[發明專利]壓電器件及壓電器件的制造方法有效
| 申請號: | 201380029287.4 | 申請日: | 2013-06-03 |
| 公開(公告)號: | CN104335376B | 公開(公告)日: | 2017-05-03 |
| 發明(設計)人: | 谷本一洋;吉田光伸;清水正樹;西川茂雄;田實佳郎 | 申請(專利權)人: | 三井化學株式會社;株式會社村田制作所 |
| 主分類號: | H01L41/047 | 分類號: | H01L41/047;C08G63/06;H01L41/083;H01L41/193;H01L41/293;H01L41/297;H01L41/45;C08L101/16 |
| 代理公司: | 北京銀龍知識產權代理有限公司11243 | 代理人: | 鐘晶,於毓楨 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 壓電 器件 制造 方法 | ||
1.一種壓電器件,其具有:
至少一層的膜狀高分子壓電材料,
在所述高分子壓電材料的主面設置的第1導電體,
在所述高分子壓電材料的與主面的所述第1導電體相反側的面設置的第2導電體,
設置于所述高分子壓電材料的寬度方向的一方的端面,并以與所述第1導電體導通且不與所述第2導電體接觸的方式配置的第1端面導電體,
設置于所述高分子壓電材料的所述一方的端面以外的另一方的端面,并以與所述第2導電體導通且不與所述第1導電體和所述第1端面導電體接觸的方式配置的第2端面導電體,和
將所述高分子壓電材料與所述第1導電體或所述第2導電體進行粘接的粘接層,
將在所述高分子壓電材料的主面設置的所述第1導電體的面積與在相反側的面設置的所述第2導電體的面積之和設為D1,將主面的未設置所述第1導電體的面積與相反側的面的未設置所述第2導電體的面積之和設為D2時,D1/D2為17以上,
所述粘接層的由在頻率0.01Hz測定的25℃時的動態粘彈性測定獲得的拉伸儲存彈性模量E’為1×106Pa以上,并且損耗角正切為0.03以上。
2.根據權利要求1所述的壓電器件,所述高分子壓電材料包含重均分子量為5萬~100萬的具有光學活性的螺旋手性高分子,且由DSC法獲得的結晶度為20%~80%。
3.根據權利要求1所述的壓電器件,在所述高分子壓電材料的主面側形成的所述第2導電體的面,沿著厚度方向依次疊層有至少一層的膜狀的其它高分子壓電材料和所述其它高分子材料的主面側的第3導電體,
所述第1端面導電體延伸到所述其它高分子壓電材料的寬度方向的一方的端面,并且所述第2端面導電體延伸到所述其它高分子壓電材料的寬度方向的另一方的端面,
所述第3導電體以與所述第1端面導電體導通且不與所述第2端面導電體接觸的方式配置。
4.根據權利要求1所述的壓電器件,所述高分子壓電材料對可見光線的透射霧度為0.0%~50%。
5.根據權利要求2所述的壓電器件,所述螺旋手性高分子為具有包含下述式(1)所示重復單元的主鏈的聚乳酸系高分子,
6.根據權利要求2所述的壓電器件,在所述高分子壓電材料的主面側形成的所述第2導電體的面沿著厚度方向疊層有至少一層的膜狀的其它高分子壓電材料,
所述高分子壓電材料與所述其它高分子壓電材料由以所述螺旋手性高分子的L體作為主要成分的層形成,
所述高分子壓電材料的單軸拉伸方向以與所述其它高分子壓電材料的單軸拉伸方向交叉的方式配置。
7.根據權利要求2所述的壓電器件,在所述高分子壓電材料的主面側形成的所述第2導電體的面沿著厚度方向疊層有至少一層的膜狀的其它高分子壓電材料,
所述高分子壓電材料和所述其它高分子壓電材料的一方由以所述螺旋手性高分子的L體作為主要成分的層形成,并且
所述高分子壓電材料和所述其它高分子壓電材料的另一方由以所述螺旋手性高分子的D體作為主要成分的層形成,
所述高分子壓電材料的單軸拉伸方向以與所述其它高分子壓電材料的單軸拉伸方向同方向地配置。
8.根據權利要求2所述的壓電器件,所述螺旋手性高分子的光學純度為95.00%ee以上。
9.一種壓電器件的制造方法,是制造權利要求1或權利要求2所述的壓電器件的方法,其具備下述工序:
在膜狀高分子壓電材料的主面,除去寬度方向的另一方的端部而形成第1導電體,并且在與所述第1導電體相反側的面,除去寬度方向的一方的端部而形成第2導電體的工序,
在所述高分子壓電材料的寬度方向的一方的端面,以與所述第1導電體接觸且不與所述第2導電體接觸的方式形成第1端面導電體的工序,和
在所述高分子壓電材料的寬度方向的另一方的端面,以與所述第2導電體接觸且不與所述第1導電體接觸的方式形成第2端面導電體的工序。
10.一種壓電器件的制造方法,是制造權利要求3所述的壓電器件的方法,其具備下述工序:
在膜狀高分子壓電材料的主面,除去寬度方向的另一方的端部而形成第1導電體,并且在與所述第1導電體相反側的面,除去寬度方向的一方的端部而形成第2導電體的工序,
在膜狀其它高分子壓電材料的主面除去寬度方向的另一方的端部而形成第3導電體的工序,
使所述其它高分子壓電材料的與主面的所述第3導電體相反側的面、與所述高分子壓電材料的形成有所述第2導電體的面,介由粘接層而粘接的工序,
在所述高分子壓電材料和所述其它高分子壓電材料的寬度方向的一方的端面,以與所述第1導電體和所述第3導電體接觸且不與所述第2導電體接觸的方式形成第1端面導電體的工序,和
在所述高分子壓電材料和所述其它高分子壓電材料的寬度方向的另一方的端面,以與所述第2導電體接觸且不與所述第1導電體和所述第3導電體接觸的方式形成第2端面導電體的工序。
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