[發明專利]用于提供氣體混合物的方法和設備有效
| 申請號: | 201380026653.0 | 申請日: | 2013-05-23 |
| 公開(公告)號: | CN104303127B | 公開(公告)日: | 2017-04-19 |
| 發明(設計)人: | N.A.道尼 | 申請(專利權)人: | 氣體產品與化學公司 |
| 主分類號: | G05D11/13 | 分類號: | G05D11/13;B01F3/02 |
| 代理公司: | 中國專利代理(香港)有限公司72001 | 代理人: | 李強,譚祐祥 |
| 地址: | 美國賓夕*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 提供 氣體 混合物 方法 設備 | ||
1.一種以相對比例提供氣體的混合物的方法,所述混合物至少包括第一氣體和不同于所述第一氣體的第二氣體,所述方法包括:
a)以第一流率從第一氣體源供應所述第一氣體;
b)以第二流率從第二氣體源供應所述第二氣體;
c)混合所述第一氣體和所述第二氣體,以形成混合氣體;以及
d)將所述混合氣體供應到處于大約大氣壓力的出口,其中,所述方法進一步包括:
e)測量與所述混合氣體接觸的高頻率平面壓電晶體振蕩器的共振頻率;
f)測量大氣壓力;
g)根據所述測量的共振頻率來確定所述混合氣體的密度;
h)根據所述密度、大氣壓力測量值和所述氣體的確定或預定的溫度而確定所述混合氣體的平均分子量;以及
i)響應于所述確定的平均分子量而自動地控制所述第一流率和所述第二流率中的一個,以控制所述混合氣體中的所述第一氣體和所述第二氣體的相對比例。
2.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,步驟e)包括
j)使用驅動電路來驅動所述壓電晶體振蕩器,使得所述壓電晶體振蕩器以單個共振頻率共振。
3.根據權利要求1或2所述的方法,其特征在于,在所述第一氣體源下游提供第一閥,以調整所述第一流率,在所述第二氣體源下游提供第二閥,以調整所述第二流率,并且步驟i)包括控制所述第一閥和所述第二閥中的一個。
4.根據權利要求3所述的方法,其特征在于,所述第一閥和所述第二閥中的另一個可手動地操作。
5.根據權利要求1或2所述的方法,其特征在于,步驟f)包括:
k)測量與大氣接觸的高頻率平面壓電晶體振蕩器的共振頻率;
l)根據所述共振頻率來確定大氣密度;以及
m)根據空氣的已知成分和所測量的大氣密度來確定大氣壓力。
6.一種氣體混合器組件,包括:
用于供應第一氣體的第一氣體源;
用于供應不同于所述第一氣體的第二氣體的第二氣體源;
用于調整所述第一氣體的流量的第一閥;
用于調整所述第二氣體的流量的第二閥;
混合器,其位于所述第一閥和所述第二閥的下游,并且布置成在使用中混合所述第一氣體和所述第二氣體,以提供混合氣體;
用于所述混合氣體的、處于大約大氣壓力的出口;
布置成測量所述混合氣體的平均分子量的量計,其包括與所述混合氣體接觸的高頻率平面壓電晶體振蕩器,以及可運行來確定大氣壓力的傳感器,所述量計可運行來根據所述壓電晶體振蕩器的測量的共振頻率來確定所述混合氣體的密度,以及根據所述密度、大氣壓力測量值和所述混合氣體的確定或預定的溫度來確定所述混合氣體的平均分子量;以及
控制器,其可運行來響應于測量的所述混合氣體的平均分子量,而控制所述第一閥和所述第二閥中的至少一個,以便控制所述混合氣體中的所述第一氣體和所述第二氣體的相對比例。
7.根據權利要求6所述的氣體混合器組件,其特征在于,所述量計進一步包括驅動電路,所述驅動電路用于驅動所述壓電晶體振蕩器,使得所述壓電晶體振蕩器以單個共振頻率共振。
8.根據權利要求6或7所述的氣體混合器組件,其特征在于,所述量計進一步包括溫度傳感器。
9.根據權利要求6或7所述的氣體混合器組件,其特征在于,可運行來測量大氣壓力的所述傳感器包括與處于大氣壓力的空氣接觸的高頻率平面壓電晶體振蕩器。
10.根據權利要求6或7所述的氣體混合器組件,其特征在于,所述第一閥和所述第二閥中的一個包括可由所述控制器以電子的方式操作的螺線管閥。
11.根據權利要求10所述的氣體混合器組件,其特征在于,所述第一閥和所述第二閥中的另一個可手動地操作。
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