合物,其中所述有機覆蓋配體是烷基、烯基、炔基或芳基基團。
14.權利要求12所述的組合物,其中所述有機覆蓋配體含有8至12個碳原子。
15.一種形成半導體膜的方法,所述方法包括:
使第13族離子前體與硒醇化合物在混合物中反應而形成二元第13族硒化物納米粒子,所述二元第13族硒化物納米粒子具有通式MxSey,其中M是Ga或In,0<x,并且0<y,所述硒醇化合物是烷基、烯基、炔基或芳基硒醇中的任一種,
將所形成的二元第13族硒化物納米粒子從所述混合物中分離,
將CuSe納米粒子和分離的二元第13族硒化物納米粒子共沉積在基材上,以及
加熱所述基材以使所述CuSe納米粒子和所述二元第13族硒化物納米粒子熔化;其中
加熱所述基材以使所述CuSe納米粒子和所述二元第13族硒化物納米粒子熔化也移除了烷基、烯基、炔基或芳基部分。
16.權利要求15所述的方法,其中所述半導體膜基本上不含硫。
17.權利要求1所述的方法,其中所述第一溫度介于50℃-150℃之間。
18.權利要求1所述的方法,其中所述第二溫度介于100℃-220℃之間。
19.權利要求1所述的方法,其中所述一定時間介于30分鐘-2小時之間。
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H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





