[發明專利]微波電漿發生裝置及其操作方法

有效

• 申請號: 201380032280.8
• 申請日: 2013-04-16
• 公開（公告）號: CN104380429B
• 公開（公告）日: 2017-09-29
• 發明（設計）人: J·邁;H·施勒姆
• 申請（專利權）人: 梅耶博格（德國）股份公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司11127
• 代理人: 王小東

1.一種微波電漿發生裝置(1，1’，1”，1”’，1””)，該微波電漿發生裝置具有：

電漿室(2，2’)；

至少一個設在所述電漿室(2，2’)外部的微波發生裝置，該微波發生裝置用于產生微波(μW)；以及

微波接入裝置(29)，該微波接入裝置能夠將所述微波(μW)接入到所述電漿室(2，2’)內，其中，所述微波接入裝置(29)具有：內導體(4)，該內導體穿過所述電漿室(2，2’)的至少一個室壁(3)而伸入所述電漿室(2，2’)中；絕緣管(5)，該絕緣管包圍所述內導體(4)并且將所述內導體(4)與所述電漿室(2，2’)的內腔(28)間隔開；以及外導體(6，6’)，該外導體穿過所述至少一個室壁(3)而伸入所述電漿室(2，2’)中，所述外導體與所述內導體(4)同軸地布置但并不包圍所述內導體的整個圓周，并且所述外導體在所述電漿室(2，2’)中具有至少一個外導體末端(7)，其中，所述內導體(5)與所述外導體(6，6’)形成微波導線，并且在所述電漿室(2，2’)中，微波(μW)能從所述微波導線中外泄出，以便在所述電漿室(2，2’)的內腔(28)中產生微波電漿(9)，

其特征在于，

在所述電漿室(2，2’)的內腔(28)中設有至少一個與所述內導體(4)同軸布置且與所述室壁(3)電絕緣的電漿電極(8)，所述電漿電極能被施加直流電壓、低頻電壓或高頻電壓且能夠與所述微波電漿(9)電接觸，使得所述微波電漿(9)能夠至少部分地承擔所述外導體(6，6’)的作用，所述外導體(6，6’)被布置在所述絕緣管(5)內部，所述至少一個電漿電極(8)呈管狀并包圍所述絕緣管(5)。

2.根據權利要求1所述的微波電漿發生裝置，其特征在于，所述至少一個外導體(6，6’)在所述室壁(3)的區域內接地。

3.根據權利要求1所述的微波電漿發生裝置，其特征在于，所述至少一個外導體(6，6’)與交流電壓源(13)連接。

4.根據權利要求1所述的微波電漿發生裝置，其特征在于，所述至少一個外導體末端(7)是平直的管端。

5.根據權利要求1所述的微波電漿發生裝置，其特征在于，所述外導體(6)呈管狀且形成有至少一個沿所述外導體(6’)縱向延伸的條帶狀開口(17)。

6.根據權利要求1、2或3所述的微波電漿發生裝置，其特征在于，所述室壁(3)的至少一個區段構成所述至少一個外導體(6，6’)的一部分。

7.根據權利要求1所述的微波電漿發生裝置，其特征在于，所述微波導線穿過兩個相對布置的室壁(3)，并且在所述電漿室(2，2’)中，在所述相對布置的室壁(3)上設有兩個相對布置的電漿電極(8)，所述微波電漿(9)形成于所述兩個電漿電極之間。

8.根據權利要求1所述的微波電漿發生裝置，其特征在于，在所述至少一個電漿電極(8)周圍設有暗區屏蔽裝置。

9.根據權利要求1所述的微波電漿發生裝置，其特征在于，所述至少一個電漿電極(8)呈管狀，其中，每個所述電漿電極(8)的管端皆被實施為與所述微波電漿(9)接觸的電接觸部(10)。

10.根據權利要求9所述的微波電漿發生裝置，其特征在于，至少一個管端的半徑連續增大、分級增大或者不連續增大。

11.根據權利要求1所述的微波電漿發生裝置，其特征在于，所述電漿電極(8)實施為直通管，所述直通管包括至少一個在所述直通管的外套中沿所述直通管的縱向延伸的電漿電極開口(18)，其中，在所述至少一個電漿電極開口(18)中設有所述微波電漿(9)。

12.根據權利要求11所述的微波電漿發生裝置，其特征在于，所述電漿電極開口(18)被布置在所述內導體(4)與至少一個待由所述微波電漿(9)進行加工的基底(15)之間。

13.根據權利要求1所述的微波電漿發生裝置，其特征在于，所述至少一個電漿電極(8)與室壁(3)和至少一個待加工基底(15)被布置成間隔一定距離，使得在所述電漿電極(8)與所述至少一個基底(15)之間能形成電漿(20)。

14.根據權利要求13所述的微波電漿發生裝置，其特征在于，所述電漿(20)能作為所述電漿電極(8)與所述微波電漿(9)之間的電接觸部的一部分。