[發明專利]用于量化部件表面的清潔度水平的分析方法

有效

• 申請號: 201380025490.4
• 申請日: 2013-05-13
• 公開（公告）號: CN104321636B
• 公開（公告）日: 2018-02-16
• 發明（設計）人: V·科薩爾;G·門蒂阿瑞斯
• 申請（專利權）人: 梅西耶-布加蒂-道提公司
• 主分類號: G01N17/02
• 分類號: G01N17/02;G01N27/416
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司31100
• 代理人: 段登新

1.用于量化導電樣本(P)的表面(S)的清潔度和/或活躍度水平的分析方法，其特征在于，所述方法包括：

-在包含離子的電解質(1)中放入反電極(2)和所述樣本(P)的所述表面(S)；

-使用電流生成器(G)在所述反電極(2)和要量化其清潔度和/或活躍度水平的所述樣本(P)的所述表面(S)之間施加電壓(V)；

-測量在所述反電極(2)和所述導電樣本(P)的所述表面(S)之間流動的電流(I)隨時間的變化；以及

-依據對電流(I)的變化的所述測量評估所述表面(S)的清潔度和/或活躍度水平，

其中為了依據對所述電流的變化的測量來評估清潔度和/或活躍度水平，確定代表時間段(X)內所測得的電流的變化率的參數(Kn)并且將此參數(Kn)與預設閾值值(Kref)進行比較，隨后取決于這一比較，給所述樣本(P)的所述表面(S)賦值(R)，所述值量化所述表面的清潔度和/或活躍度水平。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在所述反電極(2)和所述樣本(P)的所述表面(S)之間施加的所述電壓(V)是使用也放置在所述電解質(1)中的參考電極(3)來測量的。

3.根據前述任一項權利要求所述的方法，其特征在于，所述電流生成器(G)被調節以使得所述電壓(V)在測量所述電流(I)隨時間的變化期間是恒定的，并且使得此恒定電壓(V)的絕對值低于或等于預設電壓閾值。

4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述預設電壓閾值低于0.5伏。

5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，所述預設電壓閾值低于或等于0.15伏。

6.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，所述預設電壓閾值高于0.05伏。

7.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，所述參考電極(3)是氯化鉀飽和的氯化亞汞電極或Ag/AgCl電極，而所述反電極是鉑或金電極。

8.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，代表所述電流的變化率的所述參數是基于在所述時間段內對所述電流隨時間的變化的測量由線性回歸定義的直線(Dn)的斜率Kn，所述預設閾值值為預設斜率值Kref，而所述比較包括計算比值R＝Kn/Kref，此比值R的值允許量化所述樣本(P)的所述表面(S)的清潔度和/或活躍度水平。

9.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述時間段(X)在所述電流已被施加在所述反電極(2)和所述導電樣本(P)的所述表面(S)之間一時間長度(Y)之后開始。

10.根據權利要求9所述的方法，其特征在于，所述時間長度(Y)為至少5秒。

11.根據權利要求9所述的方法，其特征在于，所述時間長度(Y)為至少20秒。

12.根據權利要求1或2所述的方法，其中所述電解質(1)包括：

-從鹵鹽、銨鹽、碳酸鹽、有機鹽中選擇的鹽；

-極性溶劑；以及

-至少一種酸和/或至少一種堿，

-所述至少一種酸是從包括以下各種酸的組中選擇的：礦物酸，以及有機酸，以及

-所述至少一種堿是從包括以下各種堿的組中選擇的：苛性鈉、苛性鉀以及氨。

13.根據權利要求12所述的方法，其特征在于，所述有機鹽包括羧化物、氰化鹽以及有機鎂鹽，所述極性溶劑包括酮類、醇類、醛類、水介質和凝膠，所述礦物酸包括磷酸和硫酸，且所述有機酸包括羧酸。

14.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，其清潔度和/或活躍度水平被量化的所述樣本(P)的所述表面(S)被由所述樣本(P)承載的電絕緣層(9)界定。

15.用于制造元件的過程，其特征在于：

-所述元件和樣本經受相同的表面準備操作；隨后

-通過實現根據前述權利要求中任一項的分析方法來量化如此準備的所述樣本的表面的清潔度和/或活躍度水平；隨后

-如果如此量化的所述樣本表面的清潔度和/或活躍度水平被認為是相對于預設標準滿意的，則所述元件經受附加操作以處理其表面；以及

-如果如此量化的所述樣本表面的清潔度和/或活躍度水平被認為是相對于所述預設標準不滿意的，則所述元件再次經受所述表面準備操作。