[發(fā)明專利]泄漏檢測裝置以及具有該泄漏檢測裝置的流體控制器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201380033899.0 | 申請日: | 2013-07-11 |
| 公開(公告)號(hào): | CN104685333B | 公開(公告)日: | 2017-08-04 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 土肥亮介;筱原努;西野功二;銅敏男;池田信一;山路道雄 | 申請(專利權(quán))人: | 株式會(huì)社富士金 |
| 主分類號(hào): | G01M3/24 | 分類號(hào): | G01M3/24 |
| 代理公司: | 北京市金杜律師事務(wù)所11256 | 代理人: | 陳偉 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 泄漏 檢測 裝置 以及 具有 流體 控制器 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及檢測流體泄漏的泄漏檢測裝置以及具有該泄漏檢測裝置的流體控制器。
背景技術(shù)
作為設(shè)有泄漏檢測裝置的流體控制器,而已知在流體控制器主體上安裝有振動(dòng)傳感器(pick up)的流體控制器(專利文獻(xiàn)1)。
另外,作為檢測流體控制器的泄漏的裝置,而已知使用了超聲波傳感器的裝置(專利文獻(xiàn)2)。
在先技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1:日本實(shí)開昭61-8850號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)2:日本特開2001-305005號(hào)公報(bào)
在上述專利文獻(xiàn)1所述的裝置中,具有流體泄漏的檢測精度差的問題。如專利文獻(xiàn)2那樣地,通過使用超聲波傳感器而提高泄漏檢測的精度。專利文獻(xiàn)2的泄漏檢測裝置是根據(jù)需要來檢測泄漏的裝置,并非始終進(jìn)行監(jiān)視。為了始終進(jìn)行監(jiān)視,需要將泄漏檢測裝置始終安裝在流體控制器主體上,由此,小型化成為課題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于,提供一種泄漏檢測裝置及具有該泄漏檢測裝置的流體控制器,該泄漏檢測裝置能夠?qū)崿F(xiàn)小型化而始終安裝在流體控制器等泄漏檢測對象部件上,由此,能夠始終監(jiān)視流體的泄漏。
本發(fā)明的泄漏檢測裝置,檢測流體的泄漏,其特征在于,具有:傳感器保持體;超聲波傳感器,其以與泄漏口相對的方式保持在所述傳感器保持體上,該泄漏口設(shè)在泄漏檢測對象部件上并將所述泄漏檢測對象部件內(nèi)的密封部分和外部連通;超聲波通路,其設(shè)在所述超聲波傳感器的感應(yīng)面與所述泄漏口之間;處理電路,其處理由所述超聲波傳感器得到的超聲波。
本發(fā)明的流體控制器,其特征在于,由控制流體流動(dòng)的流體控制器主體、和檢測所述流體控制器主體內(nèi)的流體泄漏的泄漏檢測裝置構(gòu)成,在所述流體控制器主體上設(shè)有將所述流體控制器主體內(nèi)的密封部分和外部連通的泄漏口,所述泄漏檢測裝置是上述的泄漏檢測裝置。
流體控制器主體例如為公知的隔膜閥,通常設(shè)有用于檢測泄漏的泄漏口。當(dāng)因隔膜的破損等而導(dǎo)致流體控制器主體內(nèi)的密封性被破壞時(shí),流體會(huì)從泄漏口泄漏。根據(jù)該泄漏,會(huì)產(chǎn)生超聲波(大約40kHz),通過超聲波傳感器能夠檢測有沒有產(chǎn)生超聲波,即有無泄漏。處理電路會(huì)在持續(xù)檢測到超聲波的情況下發(fā)出警報(bào)。泄漏檢測裝置以利用處于超聲波產(chǎn)生部位處的泄漏口的方式安裝,由此,能夠高精度地檢測有無泄漏。由此,被小型化的泄漏檢測裝置能夠經(jīng)由傳感器保持體容易地安裝在流體控制器主體上,根據(jù)如此得到的流體控制器,能夠始終監(jiān)視流體控制器內(nèi)的泄漏。
上述的泄漏檢測裝置只要對于設(shè)有泄漏口的部件就能夠適用,作為泄漏檢測對象部件的其他例,而具有在螺母側(cè)面形成有泄漏口的接頭。接頭的類型沒有特別地限定,泄漏檢測裝置能夠適用于使用墊圈來密封的接頭、或使用金屬箍(ferrule;ring)等來固定的方法等的、使用了設(shè)有泄漏口的螺母的各種接頭。
發(fā)明的效果
根據(jù)本發(fā)明的泄漏檢測裝置,使用設(shè)在泄漏檢測對象部件上的泄漏口,并使超聲波感應(yīng)面對泄漏口,由此,能夠提高流體泄漏的檢測精度,并實(shí)現(xiàn)超聲波傳感器的小型化。由此,能夠?qū)⒊暡▊鞲衅鹘?jīng)由傳感器保持體始終安裝在泄漏檢測對象部件上,而能夠始終監(jiān)視泄漏檢測對象部件內(nèi)的泄漏。
附圖說明
圖1是表示本發(fā)明的泄漏檢測裝置以及具有該泄漏檢測裝置的流體控制器的一個(gè)實(shí)施方式的局部剖切側(cè)視圖。
圖2是圖1的俯視圖。
圖3是流體控制器主體的正視圖。
圖4是泄漏檢測裝置的傳感器保持體的立體圖。
附圖標(biāo)記說明
1:流體控制器,2:流體控制器主體,3:泄漏檢測裝置,16:泄漏口,21:傳感器保持體,22:超聲波傳感器,23:超聲波通路,24:處理電路
具體實(shí)施方式
以下,參照附圖來說明本發(fā)明的實(shí)施方式。在以下說明中,上下以及左右指定為圖1的上下以及左右。
如圖1以及圖2所示,流體控制器1由控制(截?cái)嚅_放、流量調(diào)整等)流體流動(dòng)的流體控制器主體(泄漏檢測對象部件)2、和檢測流體控制器主體2內(nèi)的流體泄漏的泄漏檢測裝置3構(gòu)成。
流體控制器主體2是公知的隔膜閥,雖然省略了內(nèi)部構(gòu)成,但如圖3所示,流體控制器主體2具有:主體11,其設(shè)有入口管接頭部12以及出口管接頭部13;大致圓筒狀的閥蓋14,其嵌合覆蓋在主體11上部;和殼體15,其安裝在閥蓋14上方。
在流體控制器主體2的閥蓋14上設(shè)有用于檢測泄漏的泄漏口16,該泄漏口16將流體控制器主體2內(nèi)的密封部分和外部連通。
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