[發明專利]液浸構件及曝光裝置

有效

• 申請號: 201380029828.3
• 申請日: 2013-03-22
• 公開（公告）號: CN104508560B
• 公開（公告）日: 2018-05-22
• 發明（設計）人: 佐藤真路
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 湯在彥

1.一種液浸構件，是以從光學構件的射出面射出的曝光用光的光路被液體充滿的方式，在能于該光學構件下方移動的物體上形成液浸空間，具備：

第1構件，配置在該光學構件周圍的至少一部分，具有第1下面與相對該光路配置在該第1下面的外側的第1回收部；以及

第2構件，在該第1構件的下方配置在該光路周圍的至少一部分，具有與該第1下面隔著間隙對向的第2上面與該物體可對向的第2下面，相對該第1構件為可動的，

其中該物體可對向于該第1回收部的至少一部分，以及

其中該第1回收部回收該第1構件與該第2構件之間的第1空間中的該液體的至少一部分，并且回收來自該第2構件與該物體之間的第2空間的該液體的至少一部分，以及

其中該第2構件能于該物體的移動方向移動，該第2構件是以該第2構件與該物體之間的相對速度變小的方式移動。

2.如權利要求1所述的液浸構件，其中，該第2構件的至少一部分與該第1回收部對向。

3.如權利要求1所述的液浸構件，其中，該第1回收部是配置于該第1構件。

4.如權利要求1所述的液浸構件，其進一步具備：

連接于該第2構件的支承構件，

其中該第2構件是借由被驅動裝置所執行的該支承構件的移動而移動。

5.如權利要求4所述的液浸構件，其中，該第1構件進一步具有連接該第1構件的上側空間與下側空間的孔，

該支承構件配置于該第1構件的該孔，以及

于該第1構件的孔內，該支承構件借由該驅動裝置移動。

6.如權利要求5所述的液浸構件，其中，該驅動裝置于該上側空間中連接于該支承構件。

7.如權利要求5所述的液浸構件，其中，該第1構件的該孔是延伸于該第2構件的移動方向。

8.如權利要求5所述的液浸構件，其中，允許該液體在該孔中流動。

9.如權利要求8所述的液浸構件，其中，該液體從該第1構件的該上側空間流向該下側空間。

10.如權利要求5所述的液浸構件，其中，該第1構件的該下側空間包含該第1構件與該第2構件間的空間。

11.如權利要求1所述的液浸構件，其中，該第1構件具有與該光學構件側面對向的對向面、與設置成該側面與該對向面之間的液體流于該第2上面的流路。

12.如權利要求1所述的液浸構件，其中，該第1構件實質上不移動。

13.如權利要求1所述的液浸構件，其中，該第2構件能在與該光學構件的光軸實質上垂直的方向移動。

14.如權利要求1所述的液浸構件，其中，該第2構件能與從該射出面射出該曝光用光的期間中的至少一部分并行移動。

15.如權利要求1所述的液浸構件，其中，該第2構件能與該物體移動的期間中的至少一部分并行移動。

16.如權利要求1所述的液浸構件，其中，該第1回收部包含多孔構件。

17.如權利要求1所述的液浸構件，其中，該第1回收部的下面的至少一部分，是于相對該光路的放射方向朝外側向上方傾斜。

18.如權利要求1所述的液浸構件，其進一步具備：

供應該液體的供應口。

19.如權利要求18所述的液浸構件，其中，該供應口是配置于該第1構件。