[發明專利]表面形狀測定方法及表面形狀測定裝置

有效

• 申請號: 201380028544.2
• 申請日: 2013-05-22
• 公開（公告）號: CN104350358B
• 公開（公告）日: 2017-04-12
• 發明（設計）人: 梅垣嘉之;原園學
• 申請（專利權）人: 杰富意鋼鐵株式會社
• 主分類號: G01B11/22
• 分類號: G01B11/22;G01B11/24
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司11219
• 代理人: 高培培,車文

1.一種表面形狀測定方法，其特征在于，包括如下步驟：

位移數據取得步驟，通過向物體表面照射光線而進行測定的光學式位移計對所述物體表面進行掃描，取得所述物體表面相對于所述光學式位移計的位移數據；

槽概略范圍檢測步驟，搜索所述位移數據來檢測包含加工在所述物體表面上的槽的物體表面的概略范圍；

槽寬算出步驟，算出包含在所述概略范圍內的所述槽的槽起點及槽終點；

最深位置檢測步驟，算出從所述槽起點與所述槽終點的中央位置限定在所述槽寬的規定比例的寬度的范圍內的所述位移數據的最小值；以及

槽深算出步驟，算出在所述最深位置檢測步驟中算出的所述位移數據的最小值與所述物體表面的高度之差作為加工在所述物體表面上的槽的深度。

2.根據權利要求1所述的表面形狀測定方法，其特征在于，

所述槽寬算出步驟包括：

表面高度算出步驟，根據所述概略范圍的外側附近的所述位移數據來算出所述物體表面的高度；

閾值設定步驟，以所述物體表面的高度為基準來設定加工在所述物體表面上的槽的端部檢測用閾值；

端部檢測步驟，從所述概略范圍內的成為所述位移數據的最小值的位置起，向所述掃描方向的前側及后側進行搜索，檢測所述位移數據的值最初超過所述端部檢測用閾值的位置作為所述槽的槽起點及槽終點；以及

差算出步驟，算出所述槽的槽起點及槽終點之間的距離作為加工在所述物體表面上的槽的寬度。

3.根據權利要求1或2所述的表面形狀測定方法，其特征在于，

所述槽概略范圍檢測步驟包括：

起點檢測步驟，從所述位移數據的掃描方向起進行搜索，檢測所述位移數據的局部的變化量開始低于規定值的位置作為所述概略范圍的起點；

終點檢測步驟，從所述概略范圍的起點起繼續搜索，檢測所述位移數據的局部的變化量結束高于規定值的位置作為所述概略范圍的終點；

第一判定步驟，判定所述概略范圍的起點與所述概略范圍的終點之間的距離是否處于規定距離以內；

第二判定步驟，判定所述概略范圍的起點與所述概略范圍的終點的所述位移數據的值之差是否為規定范圍內；以及

判別步驟，在所述第一判定步驟和所述第二判定步驟中僅在成為真判定時將所述概略范圍的起點和所述概略范圍的終點作為真判定。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的表面形狀測定方法，其特征在于，

槽概略范圍檢測步驟在對所述位移數據實施了第一濾波處理之后，檢測包含加工在所述物體表面上的槽的物體表面的概略范圍。

5.根據權利要求4所述的表面形狀測定方法，其特征在于，

所述第一濾波處理是線性濾波、中值濾波、或它們的組合。

6.根據權利要求1～5中任一項所述的表面形狀測定方法，其特征在于，

所述槽寬算出步驟及所述槽深算出步驟在對所述位移數據實施了第二濾波處理之后，進行所述槽的槽起點及槽終點的計算及所述槽的深度的計算。

7.根據權利要求6所述的表面形狀測定方法，其特征在于，

所述第二濾波處理是線性濾波、中值濾波、或它們的組合。

8.一種表面形狀測定裝置，其特征在于，具備：

位移數據取得部，通過向物體表面照射光線而進行測定的光學式位移計對所述物體表面進行掃描，取得所述物體表面相對于所述光學式位移計的位移數據；

槽概略范圍檢測部，搜索所述位移數據來檢測包含加工在所述物體表面上的槽的物體表面的概略范圍；

槽寬算出部，算出包含在所述概略范圍內的所述槽的槽起點及槽終點；

最深位置檢測單元，算出從所述槽起點與所述槽終點的中央位置限定在所述槽寬的規定比例的寬度的范圍內的所述位移數據的最小值；以及

槽深算出單元，算出由所述最深位置檢測單元算出的所述位移數據的最小值與所述物體表面的高度之差作為加工在所述物體表面上的槽的深度。