[發明專利]具有光穩定透光區的拋光墊

有效

• 申請號: 201380030505.6
• 申請日: 2013-04-04
• 公開（公告）號: CN104350582B
• 公開（公告）日: 2017-03-08
• 發明（設計）人: A.普拉薩德
• 申請（專利權）人: 嘉柏微電子材料股份公司
• 主分類號: H01L21/304
• 分類號: H01L21/304;B24B37/04
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所11105
• 代理人: 邢岳

1.一種拋光墊，其包括至少一個透光區，其中該透光區由包括(a)聚合樹脂及(b)至少一種吸光化合物的材料構成，且其中該透光區在250nm至395nm范圍內的一個或多個波長下具有25％或更大的總透光率。

2.權利要求1的拋光墊，其中，根據ASTM?D1148-95量測，該透光區當紫外光輻照時在395nm至800nm范圍內的一個或多個波長下褪色45％或更小。

3.權利要求1的拋光墊，其中在250nm至395nm和/或395nm至35,000nm范圍內的一個或多個波長下，該透光區在紫外光輻照之前的總透光率與該透光區在紫外光輻照之后的總透光率相差30％或更小，且其中該紫外光輻照包括使用100瓦特汞蒸氣燈在至少1,000mW/cm²的強度下輻照該透光區4分鐘的持續時間。

4.權利要求1的拋光墊，其中在將該透光區暴露于紫外光輻照之后該透光區在250nm至395nm和/或395nm至35,000nm范圍內的一個或多個波長下具有25％或更大的總透光率，且其中該紫外光輻照包括使用100瓦特汞蒸氣燈在至少1,000mW/cm²的強度下輻照該透光區4分鐘的持續時間。

5.權利要求1的拋光墊，其中由濃度為10mg/L的該吸光化合物組成的溶液在330nm至400nm范圍內具有0.5或更小的吸光度。

6.權利要求1的拋光墊，其中由該吸光化合物組成的溶液不具有位于335nm至400nm范圍內的最大光吸收。

7.權利要求1的拋光墊，其中該透光區在395nm至35,000nm范圍內的一個或多個波長下具有25％或更大的總透光率。

8.權利要求1的拋光墊，其中該透光區在360nm至380nm范圍內的一個或多個波長下具有25％或更大的總透光率。

9.權利要求1的拋光墊，其中該透光區占該拋光墊的表面積的50％或更多。

10.權利要求9的拋光墊，其中該拋光墊由該透光區組成。

11.權利要求1的拋光墊，其中該拋光墊由該材料組成。

12.權利要求1的拋光墊，其中該聚合樹脂為熱塑性聚合樹脂。

13.權利要求1的拋光墊，其中該聚合樹脂包括至少一種選自以下的脂肪族聚合物：聚氨酯、基于聚碳酸酯的聚氨酯、基于聚碳酸酯的二醇或三醇聚氨酯、基于線型脂肪族聚碳酸酯的聚氨酯、基于支化脂肪族聚碳酸酯的聚氨酯、基于環烷烴的脂肪族聚氨酯、基于聚硅氧烷的聚氨酯、(烷基)丙烯酸酯、(烷基)丙烯酸、聚偏氟乙烯、聚偏二氟乙烯、聚三氟氯乙烯、聚硅氧烷、聚碳酸酯、線型脂肪族聚碳酸酯、聚甲基-1-戊烯、以及它們的組合。

14.權利要求13的拋光墊，其中該脂肪族聚合物為熱塑性聚合物、熱固性聚合物、或者它們的任意組合。

15.權利要求14的拋光墊，其中該熱塑性聚合物選自：熱塑性聚氨酯、基于聚碳酸酯的熱塑性聚氨酯、基于環烷烴的熱塑性聚氨酯、基于聚硅氧烷的熱塑性聚氨酯、其無規共聚物、其嵌段共聚物、以及它們的共混物。

16.權利要求13的拋光墊，其中該脂肪族聚合物為包括以下單體單元的聚氨酯：(a)一種或多種選自以下的二醇：多元醇、包括環狀脂肪族環的多元醇、聚碳酸酯多元醇、包括1至1000個重復單元的聚碳酸六亞甲基酯二醇、包括1至1000個重復單元的聚亞乙基醚碳酸酯二醇、1,12-十二烷二醇、1,4-丁二醇、以及它們的組合；及(b)二環己基甲烷4,4’-二異氰酸酯。