[發(fā)明專利]懸浮液、研磨液套劑、研磨液、基體的研磨方法及基體有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201380026857.4 | 申請(qǐng)日： | 2013-03-26 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN104334675B | 公開（公告）日： | 2016-10-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 巖野友洋;南久貴;阿久津利明;藤崎耕司 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 日立化成株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | C09K3/14 | 分類號(hào)： | C09K3/14;C09G1/02;B24B37/04;H01L21/3105 |
| 代理公司： | 上海市華誠(chéng)律師事務(wù)所 31210 | 代理人： | 杜娟 |
| 地址： | 日本國(guó)東京都千*** | 國(guó)省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 懸浮液 研磨 液套劑 基體 方法 | ||
1.一種懸浮液，其含有磨粒和水的懸浮液，所述磨粒含有4價(jià)金屬元素的氫氧化物，并且，在將該磨粒的含量調(diào)節(jié)至1.0質(zhì)量％的水分散液中，所述磨粒使該水分散液對(duì)波長(zhǎng)400nm的光的吸光度為1.00以上、小于1.50，并且，在以離心加速度1.59×105G對(duì)將該磨粒的含量調(diào)節(jié)至1.0質(zhì)量％的水分散液進(jìn)行50分鐘離心分離時(shí)獲得不揮發(fā)成分含量為300ppm以上的液相。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的懸浮液，其中，所述磨粒，在將該磨粒的含量調(diào)節(jié)至1.0質(zhì)量％的水分散液中，使該水分散液對(duì)波長(zhǎng)500nm的光的透光率在50％/cm以上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的懸浮液，其中，所述磨粒，在將該磨粒的含量調(diào)節(jié)至1.0質(zhì)量％的水分散液中，使該水分散液對(duì)波長(zhǎng)500nm的光的透光率在95％/cm以上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任意一項(xiàng)所述的懸浮液，其中，所述磨粒，在將該磨粒的含量調(diào)節(jié)至0.0065質(zhì)量％的水分散液中，使該水分散液對(duì)波長(zhǎng)290nm的光的吸光度為1.000以上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任意一項(xiàng)所述的懸浮液，其中，所述磨粒，在將該磨粒的含量調(diào)節(jié)至0.0065質(zhì)量％的水分散液中，使該水分散液對(duì)波長(zhǎng)450～600nm的光的吸光度為0.010以下。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任意一項(xiàng)所述的懸浮液，其中，所述4價(jià)金屬元素的氫氧化物是由4價(jià)金屬元素鹽與堿源進(jìn)行反應(yīng)所得。
7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中任意一項(xiàng)所述的懸浮液，其中，所述4價(jià)金屬元素是4價(jià)鈰。
8.一種研磨液套劑，其中，以第1液體和第2液體混合而形成研磨液的方式該研磨液的構(gòu)成成分被分為第1液體和第2液體分別保存，所述第1液體是權(quán)利要求1～7任意一項(xiàng)記載的懸浮液，所述第2液體含有添加劑和水。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的研磨液套劑，其中，所述添加劑是從由乙烯醇聚合物以及該乙烯醇聚合物的衍生物組成的組中所選出的至少1種。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的研磨液套劑，其中，所述添加劑的含量以研磨液總質(zhì)量為基準(zhǔn)在0.01質(zhì)量％以上。
11.一種研磨液，含有磨粒、添加劑和水，其中，所述磨粒含有4價(jià)金屬元素的氫氧化物，并且，在將該磨粒的含量調(diào)節(jié)至1.0質(zhì)量％的水分散液中，所述磨粒使該水分散液對(duì)波長(zhǎng)400nm的光的吸光度為1.00以上、小于1.50，并且，在以離心加速度1.59×105G對(duì)將該磨粒的含量調(diào)節(jié)至1.0質(zhì)量％的水分散液進(jìn)行50分鐘離心分離時(shí)獲得不揮發(fā)成分含量為300ppm以上的液相。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的研磨液，其中，所述磨粒，在將該磨粒的含量調(diào)節(jié)至1.0質(zhì)量％的水分散液中，使該水分散液對(duì)波長(zhǎng)500nm的光的透光率在50％/cm以上。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的研磨液，其中，所述磨粒，在將該磨粒的含量調(diào)節(jié)至1.0質(zhì)量％的水分散液中，使該水分散液對(duì)波長(zhǎng)500nm的光的透光率在95％/cm以上。
14.根據(jù)權(quán)利要求11～13中任意一項(xiàng)所述的研磨液，其中，所述磨粒，在將該磨粒的含量調(diào)節(jié)至0.0065質(zhì)量％的水分散液中，使該水分散液對(duì)波長(zhǎng)290nm的光的吸光度為1.000以上。
15.根據(jù)權(quán)利要求11～14中任意一項(xiàng)所述的研磨液，其中，所述磨粒，在將該磨粒的含量調(diào)節(jié)至0.0065質(zhì)量％的水分散液中，使該水分散液對(duì)波長(zhǎng)450～600nm的光的吸光度為0.010以下。
16.根據(jù)權(quán)利要求11～15中任意一項(xiàng)所述的研磨液，其中，所述4價(jià)金屬元素的氫氧化物是由4價(jià)金屬元素鹽與堿源進(jìn)行反應(yīng)所得。
17.根據(jù)權(quán)利要求11～16中任意一項(xiàng)所述的研磨液，其中，所述4價(jià)金屬元素是4價(jià)鈰。
18.根據(jù)權(quán)利要求11～17中任意一項(xiàng)所述的研磨液，其中，所述添加劑是從由乙烯醇聚合物以及該乙烯醇聚合物的衍生物組成的組中所選出的至少1種。
19.根據(jù)權(quán)利要求11～18中任意一項(xiàng)所述的研磨液，其中，所述添加劑的含量以研磨液總質(zhì)量為基準(zhǔn)在0.01質(zhì)量％以上。
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