[發明專利]基座

有效

• 申請號: 201380028573.9
• 申請日: 2013-06-03
• 公開（公告）號: CN104380451B
• 公開（公告）日: 2017-06-06
• 發明（設計）人: T·科恩邁爾;M·維斯基興;S·施蒂爾
• 申請（專利權）人: KGT石墨科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/673
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司11127
• 代理人: 王小東

1.一種由石墨或碳纖維復合物制成并且用于保護性氣體真空高溫處理設備的處理的基座，所述基座被構造成隧道狀，并且所述基座的兩個相對端部中的每個端部均能被蓋件閉合，所述基座(1)由多個模塊(2)構成，所述多個模塊沿縱向相互并排布置成連續隧道，其特征在于，所述多個模塊以形狀鎖合和力鎖合的方式相互牢固地連接，具有平坦化的管狀橫截面的各模塊(2)均由管狀部分(3)和旋擰至該管狀部分的底板(4)構成，并且兩個相鄰模塊(2)之間的端面(5)均以形狀鎖合的方式相互連接，相鄰模塊(2)的所述底板(4)在所述底板的外表面中設置有凹部(9)，所述凹部(9)從一個相鄰模塊延伸至另一相鄰模塊，并且石墨連接元件(6)以形狀鎖合的方式齊平地接合到所述凹部(9)中，所述石墨連接元件(6)呈具有半圓形橫截面的雙T舌槽式連接元件的形式，并且模塊(2)的所有組件均是從相同的毛坯件切割而成的。

2.根據權利要求1所述的基座，其特征在于，相鄰模塊(2)之間的形狀鎖合是通過異型的端面(5)實現的，其中一個端面的形狀與另一個端面的形狀是互補的。

3.根據權利要求2所述的基座，其特征在于，作為所述異型的端面(5)的替代或補充，在所述端面(5)中引入了孔，銷接合在所述孔中以形成所述形狀鎖合。

4.根據權利要求3所述的基座，其特征在于，相鄰模塊(2)的所述底板(4)設置有凹部(9)，所述凹部(9)在模塊與模塊之間延伸，并且連接元件(6)以形狀鎖合的方式齊平地接合到所述凹部(9)中。

5.根據權利要求1至4中的任一項所述的基座，其特征在于，各模塊(2)的所述管狀部分(3)均由兩個或更多個部段(10)構成。

6.根據權利要求1所述的基座，其特征在于，能夠相互并排布置的所述模塊(2)具有相同或不同的長度。

7.根據權利要求1所述的基座，其特征在于，在相鄰模塊(2)的所述端面(5)之間引入了密封材料，所述密封材料諸如是膜或石墨線密封件。

8.根據權利要求1所述的基座，其特征在于，相鄰模塊(2)通過石墨水泥或石墨粘合劑彼此牢固地連接。