[發明專利]用于測量表面上的特征結構的方法、測量組件、用于制造結構的方法和指向器

有效

• 申請號: 201380030991.1
• 申請日: 2013-06-14
• 公開（公告）號: CN104380138B
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發明（設計）人: T·W·諾維科
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: G01S17/06
• 分類號: G01S17/06
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所11038
• 代理人: 王莉莉

1.一種被配置為測量測量物的特征結構的測量組件，所述測量組件包括：

度量系統，被配置為產生測量光束；

移動器組件，被配置為選擇性地移動度量系統的至少一部分以移動測量光束的方向；

檢測器，具有可檢測區域，所述檢測器被配置為標識在所述可檢測區域內的所述特征結構處的指向器光束的指向器光斑的位置；以及

控制系統，被配置為使用由所述檢測器標識的位置的信息和所述指向器光束瞄準所述可檢測區域內的所述特征結構之后發出的信號，檢測所述指向器光束瞄準所述可檢測區域內的所述特征結構的情況，進而之后，在檢測出所述信號時，開始基于由所述檢測器標識的位置來控制移動器組件移動測量光束的方向，測量所述特征結構。

2.根據權利要求1所述的測量組件，其中所述控制系統被配置為控制所述移動器組件移動所述測量光束的方向至所述標識的位置。

3.根據權利要求1所述的測量組件，其中所述移動器組件被配置為以兩個轉動自由度移動所述度量系統。

4.根據權利要求1所述的測量組件，其中所述控制系統基于由所述檢測器標識的位置的信息，確定用于將所述測量光束指向標識的所述特征結構的移動器組件的移動量。

5.根據權利要求1所述的測量組件，其中，確定所述指向器光斑是否在所述可檢測區域內，在確定為是在所述可檢測區域內時，使用由所述檢測器標識的位置的信息和所述指向器光束瞄準所述可檢測區域內的所述特征結構之后發出的信號，基于由所述檢測器標識的位置來控制移動器組件移動測量光束的方向，測量所述特征結構。

6.一種用于測量測量物的特征結構的方法，所述方法包括以下步驟：

利用度量系統產生測量光束；

利用移動器組件選擇性地移動所述測量光束的方向；

將來自指向器的指向器光束指向所述特征結構以標識所述特征結構；

由檢測器標識所述指向器光束的指向器光斑的位置；以及

使用由所述檢測器標識的位置的信息和所述指向器光束瞄準所述檢測器的可檢測區域內的所述特征結構之后發出的信號，檢測所述指向器光束瞄準所述可檢測區域內的所述特征結構的情況，進而之后，在檢測出所述信號時，基于由所述檢測器標識的位置來控制移動器組件，對控制系統進行控制以使所述測量光束的方向移動直到所述測量光束指向標識的所述特征結構，測量測量物的特征結構。

7.根據權利要求6所述的方法，其中將所述指向器光束指向的步驟在表面上形成指向器光斑；并且其中測量所述測量物的特征結構的步驟包括移動所述測量光束的方向直到所述測量光束指向所述指向器光斑。

8.根據權利要求7所述的方法，其中測量所述測量物的特征結構的步驟包括控制所述移動器組件以移動所述測量光束的方向，使得所述測量光束跟隨所述表面上的所述指向器光斑。

9.根據權利要求7所述的方法，還包括利用反饋裝置產生關于所述指向器光斑的反饋信息的步驟，其中所述反饋信息被提供給所述控制系統。

10.根據權利要求7所述的方法，其中測量所述測量物的特征結構的步驟包括確定將所述測量光束指向所述指向器光斑所需要的所述測量光束的移動量的步驟。

11.根據權利要求6所述的方法，其中將所述指向器光束指向的步驟包括沿著預定路徑移動所述指向器光束以指示所述特征結構。

12.一種用于制造結構的方法，包括以下步驟：基于設計信息制作結構；通過利用權利要求6所述的方法來獲得結構的形狀信息；以及將獲得的形狀信息與所述設計信息比較。

13.根據權利要求12所述的用于制造結構的方法，還包括基于所述比較的結果再處理所述結構的步驟。

14.根據權利要求12所述的用于制造結構的方法，其中再處理所述結構的步驟包括再次制作所述結構。

15.一種被配置為產生指向器光束的指向器，所述指向器光束被配置為被選擇性地定位以標識通過利用測量組件來測量的測量物的特征結構，所述指向器包括：

指示器，所述指示器被配置為被控制以在指向器光斑指向所述測量物的特征結構的情況下向所述測量組件選擇性地指示，

所述測量組件包括：度量系統，產生測量光束；移動器組件，選擇性地移動所述測量組件的至少一部分以移動所述測量光束的方向；檢測器，標識在可檢測區域內的所述特征結構處的指向器光束的指向器光斑的位置；以及控制系統，使用由所述檢測器標識的位置的信息和所述指向器光束瞄準所述可檢測區域內的所述特征結構之后發出的信號，檢測所述指向器光束瞄準所述可檢測區域內的所述特征結構的情況，進而之后，在檢測出所述信號時，開始基于由所述檢測器標識的位置來控制移動器組件移動測量光束的方向，

所述測量組件構成為使用所述信號，基于由所述檢測器標識的位置來控制所述移動器組件移動所述測量光束的方向直到所述測量光束指向標識的所述特征結構。