[發明專利]具有旋轉磁場的微波等離子燈有效
| 申請號: | 201380032870.0 | 申請日: | 2013-06-10 |
| 公開(公告)號: | CN104380431A | 公開(公告)日: | 2015-02-25 |
| 發明(設計)人: | 金振重;金京信 | 申請(專利權)人: | 泰源電氣產業株式會社 |
| 主分類號: | H01J65/00 | 分類號: | H01J65/00 |
| 代理公司: | 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290 | 代理人: | 梁興龍;曹正建 |
| 地址: | 韓國*** | 國省代碼: | 韓國;KR |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 具有 旋轉 磁場 微波 等離子 | ||
1.一種微波放電燈裝置,包括:
矩形形狀的矩形波導,所述矩形波導的一端封閉而另一端打開,并且通過開口接收微波以輸出線性偏振微波;
放電燈;
圓柱形的諧振器空腔,所述圓柱形的諧振器空腔的一端打開,設置成包圍所述放電燈,并且由導電網制成,從而允許來自所述放電燈的光通過;和
移相器,所述移相器具有在線性偏振微波的傳播方向上打開的十字形波導,設置在所述矩形波導的另一端和所述諧振器空腔的一端之間,并接收來自所述矩形波導的線性偏振微波以在所述圓柱形的諧振器空腔中產生橢圓偏振微波,以及
其中所述橢圓偏振微波使所述放電燈放電。
2.如權利要求1所述的微波放電燈裝置,還包括:
設置在所述移相器和所述矩形波導的另一端之間以進行阻抗匹配的阻抗匹配單元。
3.如權利要求1所述的微波放電燈裝置,還包括:
設置在所述移相器和所述圓柱形的諧振器空腔的一端之間以固定所述圓柱形的諧振器空腔并具有圓柱形波導結構的連接部。
4.如權利要求3所述的微波放電燈裝置,其中所述連接部和所述移相器集成一體。
5.如權利要求1所述的微波放電燈裝置,其中所述十字形波導包括彼此交叉的第一波導和第二波導,以及
其中第一波導的斷面的較長側的長度比第二波導的斷面的較長側的長度長。
6.如權利要求1所述的微波放電燈裝置,其中所述十字形波導包括彼此交叉的第一波導和第二波導,以及
其中第一波導和第二波導之間的角大于20°且小于90°。
7.如權利要求2所述的微波放電燈裝置,其中所述阻抗匹配單元具有接收線性偏振微波的輸入端口和輸出線性偏振微波的輸出端口,以及
其中所述輸入端口和所述輸出端口在與線性偏振微波的傳播方向垂直的兩個表面上形成。
8.如權利要求2所述的微波放電燈裝置,其中所述阻抗匹配單元具有接收線性偏振微波的輸入端口和輸出線性偏振微波的輸出端口,
其中所述輸入端口在與線性偏振微波的傳播方向垂直的表面上形成,以及
其中所述輸出端口在由所述矩形波導的長軸方向和線性偏振微波的傳播方向限定的側面上形成。
9.如權利要求2所述的微波放電燈裝置,其中所述阻抗匹配單元包括在所述矩形波導的短軸方向上延伸的一對短柱,以及
其中所述一對短柱設置成在由線性偏振微波的傳播方向和所述矩形波導的短軸方向限定的兩個側面上彼此面對。
10.如權利要求2所述的微波放電燈裝置,其中所述阻抗匹配單元包括在所述矩形波導的短軸方向上延伸的一對凹部,以及
其中所述一對凹部設置成在由線性偏振微波的傳播方向和所述矩形波導的短軸方向限定的兩個側面上彼此面對。
11.如權利要求2所述的微波放電燈裝置,其中所述阻抗匹配單元和所述矩形波導集成一體。
12.如權利要求1所述的微波放電燈裝置,其中所述移相器的十字形波導的內側填充有介電材料。
13.如權利要求1所述的微波放電燈裝置,其中所述十字形波導包括彼此交叉的第一波導和第二波導,以及
所述微波放電燈裝置還包括在第一波導內設置的介電板。
14.如權利要求1所述的微波放電燈裝置,其中所述阻抗匹配單元包括:
在所述矩形波導的短軸方向上彼此間隔開的第一直部和第二直部;和
將第一直部和第二直部彼此連接的斜部。
15.一種微波放電燈裝置,包括:
矩形波導,所述矩形波導通過開口接收微波并且其一端封閉而另一端打開;
放電燈;
圓柱形的諧振器空腔,所述圓柱形的諧振器空腔的一端打開,設置成包圍所述放電燈,并且將來自所述放電燈的光傳遞到外部;和
移相器,所述移相器具有在微波的傳播方向上打開的十字形波導,設置在所述矩形波導的另一端和所述圓柱形的諧振器空腔之間,以及
其中所述微波在所述矩形波導、所述移相器和所述圓柱形的諧振器空腔中傳播以使所述放電燈放電。
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