[發(fā)明專利]樹脂容器用涂敷裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380028064.6
• 申請(qǐng)日: 2013-05-14
• 公開（公告）號(hào): CN104350177B
• 公開（公告）日: 2017-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 島田清典
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日精ＡＳＢ機(jī)械株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C23C16/455
• 分類號(hào): C23C16/455
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 李浩,徐紅燕

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種在腔室內(nèi)配置多個(gè)樹脂容器并能夠?qū)Χ鄠€(gè)樹脂容器一并成膜的樹脂容器用涂敷裝置。

背景技術(shù)

被廣泛使用在家庭用品等中的聚乙烯等樹脂一般具有使氧氣、二氧化碳等低分子氣體透過的性質(zhì)，還具有使低分子有機(jī)化合物吸附在其內(nèi)部的性質(zhì)。因此，在將樹脂作為容器使用時(shí)，與玻璃等其他容器相比，周知的是因其使用對(duì)象和使用形式等而受到各種制約。例如，在向樹脂容器填充碳酸飲料水進(jìn)行使用時(shí)，存在該碳酸通過容器透過到外部而難以長(zhǎng)時(shí)間保持作為碳酸飲料水的品質(zhì)的情形。

因此，在制造樹脂容器時(shí)，為了消除樹脂容器中的由低分子氣體的透過、以及低分子有機(jī)化合物的吸附導(dǎo)致的不良情況，周知的是使用等離子體CVD成膜技術(shù)在該樹脂容器的內(nèi)部表面等形成DLC（Diamond Like Carbon：類金剛石碳）涂層等（例如，參照專利文獻(xiàn)1）。另外，根據(jù)近年來的生產(chǎn)高效化的要求，還周知的是對(duì)多個(gè)樹脂容器一并形成該種涂層的裝置（例如，參照專利文獻(xiàn)2）。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本國(guó)專利第2788412號(hào)

專利文獻(xiàn)2：日本國(guó)專利第4567442號(hào)。

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的問題

但是，本發(fā)明人判明：使用如上述專利文獻(xiàn)1、2那樣的以往的等離子體CVD成膜技術(shù)對(duì)多個(gè)樹脂容器一并成膜的結(jié)果，樹脂容器內(nèi)側(cè)的所形成的膜的品質(zhì)出現(xiàn)偏差。導(dǎo)致該偏差的主要原因是腔室的內(nèi)部空間中的高頻電力的不均勻分配。但是，要將高頻電力的分配調(diào)整均勻，需要變更腔室的形狀、電極的頂端形狀以及配置等，結(jié)構(gòu)變復(fù)雜，有可能導(dǎo)致制造成本上升。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于上述問題而提出的，其目的在于提供一種能夠?qū)Χ鄠€(gè)樹脂容器一并形成具有同等品質(zhì)的膜的樹脂容器用涂敷裝置。

用于解決問題的手段

本發(fā)明的樹脂容器用涂敷裝置，其特征在于，具有：

腔室，存放多個(gè)樹脂容器，并為外部電極；

多個(gè)內(nèi)部電極，被電氣接地并且形成為筒狀，在內(nèi)周部形成有引導(dǎo)原料氣體的氣體導(dǎo)通部，分別插入到在所述腔室存放的多個(gè)所述樹脂容器的內(nèi)部；

氣體供給部，向所述腔室供給原料氣體，

所述氣體供給部具有：原料氣體供給路徑，與貯存原料氣體的原料的原料貯存部相連通；多個(gè)氣體分支路徑，從該原料氣體供給路徑分支，分別與多個(gè)所述內(nèi)部電極的氣體導(dǎo)通部相連通，

經(jīng)由所述原料氣體供給路徑和多個(gè)所述氣體分支路徑以及多個(gè)所述內(nèi)部電極的氣體導(dǎo)通部分別向在所述腔室存放的多個(gè)所述樹脂容器的內(nèi)部供給原料氣體，

在所述原料氣體供給路徑上設(shè)置有調(diào)整原料氣體的流量的第一流量調(diào)整部，在多個(gè)所述氣體分支路徑上分別設(shè)置有調(diào)整原料氣體的流量的第二流量調(diào)整部。

另外，優(yōu)選所述腔室具有在直線上分別獨(dú)立地存放多個(gè)所述樹脂容器的多個(gè)存放室。

另外，優(yōu)選所述第二流量調(diào)整部由流量調(diào)整閥構(gòu)成。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明的樹脂容器用涂敷裝置，在所述原料氣體供給路徑上設(shè)置有調(diào)整原料氣體的流量的第一流量調(diào)整部，進(jìn)而在多個(gè)所述氣體分支部上分別設(shè)置有調(diào)整原料氣體的流量的第二流量調(diào)整部。因此，通過第二流量調(diào)整部對(duì)向各樹脂容器的內(nèi)部供給的原料氣體的流量進(jìn)行調(diào)整，從而即使不變更腔室的形狀、電極的頂端形狀以及配置等，也能夠?qū)Χ鄠€(gè)樹脂容器一并形成具有同等品質(zhì)的膜。

附圖說明

圖1是說明本發(fā)明的樹脂容器用涂敷裝置的實(shí)施方式的主視剖視圖。

圖2是圖1所示的樹脂容器用涂敷裝置的側(cè)剖視圖。

圖3是圖1所示的腔室的主要部分放大剖視圖。

圖4是圖1所示的氣體供給部的分流部的俯視圖。

圖5是說明圖1所示的涂敷裝置的管道結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖6是表示腔室的每個(gè)存放室的成膜評(píng)價(jià)試驗(yàn)結(jié)果的曲線圖。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的樹脂容器用涂敷裝置的一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行說明。

本實(shí)施方式的樹脂容器用涂敷裝置（以下僅稱為“涂敷裝置”）是在腔室內(nèi)存放多個(gè)樹脂容器，并使用等離子體CVD技術(shù)在其內(nèi)部表面等一并形成由硅化合物的氣體等構(gòu)成的膜的裝置。作為樹脂容器，例如能夠舉出碳酸飲料和果汁等飲料水用的瓶、化妝水或藥品用的容器，但并不限于此，也可以是用于其他用途的樹脂容器。