[發明專利]微粒分級測定裝置、粒子濃度分布均勻的試樣制作裝置、以及納米粒子膜成膜裝置

有效

• 申請號: 201380029887.0
• 申請日: 2013-06-04
• 公開（公告）號: CN104380078B
• 公開（公告）日: 2016-11-30
• 發明（設計）人: 奧田浩史
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: G01N15/02
• 分類號: G01N15/02;G01N1/02;G01N27/60
• 代理公司: 上海市華誠律師事務所 31210
• 代理人: 肖華

1.一種微粒分級測定裝置，其特征在于，具備：

能夠使流經內部的試樣氣體形成層流的平行的流路；

從所述流路的入口吸入試樣氣體，并且以吸入的試樣氣體在所述流路內形成層流流動的條件被驅動的送風機構；

包含配置于所述流路入口側的放電電極，并使試樣氣體中的微粒帶電的帶電器；

1個或多個吸引側電極，其在所述流路的相對的一對面的一個面上，在所述帶電器的下游沿著流路方向配置于離所述流路的入口不同距離的位置上，分別在流路方向上有規定的電極寬度，且電氣上相互分離；

分級電極，其在所述一對面的另一面上，與所述吸引側電極相對配置，在所述分級電極與所述吸引側電極之間發生將流經所述流路的試樣氣體中的帶電微粒吸附于所述吸引側電極一側的電場；

以所述吸引側電極的至少1個為測定電極，連接于測定電極，檢測到達該測定電極的微粒所具有的電荷量的每一測定電極的檢流電路；以及

連接于所述檢流電路，根據所述檢流電路檢測出的電荷量，計算到達所述測定電極的帶電微粒的分級的微粒量的運算部。

2.根據權利要求1所述的微粒分級測定裝置，其特征在于，

所述測定電極有2個以上，在各測定電極上連接有所述檢流電路，用各測定電極檢測不同的粒徑范圍的帶電微粒產生的電荷量。

3.根據權利要求2所述的微粒分級測定裝置，其特征在于，

對于第n個與第n+1個兩個測定電極，使所述2個測定電極的電極面積相同，或將測定電流值修正為相等電極面積的值，以使分別測定的帶電微粒的粒徑分布的大粒徑側的尾高相同。

4.根據權利要求2或3所述的微粒分級測定裝置，其特征在于，

還具備連接于所述檢流電路與所述運算部之間的、取第n個與第n+1個兩個測定電極的各自的檢流電路的測定信號的差分的差分電路、或利用軟件對差分信號進行運算的功能。

5.根據權利要求1所述的微粒分級測定裝置，其特征在于，

所述吸引側電極包含配置于最上游側的陷阱電極和配置于所述陷阱電極的下游側的1個或多個測定電極，

分別包含規定的粒徑的粒徑范圍的帶電微粒到達所述測定電極，比所述粒徑范圍大的帶電微粒與比所述粒徑范圍小的微粒到達所述陷阱電極。

6.根據權利要求1～5中的任一項所述的微粒分級測定裝置，其特征在于，

所述運算部具備粒子數計算部，用于計算到達測定電極的帶電微粒的微粒數作為到達測定電極的帶電微粒的分級的微粒的量，

所述粒子數計算部保持表示每一測定電極的電荷量與微粒數的關系的微粒數校準數據，對于測定電極，基于所述微粒數校準數據，根據檢流電路檢測出的電荷量計算到達該測定電極的帶電微粒的微粒數。

7.根據權利要求1～5中的任一項所述的微粒分級測定裝置，其特征在于，

所述運算部具備總表面積計算部，用于計算到達測定電極的帶電微粒的總表面積作為到達測定電極的帶電微粒的分級的微粒的量，

所述總表面積計算部保持表示每一測定電極的電荷量與總表面的關系的總表面積校準數據，對于測定電極，基于所述總表面積校準數據，根據檢流電路檢測出的電荷量計算到達該測定電極的帶電微粒的總表面積。

8.根據權利要求1～5中的任一項所述的微粒分級測定裝置，其特征在于，

所述運算部具備總重量計算部，用于計算到達測定電極的帶電微粒的總重量作為到達測定電極的帶電微粒的分級的微粒的量，

所述總重量計算部保持表示每一測定電極的電荷量與總表面的關系的總重量校準數據，對于測定電極，基于所述總重量校準數據，根據檢流電路檢測出的電荷量計算到達該測定電極的帶電微粒的總重量。

9.根據權利要求6～8中的任一項所述的微粒分級測定裝置，其特征在于，

在所述流路的入口側或出口側還設置測定試樣氣體流量的流量計，

所述運算部具備將計算出的微粒數、總表面積或總重量除以所述流量計測定的試樣氣體流量，計算出各濃度值的濃度值計算部。

10.根據權利要求1～9中的任一項所述的微粒分級測定裝置，其特征在于，

在所述帶電器的放電電極上施加電壓的充電電源是能夠改變施加電壓的電源，

利用所述充電電源改變放電電極產生的電場強度，以此改變到達相同的測定電極的帶電微粒的分級粒徑范圍。