[發(fā)明專利]法布里?珀羅干涉儀及其生產(chǎn)方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380036359.8
• 申請日: 2013-05-08
• 公開（公告）號: CN104428642B
• 公開（公告）日: 2017-03-08
• 發(fā)明（設計）人: 塔帕尼·安蒂拉;尤西·梅克伊嫩;克里斯特·霍爾姆隆德;亞爾科·安蒂拉;于爾基·奧利拉;海基·薩里
• 申請（專利權(quán)）人: VTTOY技術(shù)研究中心
• 主分類號: G01J3/26
• 分類號: G01J3/26;G02B26/00;G02B5/28
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司11240
• 代理人: 余剛,吳孟秋

1.一種可控法布里-珀羅干涉儀，包括處于彼此基本上平行的位置上的第一反射鏡(31)和第二反射鏡(61)并且在所述第一反射鏡與所述第二反射鏡之間具有間隙(36)；在所述第一反射鏡與所述第二反射鏡之間的至少一個可控致動器(34a，34b，34c)，用于控制所述間隙的寬度；以及處于所述反射鏡中的電極，所述電極用于所述間隙的寬度的電容測量，其特征在于，所述法布里-珀羅干涉儀包括位于反射鏡與致動器之間的中間結(jié)構(gòu)，其中，所述中間結(jié)構(gòu)被布置為減少所述法布里-珀羅干涉儀的反射鏡的彎曲。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可控法布里-珀羅干涉儀，其特征在于，所述中間結(jié)構(gòu)包括桿(98a，98b，98c)，所述桿在所述桿的第一表面上附接(67a，67b，67c)至所述致動器的表面，并且在所述桿的第二表面上進一步附接(97a，97b，97c)至反射鏡的諸如通孔(99a，99b，99c)的腔的邊緣。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可控法布里-珀羅干涉儀，其特征在于，所述中間結(jié)構(gòu)包括支撐板(82，92)，其中，反射鏡被附接至所述支撐板，并且所述支撐板被附接至所述致動器。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的可控法布里-珀羅干涉儀，其特征在于，所述干涉儀包括在所述反射鏡(31，61)與所述支撐板(82，92)之間的作為粘合劑(84a，84b，94a，94b)的彈性膠。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可控法布里-珀羅干涉儀，其特征在于，所述干涉儀具有正好三個致動器(34a，34b，34c)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可控法布里-珀羅干涉儀，其特征在于，所述致動器是壓電致動器、電致伸縮致動器或撓曲電致動器。

7.一種用于制造可控法布里-珀羅干涉儀的方法(720)，其中，至少一個致動器被直接或間接地附接至第一反射鏡(728)，以及第二反射鏡被直接或間接地附接至所述至少一個致動器的第二、相對的部分(744)，其特征在于，將所述第二反射鏡附接至所述至少一個致動器包括：

-將所述第二反射鏡附接至至少一個中間結(jié)構(gòu)；以及

-將一個或多個中間結(jié)構(gòu)附接至一個或多個致動器。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，使用彈性膠進行所述中間結(jié)構(gòu)與所述反射鏡之間的附接。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，所述中間結(jié)構(gòu)包括桿，并且在所述致動器與所述第二反射鏡之間的附接包括：在所述桿的第一表面上將所述桿附接至所述致動器的表面；以及在所述桿的第二表面上將所述桿進一步附接至諸如所述第二反射鏡的通孔的腔的邊緣。