[發明專利]用于創建、定義和執行SPC規則決策樹的算法和結構

有效

• 申請號: 201380029181.4
• 申請日: 2013-04-11
• 公開（公告）號: CN104364664B
• 公開（公告）日: 2017-03-22
• 發明（設計）人: 亨利·阿諾德;皮埃爾·高徹爾;布瑞恩·布拉斯;杰姆斯·史蒂芬·萊德福特
• 申請（專利權）人: 愛德萬測試公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司11258
• 代理人: 李曉冬

技術領域

本公開一般來說涉及自動測試設備領域，更具體地涉及自動測試設備的統計過程控制領域。

背景技術

自動測試設備(ATE)可以是對器件、半導體晶片或裸片等進行測試的任何測試組件。ATE組件可以用于執行自動測試，這些測試能快速執行測量并生成隨后可進行分析的結果。ATE組件可以是從耦接到儀表的計算機系統到復雜自動測試組件的任何設備，它可以包括自定義專用計算機控制系統以及許多不同的能夠自動測試電子零件和/或進行半導體晶片測試(例如片上系統(SOC)測試或集成電路測試)的測試儀器。

然后可以分析從ATE組件提供的測試結果，以對測試的電子部件進行評估。這種測試結果評估可以作為統計過程控制方法的一部分。在一個示例性實施例中，可以采用統計過程控制方法來監測并控制制造過程，以確保該制造過程以希望的效率水平和希望的質量水平生產希望的產品。在一個示例性實施例中，在完成規定的ATE測試運行之后，采用統計過程控制方法來統計分析所編譯的測試結果。也可以在后續生產運行中基于測試結果的統計分析來實現生產過程和/或測試過程的變化。

發明內容

本發明的實施例提供了一種方案以應對自動測試中實施統計過程控制方法時面臨的挑戰。具體而言，通過提供機會以在對不正確測試的晶片、裸片和/或器件或存在內在問題的晶片、裸片和/或器件花費很多測試時間之前就校正過程，本發明的實施例可以用于不考慮通過/失敗結果而做出執行決策。在本發明的一個示例性實施例中，公開了一種實時統計分析測試結果的方法。在所述方法中，在已采集預定數量的所請求的測試結果后，可以響應于任何所識別的測試錯誤或缺陷晶片執行選定動作，來執行已采集測試結果的統計分析。如此處所述，評價過程和動作也可以應用于晶片分類和最終測試統計以及晶片測試。

在根據本發明的一個示例性方法中，公開了一種分析和作用于測試結果的方法。所述方法包括從多個儲存的控制規則中選擇選定的控制規則進行驗證，訪問選擇的測試結果，對選擇的測試結果進行選擇的統計分析，以及執行多個選擇的動作中的至少一個動作，其中所述多個選擇的動作是通過選擇的統計分析的結果被選擇的。所述多個選定的控制規則排列在決策樹中。所述決策樹包括用于驗證所述選定的控制規則的時間表。所述測試結果的選擇由所述多個選定的控制規則定義。統計分析的選擇由所述多個選定的控制規則和所述決策樹定義。所述至少一個動作通過所述決策樹選擇。

在一個示例性實施例中，公開了一種用于測試器件的裝置。所述裝置包括具有圖形用戶界面和測試模塊的計算機。所述圖形用戶界面可操作以通過下述方式創建新的控制規則：定義測試結果請求，定義統計分析，定義分析參數，定義至少一個要執行的控制規則驗證，以及響應于所述至少一個控制規則驗證失敗而定義要執行的動作。所述圖形用戶界面可操作以使所述新控制規則存儲在多個控制規則的數據庫中。所述測試模塊可操作以驗證所述多個控制規則中選定的控制規則，并響應于所述選定的控制規則中的至少一個控制規則的驗證失敗而執行至少一個動作。

附圖說明

結合附圖，并閱讀以下詳細說明，將可以更好地理解本發明，在附圖中，相同的參考符號指代相同的元件，其中：

圖1示出了一種實現統計過程控制的自動測試設備(ATE)的示例性簡化框圖；

圖2示出了一種用于選擇、編輯并創建統計過程控制規則的示例性圖形用戶界面；

圖3示出了一種用于顯示控制規則測試結果的示例性圖形用戶界面；

圖4示出了根據本發明一個實施例的用于實時管理統計過程控制的統計分析與控制裝置的示例性框圖；

圖5示出了根據本發明一個實施例的統計分析與控制裝置的示例性可自定義狀態機部件；

圖6示出了根據本發明一個實施例的統計分析與控制裝置的示例性批次配方控制部件；

圖7示出了根據本發明一個實施例的統計分析與控制裝置的示例性統計過程控制部件；

圖8示出了根據本發明一個實施例的統計分析與控制裝置的示例性箱子控制部件；

圖9示出了根據本發明一個實施例的統計分析與控制裝置的示例性測量值監測部件；

圖10示出了根據本發明的一個實施例要加入到統計分析與控制裝置中的示例性自定義部件；

圖11示出了根據本發明一個實施例的統計分析與控制裝置的示例性過程參數控制部件；

圖12示出了示例性流程圖，示出了根據本發明一個實施例的用于實時過程控制分析和動作的方法的步驟；