[發(fā)明專利]帶電粒子束產(chǎn)生裝置、帶電粒子束裝置、高電壓產(chǎn)生裝置以及高電位裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201380030519.8 | 申請日： | 2013-05-08 |
| 公開（公告）號： | CN104364878A | 公開（公告）日： | 2015-02-18 |
| 發(fā)明（設計）人： | 大西崇;渡邊俊一;金田實 | 申請（專利權）人： | 株式會社日立高新技術 |
| 主分類號： | H01J37/248 | 分類號： | H01J37/248;H01J37/067;H01J37/16 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識產(chǎn)權代理有限公司 11243 | 代理人： | 曾賢偉;文志 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 帶電 粒子束 產(chǎn)生 裝置 電壓 以及 電位 | ||
1.一種帶電粒子束產(chǎn)生裝置，其特征在于，具備：
帶電粒子源；
沿著來自所述帶電粒子源的帶電粒子的照射方向配置的多個第一電極；
配置在所述第一電極之間的多個絕緣部件；以及
設置在所述多個第一電極周圍的殼體，
所述殼體由絕緣性的固體材料形成，
所述殼體具備配置在接近所述多個第一電極的位置上的多個第二電極，
所述多個第二電極中的至少一個第二電極與所述多個第一電極中的至少一個第一電極電連接，所述多個第二電極中的各個第二電極成為與接近的所述第一電極的電位相同的電位。
2.根據(jù)權利要求1所述的帶電粒子束產(chǎn)生裝置，其特征在于，
所述殼體的接地電位面與所述第二電極之間用所述絕緣性的固體材料填滿。
3.根據(jù)權利要求1所述的帶電粒子束產(chǎn)生裝置，其特征在于，
對于所述帶電粒子的照射方向在直行方向上，在與所述第一電極相對的位置上設置了所述多個第二電極中的各個第二電極。
4.根據(jù)權利要求1所述的帶電粒子束產(chǎn)生裝置，其特征在于，
所述多個第二電極中的各個第二電極與接近的所述第一電極電連接，所述多個第二電極中的各個第二電極成為與接近的所述第一電極的電位相同的電位。
5.根據(jù)權利要求1所述的帶電粒子束產(chǎn)生裝置，其特征在于，
將位于針對接地電位電位差最大的位置上的第一電極與接近該第一電極的第二電極電連接，所述多個第二電極之間通過多個電阻器連接，所述多個第二電極中的各個第二電極成為與接近的所述第一電極的電位相同的電位。
6.根據(jù)權利要求1所述的帶電粒子束產(chǎn)生裝置，其特征在于，
分別將所述多個第一電極中的幾個第一電極與接近該第一電極的第二電極中的幾個第二電極電連接，沒有與所述第一電極連接的所述多個第二電極之間通過多個電阻器連接，所述多個第二電極中的各個第二電極成為與接近的所述第一電極的電位相同的電位。
7.一種帶電粒子束裝置，其特征在于，具備權利要求1所述的帶電粒子束產(chǎn)生裝置。
8.一種高電壓產(chǎn)生裝置，其特征在于，具備：
在接地電位面上積層的多個第一電極；
配置在所述第一電極之間的多個絕緣部件；以及
設置在所述多個第一電極周圍的殼體，
所述殼體由絕緣性的固體材料形成，
所述殼體具備配置在接近所述多個第一電極的位置上的多個第二電極，
所述多個第二電極中的至少一個第二電極與所述多個第一電極中的至少一個第一電極電連接，所述多個第二電極中的各個第二電極成為與接近的所述第一電極的電位相同的電位。
9.根據(jù)權利要求8所述的高電壓產(chǎn)生裝置，其特征在于，
所述殼體的接地電位面與所述第二電極之間用所述絕緣性的固體材料填滿。
10.根據(jù)權利要求8所述的高電壓產(chǎn)生裝置，其特征在于，
對于所述第一電極的積層方向在直行方向上，在與所述第一電極相對的位置上設置了所述多個第二電極中的各個第二電極。
11.根據(jù)權利要求8所述的高電壓產(chǎn)生裝置，其特征在于，
所述多個第二電極中的各個第二電極與接近的所述第一電極電連接，所述多個第二電極中的各個第二電極成為與接近的所述第一電極的電位相同的電位。
12.根據(jù)權利要求8所述的高電壓產(chǎn)生裝置，其特征在于，
將位于針對所述接地電位面電位差最大的位置上的第一電極與接近該第一電極的第二電極電連接，所述多個第二電極之間通過多個電阻器連接，所述多個第二電極中的各個第二電極成為與接近的所述第一電極的電位相同的電位。
13.根據(jù)權利要求8所述的高電壓產(chǎn)生裝置，其特征在于，
分別將所述多個第一電極中的幾個第一電極與接近該第一電極的第二電極中的幾個第二電極電連接，沒有與所述第一電極連接的所述多個第二電極之間通過多個電阻器連接，所述多個第二電極中的各個第二電極成為與接近的所述第一電極的電位相同的電位。
14.一種帶電粒子束裝置，其特征在于，具備權利要求8所述的高電壓產(chǎn)生裝置。
15.一種高電位裝置，其特征在于，具備：
產(chǎn)生高電位的高電位部；
配置在所述高電位部與接地電位面之間的至少一個第一電極；以及
設置在所述高電位部以及所述第一電極周圍的殼體，
所述殼體由絕緣性的固體材料形成，
所述殼體具備與從所述接地電位面至所述高電位部為止的預定的電位間隔對應地配置的多個第二電極，
所述多個第二電極中的至少一個第二電極與所述第一電極電連接，所述多個第二電極中的各個第二電極成為與所述預定的電位間隔的各電位相同的電位。
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