[發(fā)明專利]帶電粒子束裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380029956.8
• 申請日: 2013-06-03
• 公開（公告）號: CN104364877A
• 公開（公告）日: 2015-02-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 安藤徹;重藤訓(xùn)志;玉山尚太朗;成田祐介
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社日立高新技術(shù)
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;G09G5/00;G09G5/36;G09G5/377;H01J37/22
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 李逸雪

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及掃描電子顯微鏡等帶電粒子束裝置。

背景技術(shù)

在掃描電子顯微鏡等帶電粒子束裝置中，對向樣品照射帶電粒子束而得到的二次電子或反射電子等二次粒子進(jìn)行檢測，將帶電粒子束的照射位置與被檢測到的信號建立對應(yīng)，由此能以高倍率取得樣品的圖像。

近年來，在觀察微細(xì)的樣品時(shí)，大多傾斜地觀察帶電粒子束。例如，在以下的情況下傾斜觀察是有效的：(1)雖然樣品的觀察面自身傾斜，但想要垂直地對觀察面照射帶電粒子束而進(jìn)行觀察的情況下；(2)想要立體地看樣品的情況下；(3)通過變更方向或傾斜度而使得結(jié)晶的特性不同的情況下；(4)因帶電粒子的反射角度的不同而得到不同的特性的情況下；(5)使帶電粒子向樣品的吸收減少，減輕充電(charge?up)而使得容易觀察的情況下等等。這樣以正確的角度傾斜地觀察微細(xì)的樣品變得重要起來。

專利文獻(xiàn)1中公開了：電子顯微鏡中具備取得樣品載物臺(tái)像的攝像裝置，利用由該攝像裝置取得的樣品載物臺(tái)像而將取得了該樣品像的樣品載物臺(tái)上的位置信息顯示于所述顯示裝置上。

在先技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：JP特開2010-198998號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

-發(fā)明所要解決的技術(shù)問題-

上述的帶電粒子束裝置中，大多基本上以1萬倍以上進(jìn)行觀察，難以獲知肉眼能看到的樣品的朝向和已取得的圖像上的樣品的朝向的對應(yīng)。上述的專利文獻(xiàn)1中，僅獲知平面內(nèi)的觀察位置的信息，難以直觀地把握樣品的傾斜方向等。

本發(fā)明的目的在于，提供一種可以直觀地把握樣品的朝向或傾斜的狀態(tài)的帶電粒子束裝置。

-用于解決技術(shù)問題的方案-

為了解決上述課題例如采用權(quán)利要求書所述的構(gòu)成。

本申請雖然包括多個(gè)解決上述課題的手段，但如果列舉其中一例，則如下，一種帶電粒子束裝置，其特征在于，具備：發(fā)射帶電粒子束的帶電粒子源；向樣品照射所述帶電粒子束的帶電粒子光學(xué)系統(tǒng)；載置所述樣品的樣品臺(tái)；至少能夠使所述樣品臺(tái)沿傾斜方向移動(dòng)的載物臺(tái)；利用所述樣品臺(tái)的偽圖像來顯示所述樣品臺(tái)的傾斜狀態(tài)的顯示部；用戶進(jìn)行所述樣品的觀察對象部位及觀察方向的指示的輸入部；和基于從所述操作部輸入的信號來控制所述載物臺(tái)的移動(dòng)量的控制部。

-發(fā)明效果-

根據(jù)本發(fā)明，可以直觀地把握樣品的朝向或傾斜的狀態(tài)。

根據(jù)以下的實(shí)施方式的說明能更加清楚上述以外的課題、構(gòu)成及效果。

附圖說明

圖1是帶電粒子束裝置的整體構(gòu)成的示意圖。

圖2是表示到樣品觀察為止的處理的流程的流程圖。

圖3是CCD照相機(jī)的示意圖。

圖4-1是偽圖像的觀察方式的一例。

圖4-2是偽圖像的觀察方式的一例。

圖4-3是偽圖像的觀察方式的一例。

圖5-1是表示檢測器與樣品臺(tái)的位置關(guān)系的偽圖像的觀察方式的一例。

圖5-2是表示檢測器與樣品臺(tái)的位置關(guān)系的偽圖像的觀察方式的一例。

圖5-3是表示開口部(aperture)與樣品臺(tái)的位置關(guān)系的偽圖像的觀察方式的一例。

圖6是3D顯示畫面的一例。

圖7是畫面布局的一例。

圖8是表示射線束照射位置與樣品臺(tái)的位置關(guān)系的偽圖像的觀察方式的一例。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例中公開了一種帶電粒子束裝置，其具備：發(fā)射帶電粒子束的帶電粒子源；向樣品照射帶電粒子束的帶電粒子光學(xué)系統(tǒng)；載置樣品的樣品臺(tái)；至少能夠沿傾斜方向在樣品臺(tái)上移動(dòng)的載物臺(tái)；利用樣品臺(tái)的偽圖像來顯示樣品臺(tái)的傾斜狀態(tài)的顯示部；用戶進(jìn)行樣品的觀察對象部位及觀察方向的指示的操作輸入部；以及基于從操作輸入部輸入的信號來控制載物臺(tái)的移動(dòng)量的控制部。

再有，實(shí)施例中公開了能任意地設(shè)定偽圖像上的傾斜軸。還有，公開了：載物臺(tái)能夠在樣品臺(tái)上進(jìn)行平面移動(dòng)、傾斜移動(dòng)、旋轉(zhuǎn)移動(dòng)，通過將偽圖像上被設(shè)定的傾斜軸與載物臺(tái)的平面移動(dòng)或者旋轉(zhuǎn)移動(dòng)組合，從而能與載物臺(tái)的傾斜軸相對應(yīng)。

還有，實(shí)施例中公開了偽圖像是表現(xiàn)出樣品臺(tái)的外形整體的圖像。

另外，實(shí)施例公開了利用偽圖像來進(jìn)行樣品的觀察對象部位及觀察方向的指示。

此外，實(shí)施例公開了：具有對樣品進(jìn)行攝像的攝像裝置，將由攝像裝置而得到的圖像與樣品臺(tái)的偽圖像合成后進(jìn)行顯示。

進(jìn)而，實(shí)施例公開了偽圖像以能把握載物臺(tái)向顯示部的顯示面內(nèi)及與顯示面垂直的方向傾斜的狀態(tài)的形態(tài)被顯示。