[發明專利]深蝕刻的多點探針

有效

• 申請號: 201380032710.6
• 申請日: 2013-06-20
• 公開（公告）號: CN104395764B
• 公開（公告）日: 2018-06-19
• 發明（設計）人: L·希夫
• 申請（專利權）人: 卡普雷斯股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理有限公司 11270
• 代理人: 武晨燕;遲姍

一種用于建立測試裝置和測試樣品之間的電連接的多點探針，該多點探針包括限定頂表面的基部和提供在頂表面上的多個跡線，每個跡線單獨使用于建立與測試樣品的電連接的接觸墊和接觸電極互相連接，每個跡線包括連接到接觸墊的寬部和連接到接觸電極的窄部；第一頂表面包括第一中間表面，每個使一對相鄰的跡線在其各自的寬部相互連接，和第二中間表面，每個使一對相鄰的跡線在其各自的窄部互相連接，并且第一中間表面提供在第一層級上，且第二中間表面提供在相對于基部在第一層級上方的第二層級上。

技術領域

本發明通常涉及用于建立與測試樣品的電連接的高分辨率多點探針。更具體地，本發明涉及防止在由硅基晶片制造的多點探針中的短路。

背景技術

在EP1095282(A2)、EP1698905(A2)、EP1466182(A1)、EP1610131(A1)、EP1640730(A1)、EP1686387(A1)、EP1782078(A1)、EP1775594(A1)，EP1780550(A1)、EP2016433(A1)、EP1949115(A1)、EP1946124(A1)、EP2293086(A1)、EP1970714(A1)、EP2101181(A1)、EP2132578(A1)、EP2141503(A1)、EP2198316(A1)、EP2237052(A1)、EP2307892(A1)、EP2414846(A1)中公開了高分辨率多點探針以及這種探針的制造、使用和處理。參考上述文獻。在本說明書中通過引用在此并入要求與上述專利文件所指定的相同優先權的美國專利和公開的美國專利申請。

多點探針中的高分辨率可以通過由硅基晶片制造它們來實現。高分辨率要求多點探針的接觸電極被定位成彼此靠近。這意味著，導致接觸電極的跡線也被定位成彼此靠近，至少在探針尖端(probe tip)。這意味著在探針尖端的跡線的寬度受接觸電極的分辨率限制。由硅基晶片制造的多點探針的開放結構對多點探針的跡線和其他結構之間的短路敏感，特別是與接觸電極分離低于1μm的探針。在制造過程中會引起短路，其中隨著跡線長度的增加一般會增加短路的風險。當測量時使用高分辨率多點探針時也會引起短路。

發明內容

本發明的一個目的是提供一種內部短路風險較低的精確的高分辨率多點探針。本發明的另一目的是在測量中使用多點探針時減少短路的風險。

上述目的是根據由用于建立測試裝置和測試樣品之間的電連接的多點探針的本發明的第一方面實現的，多點探針包括：由板狀結構構成的基部，其限定第一頂表面、第一底表面和使第一頂表面和第一底表面互相連接的環繞的第一邊沿；探針尖端，其提供在基部的第一頂表面并從環繞的第一邊沿自由延伸，探針尖端包括第一多個接觸電極，用于接觸并建立與測試樣品的電連接；第二多個接觸墊支撐，其提供在第一頂表面上并由基部支撐，并且每個接觸墊支撐具有輪廓，該輪廓限定了包圍接觸墊支撐區的接觸墊支撐邊界；第三多個跡線支撐，其提供在第一頂表面上并由基部支撐，每個跡線支撐具有輪廓，該輪廓限定了包圍跡線支撐區的跡線支撐邊界，并且每個跡線支撐包括連接到第二多個接觸墊支撐的接觸墊支撐且單獨地限定第一長度和第一寬度的寬部以及連接到探針尖端且單獨地限定第二長度和第二寬度的窄部，第一長度比第二長度長且第一寬度比第二寬度寬；連接到測試裝置的第四多個接觸墊，每個接觸墊單獨由第二多個接觸墊支撐的接觸墊支撐所支撐且由覆蓋支撐接觸墊支撐的接觸墊支撐區的金屬層構成；第五多個跡線，每個跡線單獨由第三多個跡線支撐的跡線支撐所支撐，并且由覆蓋支撐跡線支撐的跡線支撐區的金屬層構成，每個跡線單獨使第四多個接觸墊的接觸墊和第一多個接觸電極的接觸電極互相連接；第一多個、第二多個、第三多個、第四多個和第五多個數量相等；第一頂表面包括第一中間表面，每個第一中間表面單獨使第三多個跡線支撐的一對相鄰的跡線支撐在其各自的寬部互相連接；第一頂表面包括第二中間表面，每個第二中間表面單獨使第三多個跡線支撐的一對相鄰的跡線支撐在其各自的窄部互相連接；以及第一中間表面提供在第一層級上，第二中間表面提供在相對于基部的第一層級上方的第二層級上，并且接觸墊支撐區和跡線支撐區提供在相對于基部的第一層級和第二層級上方的第三層級上。