[發明專利]用以接合襯底的裝置及方法

有效

• 申請號: 201380031975.4
• 申請日: 2013-05-29
• 公開（公告）號: CN104364882B
• 公開（公告）日: 2018-11-16
• 發明（設計）人: T.瓦根萊特納;M.溫普林格;P.林德納;T.普拉赫;F.庫爾茨
• 申請（專利權）人: EV集團E·索爾納有限責任公司
• 主分類號: H01L21/18
• 分類號: H01L21/18
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 徐予紅;劉春元

1.一種用以將第一襯底(3)和第二襯底(8)在襯底(3、8)的接觸表面(3k、8k)上接合的方法，其具有以下步驟：

-第一接納設備(1)的第一接納表面(2o)上接納所述第一襯底(3)且第二接納設備(4)的第二接納表面(2o')上接納所述第二襯底(8)，

-在接合起始位點(20)上接觸所述接觸表面(3k、8k)，

-沿著自所述接合起始位點(20)行進至所述襯底(3、8)的側邊緣(3s、8s)的接合波將所述第一襯底(3)與所述第二襯底(8)接合，

其特征在于：所述第一襯底(3)和/或所述第二襯底(8)經變形以在所述接合之前和/或在接合期間使所述接觸表面(3k、8k)在所述接合起始位點(20)外對準，

其中所述第一接納設備(1)的所述第一接納表面(2o)凸形和/或凹形地彎曲，且所述第一接納表面(2o)的曲率半徑是可調整的。

2.如權利要求1的方法，其中所述第一襯底(3)和/或所述第二襯底(8)的變形取決于對于所述接合波的行進的給定影響因素發生。

3.如權利要求1的方法，其中所述接合起始位點(20)布置在所述接觸表面(3k、8k)的中心。

4.如權利要求1至3中任一項的方法，其中所述第一襯底(3)和/或所述第二襯底(8)的變形在其側向方向上實現。

5.如權利要求1至3中任一項的方法，其中變形經由所述第一襯底(3)和/或所述第二襯底(8)的膨脹或壓縮或彎曲而實現。

6.如權利要求1至3中任一項的方法，其中所述襯底(3、8)的直徑(d1、d2)彼此偏離小于5 mm。

7.如權利要求6的方法，其中所述襯底(3、8)的直徑(d1、d2)彼此偏離小于3 mm。

8.如權利要求7的方法，其中所述襯底(3、8)的直徑(d1、d2)彼此偏離小于1 mm。

9.如權利要求1至3中任一項的方法，其中所述變形經由機械致動構件和/或經由所述第一和/或第二接納設備(1、4)的溫度控制而發生。

10.如權利要求1至3中任一項的方法，其中將所述第一襯底(3)和/或所述第二襯底(8)僅固定于所述第一和/或第二接納表面(2o、2o')上的所述側邊緣(3s、8s)的區域中。

11.一種用以將第一襯底(3)與第二襯底(8)在襯底(3、8)的接觸表面(3k、8k)上接合的裝置，其具有：

用以在第一接納表面(2o)上接納所述第一襯底(3)的第一接納設備(1)及用以在第二接納表面(2o')上接納所述第二襯底(8)的第二接納設備(4)，

用以在接合起始位點(20)上接觸所述接觸表面(3k、8k)的接觸構件，

其特征在于具有：

用以使所述第一襯底(3)和/或所述第二襯底(8)變形以在所述接合之前和/或在接合期間使所述接觸表面(3k、8k)在所述接合起始位點(20)外對準的變形構件，

其中所述第一接納設備(1)的所述第一接納表面(2o)凸形和/或凹形地變形，且所述第一接納表面(2o)的曲率半徑是可調整的。

12.如權利要求11的裝置，其中所述變形構件包含所述第一接納設備(1)，所述第一接納設備(1)能在其側向方向上在所述第一接納表面(2o)上變形。

13.如權利要求11的裝置，其中所述變形構件包含所述第二接納設備(4)，所述第二接納設備(4)能在其側向方向上在所述第二接納表面(2o')上變形。

14.如權利要求11的裝置，其中所述變形構件包含所述第二接納設備(4)，所述第二接納設備(4)能凸形或凹形地變形。