[發(fā)明專利]用于檢查工件的方法和設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380025681.0
• 申請日: 2013-03-21
• 公開（公告）號: CN104303009B
• 公開（公告）日: 2017-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 凱文·巴里·喬納斯
• 申請（專利權(quán)）人: 瑞尼斯豪公司
• 主分類號: G01B21/04
• 分類號: G01B21/04
• 代理公司: 北京明和龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11281
• 代理人: 郁玉成

1.一種用于在維度測量設(shè)備上測量生產(chǎn)工件的方法，所述方法包括：

獲取生產(chǎn)工件，該生產(chǎn)工件是通過生產(chǎn)工藝生產(chǎn)的第一系列名義上相同的工件中的一個工件；

在所述維度測量設(shè)備上測量所述生產(chǎn)工件作為標(biāo)準(zhǔn)工件；

從所述維度測量設(shè)備的外部來源獲得針對所述標(biāo)準(zhǔn)工件的校準(zhǔn)值；

將所述校準(zhǔn)值與所述標(biāo)準(zhǔn)工件的測量結(jié)果進(jìn)行比較以產(chǎn)生一個或者多個標(biāo)準(zhǔn)工件校正值；

使用所述標(biāo)準(zhǔn)工件校正值來填充或進(jìn)一步填充誤差圖或查找表或者來計算或再次計算誤差函數(shù)，以校準(zhǔn)所述維度測量設(shè)備；

在所述維度測量設(shè)備上測量通過所述生產(chǎn)工藝生產(chǎn)的所述第一系列的一個或者多個另外的名義上相同的工件；

使用所述校正值或所述誤差圖或查找表或誤差函數(shù)來校正所述第一系列的所述另外的名義上相同的工件的測量；

其特征在于，在所述維度測量設(shè)備上測量一個或者多個第二工件，其中所述一個或者多個第二工件不同于或者在所述維度測量設(shè)備上的定位不同于所述第一系列的工件中的所述名義上相同的工件；以及

使用所述誤差圖或查找表或誤差函數(shù)來校正所述一個或者多個第二工件的測量，所述誤差圖或查找表或誤差函數(shù)是使用所述標(biāo)準(zhǔn)工件校正值產(chǎn)生的。

2.一種用于在維度測量設(shè)備上測量生產(chǎn)工件的方法，所述方法包括：

獲取具有多個特征的標(biāo)準(zhǔn)制品，所述特征的尺寸和形狀與通過生產(chǎn)工藝生產(chǎn)的第一系列名義上相同的工件中的生產(chǎn)工件相近似；

在所述維度測量設(shè)備上測量所述標(biāo)準(zhǔn)制品；

從所述維度測量設(shè)備的外部來源獲得針對所述標(biāo)準(zhǔn)制品的校準(zhǔn)值；

將所述校準(zhǔn)值與所述標(biāo)準(zhǔn)制品的測量結(jié)果進(jìn)行比較以產(chǎn)生一個或者多個標(biāo)準(zhǔn)制品校正值；

使用所述標(biāo)準(zhǔn)制品校正值來填充或進(jìn)一步填充誤差圖或查找表或者來計算或再次計算誤差函數(shù)，以校準(zhǔn)所述維度測量設(shè)備；

在所述維度測量設(shè)備上測量通過所述生產(chǎn)工藝生產(chǎn)的所述第一系列的一個或者多個的名義上相同的生產(chǎn)工件；

使用所述校正值或所述誤差圖或查找表或誤差函數(shù)來校正所述第一系列的所述名義上相同的工件的測量；

其特征在于，在所述維度測量設(shè)備上測量一個或者多個第二工件，其中所述一個或者多個第二工件不同于或者在所述維度測量設(shè)備上的定位不同于所述第一系列的工件中的所述名義上相同的工件；以及

使用所述誤差圖或查找表或誤差函數(shù)來校正所述一個或者多個第二工件的測量，所述誤差圖或查找表或誤差函數(shù)是使用所述標(biāo)準(zhǔn)制品校正值產(chǎn)生的。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其中，使用所述校正值來進(jìn)一步填充現(xiàn)有的誤差圖或查找表或者來再次計算現(xiàn)有的誤差函數(shù)，以校準(zhǔn)所述維度測量設(shè)備。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其中，使用所述校正值來建立新的誤差圖或查找表或者來計算新的誤差函數(shù)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其中，所述第二工件形成一個或者多個另外系列的工件中的一部分，每個系列的工件與該系列的其他工件在名義上相同，每個系列的工件不同于或者在所述維度測量設(shè)備上的定位不同于已被測量的工件；針對每個這樣不同的系列，所述方法包括：

測量制品，該制品是該系列的名義上相同的工件中的一個工件，或者具有尺寸和形狀與該系列的這種工件相近似的特征；

從所述維度測量設(shè)備的外部來源獲得針對該制品的校準(zhǔn)值；

將所述校準(zhǔn)值與所述制品的測量結(jié)果進(jìn)行比較，以產(chǎn)生一個或者多個校正值；以及

使用所述校正值來進(jìn)一步填充所述誤差圖或查找表或者來再次計算所述誤差函數(shù)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中，使用所述誤差圖或查找表或誤差函數(shù)來校正隨后工件的測量，所述隨后工件不同于或者在所述維度測量設(shè)備上的定位不同于所述第一系列和另外系列的工件中的那些工件。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中，在處于預(yù)定公差內(nèi)的相同溫度對所述第一系列和另外系列的工件進(jìn)行測量，使得所述誤差圖、查找表或誤差函數(shù)與該溫度相關(guān)。