[發明專利]激光加工裝置

有效

• 申請號: 201380031615.4
• 申請日: 2013-05-31
• 公開（公告）號: CN104379296A
• 公開（公告）日: 2015-02-25
• 發明（設計）人: 中村直幸;山本達也;西前順一;藤川周一;瀨口正記;西尾彰倫;村井博幸;猿田健兒
• 申請（專利權）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: B23K26/064
• 分類號: B23K26/064;B23K26/08
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 何立波;張天舒

1.一種激光加工裝置，其由下述部件構成：

激光振蕩器，其射出激光；

加工工作臺，其載置有被加工材料；

傳輸光學系統，其將從所述激光振蕩器射出的激光傳輸至所述加工工作臺；

加工頭，其將經由所述傳輸光學系統傳輸的激光聚光照射至所述被加工材料；以及

移動單元，其使照射至所述被加工材料的激光和所述被加工材料的相對位置發生變化，

所述激光加工裝置的特征在于，

所述傳輸光學系統具有球面曲率可變反射鏡、以及對來自所述激光振蕩器的激光進行平行化且擴大的反射型擴束機構，

所述反射型擴束機構包含球面反射鏡和正交的2個軸的曲率不同的反射鏡，

所述球面曲率可變反射鏡配置在所述球面反射鏡和所述正交的2個軸的曲率不同的反射鏡之間。

2.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，

所述反射型擴束機構包含凸球面反射鏡、以及正交的2個軸的曲率不同的凹反射鏡。

3.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，

所述反射型擴束機構包含凹球面反射鏡、以及正交的2個軸的曲率不同的凸反射鏡。

4.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，

所述反射型擴束機構包含正交的2個軸的曲率不同的凸反射鏡、以及正交的2個軸的曲率不同的凹反射鏡。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的激光加工裝置，其特征在于，

所述傳輸光學系統具有光路長度恒定機構，

所述光路長度恒定機構包含由多個反射鏡構成的反射鏡組、以及使所述反射鏡組平行移動的移動機構，

構成所述反射鏡組的多個反射鏡以下述方式配置，即，使相對于所述反射鏡組的入射光的行進方向、和來自所述反射鏡組的出射光的行進方向彼此反向且形成為平行關系，

所述移動機構使所述反射鏡組與所述入射光以及所述出射光的行進方向平行地進行移動，以抵消照射至所述被加工材料的激光和所述被加工材料的相對位置的變化，而將照射至所述被加工材料的激光的光路長度維持為恒定。

6.根據權利要求1～3、5中任一項所述的激光加工裝置，其特征在于，

在所述反射型擴束機構內，所述球面曲率可變反射鏡與所述球面反射鏡相對配置。

7.根據權利要求1～6中任一項所述的激光加工裝置，其特征在于，

所述反射型擴束機構包含能夠對正交的2個軸的曲率進行變更的曲率可變反射鏡。

8.根據權利要求1、2、5、6中任一項所述的激光加工裝置，其特征在于，

所述反射型擴束機構由凸球面反射鏡和正交的2個軸的曲率不同的凹反射鏡構成，所述凸球面反射鏡和所述球面曲率可變反射鏡相對配置，所述球面曲率可變反射鏡和所述正交的2個軸的曲率不同的凹反射鏡相對配置。

9.根據權利要求1～7中任一項所述的激光加工裝置，其特征在于，

在反射鏡調整機構中設置所述正交的2個軸的曲率不同的凹反射鏡、以及正交的2個軸的曲率不同的凸反射鏡，其中，該反射鏡調整機構具有能夠在垂直方向、水平方向、以及將反射鏡中心作為中心軸的旋轉方向上進行調整的機構。