[發明專利]多單元旋轉端末效應器機制

有效

• 申請號: 201380034660.5
• 申請日: 2013-05-01
• 公開（公告）號: CN104396002A
• 公開（公告）日: 2015-03-04
• 發明（設計）人: 杰森·夏勒;羅伯特·B·寶佩特
• 申請（專利權）人: 瓦里安半導體設備公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 馬雯雯;臧建明

1.一種端末效應器，應用于工件操作系統，其特征在于所述端末效應器包括：

多個夾具，每一所述夾具與對應的流體導管相互連通，所述流體導管適于作為抽吸系統的接口；

可旋轉支架，支撐所述夾具；

旋轉管套節，包括第一固定部以及旋轉部，所述第一固定部包括多個固定連接器，所述旋轉部具有相對應數量的旋轉連接器，其中每一所述固定連接器和對應的所述旋轉連接器經由對應的導管相連通于所述旋轉管套節中，其中每一所述旋轉連接器附接至對應的流體導管且其中所述旋轉部為固定于所述可旋轉支架；

滑環，包括固定外部部分及旋轉內部部分，第一導線連接至所述固定外部部分，第二導線則由所述旋轉內部部分伸出，其中所述第一導線和所述第二導線經由所述滑環而相互連通；

旋轉致動器，配置的位置使得所述滑環位于所述旋轉致動器及所述旋轉管套節之間；以及

軸，耦合所述旋轉致動器與所述旋轉部，其中所述滑環以及所述旋轉管套節各包括內部孔，使所述軸通過所述內部孔。

2.根據權利要求1所述的端末效應器，其特征在于所述軸包括內部孔，且所述第二導線穿越所述內部孔。

3.根據權利要求1所述的端末效應器，其特征在于所述夾具在所述夾具支架上排列成線性陣列。

4.根據權利要求3所述的端末效應器，其特征在于還包括四個夾具。

5.根據權利要求1所述的端末效應器，其特征在于所述軸與所述旋轉管套節為一體，且所述軸由所述旋轉管套節的所述旋轉部延伸。

6.根據權利要求5所述的端末效應器，其特征在于還包括旋轉耦合器，耦合所述旋轉致動器與所述軸，其中所述滑環配置于所述軸上，且位于所述旋轉管套節以及所述旋轉耦合器之間。

7.一種工件操作系統，包括支架模塊，其用以將多個工件從第一位置移動至第二位置，其特征在于所述支架模塊包括：

端末效應器，用以拿起所述工件；

第一致動器，用以在X方向移動所述端末效應器；

第二致動器，用以在Y方向移動所述端末效應器；

第三致動器，用以在Z方向移動所述端末效應器；

其中，所述端末效應器包括：

多個夾具，每一所述夾具與對應的流體導管相互連通，所述流體導管適于作為抽吸系統的接口；

可旋轉支架，支撐所述夾具；

旋轉管套節，包括第一固定部與旋轉部，所述第一固定部包括多個固定連接器，所述旋轉部具有相對應數量的旋轉連接器，其中每一所述固定連接器和對應的所述旋轉連接器經由對應的導管相連通于所述旋轉管套節中，其中每一所述旋轉連接器附接至對應的流體導管，且其中所述旋轉部為固定于所述可旋轉支架；

滑環，包括固定外部部分及旋轉內部部分，第一導線連接至固定外部部分，第二導線由旋轉內部部分伸出，其中所述第一導線和所述第二導線經由所述滑環而相互連通；

旋轉致動器，配置的位置使得所述滑環位于所述旋轉致動器及所述旋轉管套節之間；以及

軸，耦合所述旋轉致動器和所述旋轉部，其中所述滑環以及所述旋轉管套節各包括內部孔，使所述軸通過所述內部孔。

8.根據權利要求7所述的工件操作系統，其特征在于所述軸與所述旋轉管套節為一體，且所述軸由所述旋轉管套節的所述旋轉部延伸。

9.根據權利要求8所述的工件操作系統，其特征在于還包括旋轉耦合器，耦合所述旋轉致動器與所述軸，其中所述滑環配置于所述軸，且位于所述旋轉管套節以及所述旋轉耦合器之間。

10.根據權利要求7所述的工件操作系統，其特征在于還包括位于所述可旋轉支架的電性元件，所述電性元件和所述第二導線相連通。