[發(fā)明專(zhuān)利]有機(jī)晶體管制造用溶劑或溶劑組合物

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380029735.0
• 申請(qǐng)日: 2013-06-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104364926B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-11-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鈴木陽(yáng)二;橫尾健;赤井泰之
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 株式會(huì)社大賽璐
• 主分類(lèi)號(hào): H01L51/40
• 分類(lèi)號(hào): H01L51/40;H01L21/368;H01L51/05;H01L51/30
• 代理公司: 北京坤瑞律師事務(wù)所 11494
• 代理人: 張平元

本發(fā)明提供有機(jī)晶體管制造用溶劑或溶劑組合物，其對(duì)有機(jī)半導(dǎo)體材料的溶解性優(yōu)異，能夠形成結(jié)晶性高的有機(jī)晶體管。本發(fā)明的有機(jī)晶體管制造用溶劑或溶劑組合物為有機(jī)半導(dǎo)體材料溶解用的溶劑或溶劑組合物，其含有下述式(A)所示的溶劑A。式(A)中，R¹～R⁴相同或不同，為C_1?2的烷基，R¹與R⁴可以相互鍵合，與式中的?N(R²)?C(＝O)?N(R³)?一起形成環(huán)。

背景技術(shù)

本發(fā)明涉及對(duì)有機(jī)半導(dǎo)體材料的溶解性優(yōu)異的、有機(jī)晶體管制造用溶劑或溶劑組合物，及含有該有機(jī)晶體管制造用溶劑或溶劑組合物和有機(jī)半導(dǎo)體材料的有機(jī)晶體管制造用組合物。

背景技術(shù)

晶體管作為構(gòu)成顯示器或計(jì)算機(jī)的重要的半導(dǎo)體電子器件被廣泛應(yīng)用，目前，將多晶硅或非晶硅等無(wú)機(jī)物用于半導(dǎo)體材料來(lái)制造。在使用了這樣的無(wú)機(jī)物的薄膜晶體管的制造中，存在需要真空工藝或高溫工藝、制造成本增加的問(wèn)題。另外，由于包括高溫工藝，因此，對(duì)可以使用的基板具有限制，例如主要使用玻璃基板等。但是，玻璃基板的耐熱性高，但耐沖擊性弱且輕量化困難，柔軟性不足，因此，難以形成撓性的晶體管。

因此，近年來(lái)，積極地進(jìn)行與利用了有機(jī)半導(dǎo)體材料的有機(jī)電子器件有關(guān)的研究開(kāi)發(fā)。有機(jī)半導(dǎo)體材料可以用利用印刷法、旋涂法等濕工藝的簡(jiǎn)便的方法容易地形成薄膜，與利用了現(xiàn)有的無(wú)機(jī)半導(dǎo)體材料的晶體管相比，具有可以將制造工藝溫度低溫化的優(yōu)點(diǎn)。由此，一般可以在耐熱性低的塑料基板上形成，可以實(shí)現(xiàn)顯示器等電子器件的輕量化及低成本化，同時(shí)，可以期待有效利用了塑料基板的撓性的用途等多樣性的展開(kāi)。

作為有機(jī)半導(dǎo)體材料，已知有通過(guò)使用例如并五苯等低分子的半導(dǎo)體材料而顯現(xiàn)高的半導(dǎo)體器件性能。但是，大部分的以并五苯為代表的無(wú)取代的并苯系化合物，由于π共軛系引起的強(qiáng)的分子間相互作用，對(duì)于溶劑的溶解性不足。因此，存在如下問(wèn)題：不能調(diào)整濃度高的有機(jī)晶體管制造用組合物，用印刷法形成的有機(jī)半導(dǎo)體其晶粒變小，如果不施加高的電壓則不通電、進(jìn)而施加高的電壓時(shí)，絕緣膜剝離等。

作為解決上述問(wèn)題的方法，在非專(zhuān)利文獻(xiàn)1中記載有：作為有機(jī)半導(dǎo)體材料，使用如下化合物，其添加有用于賦予并苯系化合物溶解性的取代基。但是，大部分的具有上述取代基的并苯系化合物，與無(wú)取代的并苯系化合物相比，存在電荷移動(dòng)度低的問(wèn)題。

另外，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1、2中記載了，使用在有機(jī)半導(dǎo)體材料的溶解性方面優(yōu)異的以1,2,4-三氯苯為代表的鹵化芳基或四氫化萘等溶劑而進(jìn)行加熱溶解。但是，難溶解性的有機(jī)半導(dǎo)體材料的溶解需要高溫下的加熱溶解，在其后的涂布工藝中，存在通過(guò)冷卻而析出有機(jī)半導(dǎo)體材料的問(wèn)題。而且，鹵化芳基存在生態(tài)毒性的擔(dān)心，也存在操作安全上的問(wèn)題。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2007-294704號(hào)公報(bào)

專(zhuān)利文獻(xiàn)2：日本特開(kāi)2010-093092號(hào)公報(bào)

非專(zhuān)利文獻(xiàn)

非專(zhuān)利文獻(xiàn)1：J.Am.Chem.Soc.,2005,127(14),pp 4986-4987

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的問(wèn)題

因此，本發(fā)明的目的在于，提供有機(jī)晶體管制造用溶劑或溶劑組合物，其在有機(jī)半導(dǎo)體材料的溶解性方面優(yōu)異，可以形成結(jié)晶性高的有機(jī)晶體管。

本發(fā)明的其它目的在于，提供含有所述有機(jī)晶體管制造用溶劑或溶劑組合物的有機(jī)晶體管制造用組合物。

解決問(wèn)題的方法