[發(fā)明專利]物理量傳感器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380028260.3
• 申請日: 2013-05-28
• 公開（公告）號: CN104350359B
• 公開（公告）日: 2017-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 城森知也;持田洋一
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社電裝
• 主分類號: G01C19/5747
• 分類號: G01C19/5747
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司72002
• 代理人: 徐殿軍

1.一種物理量傳感器，其特征在于，

具有：

基板(10)；

驅(qū)動平衡塊，經(jīng)由第1彈簧(43b)支承于上述基板；

檢測平衡塊(35、36)，經(jīng)由第2彈簧(41)支承在上述驅(qū)動平衡塊上，具備檢測用可動電極(35b、36b)；以及

檢測用固定部(24、25)，具備相對于上述檢測用可動電極對置配置的檢測用固定電極(24b、25b)；

在使上述驅(qū)動平衡塊驅(qū)動振動時施加物理量的情況下，隨著該物理量的施加而上述檢測用可動電極與上述檢測平衡塊一起位移，從而基于上述檢測用可動電極與上述檢測用固定電極之間的間隔變化進(jìn)行上述物理量的檢測；

當(dāng)設(shè)隨著物理量的施加而上述驅(qū)動平衡塊及上述檢測平衡塊向同方向移動的同相模式的共振頻率為f1、設(shè)上述驅(qū)動平衡塊及上述檢測平衡塊向反方向移動的同相吸收模式的共振頻率為f3、設(shè)n為整數(shù)時，上述同相吸收模式的共振頻率f3比上述同相模式的共振頻率f1大，使絕對值Δf3比對上述同相模式的共振頻率f1乘以避免差D而得到的值大的關(guān)系成立，并且使上述避免差D比0％大，該絕對值Δf3是上述同相吸收模式的共振頻率f3與上述同相模式的共振頻率f1的n倍的值的差的絕對值，該避免差D表示使該絕對值Δf3從上述同相模式的共振頻率f1偏差的程度，其中，f3≠n·f1。

2.如權(quán)利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于，

上述避免差D為5％以上。

3.如權(quán)利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于，

上述避免差D為10％以上。

4.一種振動型角速度傳感器，在角速度檢測中使用權(quán)利要求1～3中任一項所述的物理量傳感器，其特征在于，

上述驅(qū)動平衡塊為將上述檢測平衡塊的周圍包圍并且經(jīng)由與上述第2彈簧相當(dāng)?shù)臋z測梁連結(jié)上述檢測平衡塊的一對內(nèi)側(cè)驅(qū)動平衡塊(33、34)；

該振動型角速度傳感器具有：

一對外側(cè)驅(qū)動平衡塊(31、32)，配置在隔著上述一對內(nèi)側(cè)驅(qū)動平衡塊的兩側(cè)；以及

驅(qū)動用固定部(22、23)，產(chǎn)生使上述內(nèi)側(cè)驅(qū)動平衡塊和上述外側(cè)驅(qū)動平衡塊相互向反方向振動的靜電引力；

上述內(nèi)側(cè)驅(qū)動平衡塊和上述外側(cè)驅(qū)動平衡塊用驅(qū)動梁(42)連結(jié)；并且，

用包括上述第1彈簧的支承部件(43)將連結(jié)著上述外側(cè)驅(qū)動平衡塊及上述檢測平衡塊的上述內(nèi)側(cè)驅(qū)動平衡塊支承在上述基板上；

該振動型角速度傳感器構(gòu)成為，基于上述驅(qū)動用固定部產(chǎn)生的靜電引力使上述驅(qū)動梁撓曲，進(jìn)行使上述外側(cè)驅(qū)動平衡塊和上述內(nèi)側(cè)驅(qū)動平衡塊振動的傳感器驅(qū)動，當(dāng)在該傳感器驅(qū)動中被施加角速度作為物理量時，通過上述檢測梁撓曲，使上述檢測平衡塊在與上述內(nèi)側(cè)驅(qū)動平衡塊的振動方向垂直的方向上移動，基于上述檢測用固定電極和上述檢測用可動電極的電容變化，檢測上述角速度。