[發明專利]有源矩陣基板、液晶顯示裝置和有源矩陣基板的制造方法

有效

• 申請號: 201380033481.X
• 申請日: 2013-06-18
• 公開（公告）號: CN104380189B
• 公開（公告）日: 2017-03-29
• 發明（設計）人: 天野徹
• 申請（專利權）人: 夏普株式會社
• 主分類號: G02F1/1368
• 分類號: G02F1/1368;G02F1/1343
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司11322
• 代理人: 龍淳

1.一種有源矩陣基板，其特征在于，包括：

基板；

由所述基板支承，具有半導體層、柵極電極、源極電極和漏極電極的薄膜晶體管；

與第一方向大致平行地延伸設置，且與所述薄膜晶體管的所述柵極電極電連接的掃描配線；

與正交于所述第一方向的第二方向大致平行地延伸設置，且與所述薄膜晶體管的所述源極電極電連接的信號配線；

以覆蓋所述薄膜晶體管的方式設置的第一層間絕緣層；

設置在所述第一層間絕緣層上的下層電極；

設置在所述下層電極上的電介質層；和

設置在所述電介質層上，隔著所述電介質層與所述下層電極的至少一部分重疊的上層電極，

在所述第一層間絕緣層和所述電介質層形成有使所述漏極電極的一部分露出的第一接觸孔，該第一接觸孔用于將所述上層電極與所述漏極電極電連接，

所述第一接觸孔包含形成于所述第一層間絕緣層的第一開口部和形成于所述電介質層的第二開口部，

所述第一開口部的沿著所述第一方向和所述第二方向中的一個方向的寬度，小于所述第二開口部的沿著所述一個方向的寬度，

在從所述基板的法線方向看時，

所述第二開口部的輪廓的一部分位于所述第一開口部的輪廓的內側，

所述第二開口部的輪廓不是矩形狀，

所述第二開口部中的與所述第一開口部不重疊的部分的面積比在將所述第二開口部的輪廓假想成矩形狀時小，其中，所述矩形狀的沿著所述第一方向的寬度和沿著所述第二方向的寬度與所述第二開口部的輪廓相同。

2.如權利要求1所述的有源矩陣基板，其特征在于：

在從所述基板的法線方向看時，所述第一開口部的輪廓為矩形狀。

3.如權利要求1或2所述的有源矩陣基板，其特征在于：

在從所述基板的法線方向看時，所述第二開口部具有：與所述第一開口部重疊的第一部分；和從所述第一部分延伸，與所述第一開口部不重疊的多個第二部分，

所述多個第二部分包含：相對于所述第一部分位于所述一個方向的一側的至少1個第二部分；和相對于所述第一部分位于所述一個方向的另一側的其他的至少1個第二部分。

4.如權利要求3所述的有源矩陣基板，其特征在于：

所述多個第二部分為4個第二部分，

所述4個第二部分中的2個相對于所述第一部分位于所述一個方向的一側，剩余的2個位于另一側。

5.如權利要求1至4中任一項所述的有源矩陣基板，其特征在于：

在從所述基板的法線方向看時，所述第二開口部的輪廓為H字狀。

6.如權利要求3所述的有源矩陣基板，其特征在于：

所述多個第二部分為2個第二部分，

所述2個第二部分中的1個相對于所述第一部分位于所述一個方向的一側，剩余的1個位于另一側。

7.如權利要求1至3和6中任一項所述的有源矩陣基板，其特征在于：

在從所述基板的法線方向看時，所述第二開口部的輪廓為平行四邊形狀。

8.如權利要求1至7中任一項所述的有源矩陣基板，其特征在于：

在從所述基板的法線方向看時，所述第二開口部的輪廓包含與所述一個方向大致平行的2個邊，該2個邊分別部分地位于所述第一開口部的輪廓的內側。

9.如權利要求1至7中任一項所述的有源矩陣基板，其特征在于：

在從所述基板的法線方向看時，所述第二開口部的輪廓包含相對于所述一個方向傾斜的2個邊，該2個邊分別部分地位于所述第一開口部的輪廓的內側。

10.如權利要求1至9中任一項所述的有源矩陣基板，其特征在于：

所述第一開口部的沿著所述第一方向和所述第二方向中的另一個方向的寬度，大于所述第二開口部的沿著所述另一個方向的寬度。