[發(fā)明專利]冷卻設備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380026478.5
• 申請日: 2013-04-03
• 公開（公告）號: CN104620374A
• 公開（公告）日: 2015-05-13
• 發(fā)明（設計）人: 馬丁·洪斯貝格-里德爾;雅各布·勒施克;格哈德·米蒂克;蘭道夫·莫克;托馬斯·馮茨
• 申請（專利權）人: 西門子公司
• 主分類號: H01L23/34
• 分類號: H01L23/34
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;李慧

1.一種用于冷卻電子器件、尤其是功率半導體的冷卻設備(10)，具有用于產生預設波長的超聲波的至少一個超聲波發(fā)生器元件(12)，以及具有與所述超聲波發(fā)生器元件(12)相關聯(lián)的共振管(16)，所述共振管具有開口的第一端部(50)和開口的第二端部(55)，其中所述超聲波發(fā)生器元件與所述第二端部(55)相比布置得距所述第一端部(50)更近、或者所述第一端部(50)指向所述超聲波發(fā)生器元件(12)，并且其中超聲波發(fā)生器(12)和第二端部(55)的間距和/或第一端部(50)和第二端部(55)之間的間距(L)基本上對應于半個所述波長的整數(shù)倍。

2.一種用于冷卻電子器件、尤其是功率半導體的冷卻設備(10)，具有用于產生預設波長的超聲波的至少一個超聲波發(fā)生器元件(12)，以及具有與所述超聲波發(fā)生器元件(12)相關聯(lián)的共振管(16)，所述共振管具有開口的第一端部(50)和開口的第二端部(55)，所述冷卻設備尤其是根據(jù)權利要求1的冷卻設備(10)，其中所述超聲波發(fā)生器元件與所述第二端部(55)相比布置得距所述第一端部(50)更近、或者所述第一端部指向所述超聲波發(fā)生器元件(12)，并且其中超聲波發(fā)生器(12)和第二端部(55)之間的流動路徑和/或從第一端部(50)和第二端部(55)之間穿過所述共振管(16)的流動路徑(L)基本上相應于半個所述波長的整數(shù)倍。

3.根據(jù)前述權利要求中任一項所述的冷卻設備，還包括能與所述器件耦聯(lián)的冷卻體(30)，所述冷卻體布置在所述共振管(16)的所述第二端部(55)附近、尤其相對于所述共振管(16)布置在端側和/或布置在所述共振管(16)之外。

4.根據(jù)前述權利要求中任一項所述的冷卻設備，其中，在所述共振管(16)的第二端部(55)和所述冷卻體(30)之間設有氣隙。

5.根據(jù)前述權利要求中任一項所述的冷卻設備，其中，所述共振管(16)的第一端部(50’；50”；50”’；50””)具有切割邊(51’；51”；51”’)。

6.根據(jù)前述權利要求中任一項所述的冷卻設備，所述冷卻設備具有流動引導元件(57)，借助于所述流動引導元件能夠引導流動的空氣以與所述切割邊(51”)相遇。

7.根據(jù)前述權利要求中任一項所述的冷卻設備，其中，所述流動引導元件(57)具有至少一個流動通道(80)，所述流動通道在所述切割邊(51”)附近變細，其中尤其是所述流動通道(80)的橫截面在所述切割邊(51”)附近減小。

8.一種用于冷卻電子器件、尤其是功率半導體的冷卻設備(26)，具有能與所述器件熱耦合的冷卻體(14)，以及具有用于產生預設波長的對準所述冷卻體(14)的超聲波的至少一個超聲波發(fā)生器元件(12)，以及具有與所述超聲波發(fā)生器元件(12)相關聯(lián)的共振管(16)，所述共振管布置在所述超聲波發(fā)生器元件(12)和所述冷卻體(14)之間，所述冷卻設備尤其是具有能與所述器件熱耦合的冷卻體的、根據(jù)權利要求1至7中任一項所述的冷卻設備，其中，所述超聲波發(fā)生器元件(12)和所述冷卻體(14)之間的間距對應于所述波長的四分之一的整數(shù)倍。

9.根據(jù)權利要求8所述的冷卻設備(26)，其特征在于，在所述共振管(16)的冷卻體側的端部(18)和所述冷卻體(14)之間設有氣隙。

10.根據(jù)權利要求8或9所述的冷卻設備(26)，其特征在于，在所述冷卻體(14)的朝向所述共振管(16)的所述冷卻體側的端部(18)的表面區(qū)域(28)中設有至少一個流動引導元件(40)。

11.根據(jù)權利要求10所述的冷卻設備(26)，其特征在于，所述流動引導元件(40)設計用于將沿所述冷卻體(14)的表面(28)的法線方向進入的空氣流偏轉180°。

12.根據(jù)權利要求11所述的冷卻設備(26)，其特征在于，設有平行于所述共振管(16)延伸的空氣導出通道(38)。

13.根據(jù)權利要求10所述的冷卻設備(26)，其特征在于，所述流動引導元件(40)設計用于將沿所述冷卻體(14)的所述表面(28)的法線方向進入的空氣流偏轉90°。

14.根據(jù)權利要求13所述的冷卻設備(26)，其特征在于，所述流動引導元件(40)延伸至所述冷卻體(14)的所述表面(28)的邊緣區(qū)域(44)。