[發明專利]熱式流量計

有效

• 申請號: 201380031579.1
• 申請日: 2013-05-29
• 公開（公告）號: CN104395705B
• 公開（公告）日: 2017-12-19
• 發明（設計）人: 田代忍;半澤惠二;德安升;森野毅;土井良介;上之段曉
• 申請（專利權）人: 日立汽車系統株式會社
• 主分類號: G01F1/684
• 分類號: G01F1/684
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司11322
• 代理人: 龍淳

技術領域

本發明涉及熱式流量計。

背景技術

測量氣體流量的熱式流量計具有用于測量流量的流量檢測部，通過在上述流量檢測部與作為測量對象的上述氣體之間進行熱傳遞，來測量上述氣體的流量。熱式流量計所測量的流量作為各種裝置的重要控制參數被廣泛使用。熱式流量計的特征是，與其它方式的流量計相比，能夠以相對高的精度測量氣體的流量例如質量流量。

不過，人們期望進一步提高氣體流量的測量精度。例如，對于搭載了內燃機的車輛而言，節省燃料的需求、尾氣凈化的需求非常高。為了滿足這樣的需求，需要以高精度測量作為內燃機的主要參數的空氣進氣量。

在現有的熱式流量傳感器中，覆蓋傳感器芯片的密封樹脂在與傳感器芯片的發熱體形成面垂直的側面，至少相對于流體的流動與流量檢測部的上游側部位相接觸地進行覆蓋，傳感器芯片的發熱體形成面與密封樹脂的側面覆蓋部在與發熱體形成面垂直的方向上為相同面(例如，參照專利文獻1)

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2008-175780號公報

發明內容

發明所要解決的課題

為了利用熱式流量計以高精度測量氣體的流量，要求設置于用來取入在主通路中流動的氣體的熱式流量計的副通路，以高精度定位并固定熱式流量計的流量檢測部。專利文獻1記載的熱式流量計，形成通過流量檢測部的空氣流，檢測由傳感器芯片的空氣流引起的溫度變化從而檢測流量，但是存在如下課題：難以使通過流量檢測部時的空氣均勻地分流至傳感器芯片面及其相反面，由于搭載傳感器芯片的封裝體等部件的流入側的端面形狀的微小的差而使得在同一產品產生傳感器芯片面的流量多的情況和少的情況。由于這種情況，在現有技術中難以進一步提高熱式流量計的測量精度。

本發明就是鑒于這樣的問題而完成的，其目的是提供測量精度高的熱式流量計熱式流量計。

用于解決課題的方案

為了實現上述目的，本發明的熱式流量計，包括用于使從主通路取入的被測量氣體流動的副通路；在與所述副通路中流動的被測量氣體之間進行熱傳遞來測量被測量氣體的流量的流量檢測部；和具有所述流量測量部的電路封裝體，該熱式流量計的特征在于：在所述電路封裝體中，測量用流路面和其背面的測量用流路面背面位于所述副通路內，所述副通路構成為，被測量氣體分開流入到所述電路封裝體的測量用流路面側的流路和其背面的測量用流路面背面側的流路，所述電路封裝體的用于分開被測量氣體的流入側的端面的形狀，在所述測量用流路面側和測量用流路面背面側不同。而且，優選在所述電路封裝體的用于分開被測量氣體的流入側的端面形成有分開被測量氣體的基準線，該基準線的測量用流路面側的端面與測量用流路面背面側的端面形成為非對稱的傾斜面和/或圓弧截面、垂直面。

發明的效果

根據本發明，能夠獲得高測量精度的熱式流量計。

附圖說明

圖1是表示在內燃機控制系統中使用本發明的熱式流量計的一實施例的系統圖。

圖2是表示熱式流量計的外觀的圖，圖2(A)是左視圖，圖2(B)是正視圖。

圖3是表示熱式流量計的外觀的圖，圖3(A)是右視圖，圖3(B)是后視圖。

圖4是表示熱式流量計的外觀的圖，圖4(A)是俯視圖，圖4(B)是仰視圖。

圖5是表示熱式流量計的殼體的圖，圖5(A)是殼體的左視圖，圖5(B)是殼體的正視圖。

圖6是表示熱式流量計的殼體的圖，圖6(A)是殼體的右視圖，圖6(B)是殼體的后視圖。

圖7是表示配置于副通路中的流路面的狀態的局部放大圖。

圖8是用于對隔膜和將隔膜內部的空隙與開口連接的連通孔進行說明的說明圖。

圖9是表示熱式流量計的制造工序的概要的圖，是表示電路封裝體的生產工序的圖。

圖10是表示熱式流量計的制造工序的概要的圖，是表示熱式流量計的生產工序的圖。

圖11是表示熱式流量計的流量檢測電路的電路圖。

圖12是對流量檢測電路的流量檢測部進行說明的說明圖。

圖13是表示本發明的熱式流量計的電路封裝體的流量檢測部的流入側的端面與被測量氣體的關系的示意圖，圖13(A)是第一實施例的示意圖，圖13(B)是第二實施例的示意圖，圖13(C)是第三實施例的示意圖。

圖14(A)是第四實施例的示意圖，圖14(B)是表示第四實施例的動作的主要部位示意圖。