[發(fā)明專利]磨粒、懸浮液、研磨液及這些的制造方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201380026268.6
• 申請日: 2013-03-26
• 公開（公告）號: CN104321403A
• 公開（公告）日: 2015-01-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 巖野友洋
• 申請（專利權(quán)）人: 日立化成株式會社
• 主分類號: C09K3/14
• 分類號: C09K3/14
• 代理公司: 上海市華誠律師事務(wù)所 31210
• 代理人: 杜娟

1.一種磨粒的制造方法，具備混合含4價金屬元素鹽的金屬鹽溶液和堿性液、獲得含有所述4價金屬元素的氫氧化物的粒子的工序，和

加熱含有所述4價金屬元素的氫氧化物的粒子的工序。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磨粒的制造方法，其中，以30℃以上加熱含有所述4價金屬元素的氫氧化物的粒子。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的磨粒的制造方法，其中，以40℃以上加熱含有所述4價金屬元素的氫氧化物的粒子。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任意一項所述的磨粒的制造方法，其中，以100℃以下加熱含有所述4價金屬元素的氫氧化物的粒子。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任意一項所述的磨粒的制造方法，其中，在下述式(1)所示的參數(shù)Z為5.00以上的條件下，混合所述金屬鹽溶液和所述堿性液，

Z＝[1/(ΔpH×k)]×(N/M)/1000…(1)

式(1)中，ΔpH表示所述金屬鹽溶液和所述堿性液的混合液的每分鐘的pH變化量，k表示反應(yīng)溫度系數(shù)，N表示循環(huán)數(shù)，單位：min^-1，M表示置換數(shù)，單位：min^-1。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的磨粒的制造方法，其中，所述ΔpH為1.000以下。

7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的磨粒的制造方法，其中，所述循環(huán)數(shù)N為下述式(2)所示，

N＝(u×S)/Q…(2)

式(2)中，u表示攪拌所述混合液的攪拌翼的線速度，單位：m/min，S表示所述攪拌翼的面積，單位：m²，Q表示所述混合液的液量，單位：m³。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的磨粒的制造方法，其中，所述線速度u為下述式(3)中5.00m/min以上，

u＝2π×R×r…(3)

式(3)中，R表示所述攪拌翼的轉(zhuǎn)速，單位：min^-1，r表示攪拌翼的旋轉(zhuǎn)半徑，單位：m。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的磨粒的制造方法，其中，所述轉(zhuǎn)速R為30min^-1以上。

10.根據(jù)權(quán)利要求5～9中任意一項所述的磨粒的制造方法，其中，所述循環(huán)數(shù)N為1.00min^-1以上。

11.根據(jù)權(quán)利要求5～10中任意一項所述的磨粒的制造方法，其中，所述置換數(shù)M為下述式(4)所示，

M＝v/Q…(4)

式(4)中，v表示所述金屬鹽溶液及所述堿性液的混合速度，單位：m³/min，Q表示所述混合液的液量，單位：m³。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的磨粒的制造方法，其中，所述混合速度v為5.00×10^-3m³/min以下。

13.根據(jù)權(quán)利要求5～12中任意一項所述的磨粒的制造方法，其中，所述置換數(shù)M為1.0min^-1以下。

14.根據(jù)權(quán)利要求1～13中任意一項所述的磨粒的制造方法，其中，所述金屬鹽溶液中的所述4價金屬元素鹽的濃度為0.010mol/L以上。

15.根據(jù)權(quán)利要求1～14中任意一項所述的磨粒的制造方法，其中，所述堿性液中的堿濃度為15.0mol/L以下。

16.根據(jù)權(quán)利要求1～15中任意一項所述的磨粒的制造方法，其中，所述金屬鹽溶液及所述堿性液的混合液的pH為1.5～7.0。

17.根據(jù)權(quán)利要求1～16中任意一項所述的磨粒的制造方法，其中，所述4價金屬元素為4價鈰。

18.一種懸浮液的制造方法，具備將通過權(quán)利要求1～17中任意一項所述的磨粒的制造方法獲得的磨粒與水混合，獲得懸浮液的工序。

19.一種研磨液的制造方法，具備將通過權(quán)利要求18所述的懸浮液的制造方法獲得的懸浮液與添加劑混合，獲得研磨液的工序。

20.一種研磨液的制造方法，具備將通過權(quán)利要求1～17中任意一項所述的磨粒的制造方法獲得的磨粒與水和添加劑混合，獲得研磨液的工序。