[發明專利]感光性樹脂組合物、感光性元件、抗蝕圖案的形成方法以及配線板的制造方法

有效

• 申請號: 201380024877.8
• 申請日: 2013-05-28
• 公開（公告）號: CN104303106B
• 公開（公告）日: 2018-08-07
• 發明（設計）人: 板垣勝俊;進藤正則
• 申請（專利權）人: 日立化成株式會社
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 鐘晶;於毓楨

1.一種感光性樹脂組合物，其含有：

粘合劑聚合物、

具有乙烯性不飽和基團的光聚合性化合物、

光聚合引發劑、

苯并三唑化合物、和

碳原子數8～30的脂肪族二胺化合物。

2.根據權利要求1所述的感光性樹脂組合物，進一步含有從由三唑化合物和四唑化合物所組成的組中選擇的至少1種。

3.根據權利要求1所述的感光性樹脂組合物，所述苯并三唑化合物為無取代的苯并三唑化合物和具有羧基的苯并三唑化合物。

4.根據權利要求2所述的感光性樹脂組合物，所述苯并三唑化合物為無取代的苯并三唑化合物和具有羧基的苯并三唑化合物。

5.根據權利要求3所述的感光性樹脂組合物，所述具有羧基的苯并三唑化合物為4-羧基苯并三唑和5-羧基苯并三唑的至少一方。

6.根據權利要求1～5中任一項所述的感光性樹脂組合物，所述苯并三唑化合物的含量在感光性樹脂組合物中的除有機溶劑以外的成分的總量100質量份中為0.001～2質量份。

7.根據權利要求1～5中任一項所述的感光性樹脂組合物，所述苯并三唑化合物的含量在感光性樹脂組合物中的除有機溶劑以外的成分的總量100質量份中為0.005～0.5質量份。

8.根據權利要求1～5中任一項所述的感光性樹脂組合物，所述苯并三唑化合物的含量在感光性樹脂組合物中的除有機溶劑以外的成分的總量100質量份中為0.01～0.3質量份。

9.根據權利要求1～5中任一項所述的感光性樹脂組合物，所述碳原子數8～30的脂肪族二胺化合物具有碳原子數8～30的鏈狀脂肪族烴基。

10.根據權利要求1～5中任一項所述的感光性樹脂組合物，所述碳原子數8～30的脂肪族二胺化合物具有2～5個脂肪族烴基。

11.根據權利要求1～5中任一項所述的感光性樹脂組合物，所述碳原子數8～30的脂肪族二胺化合物具有2～3個脂肪族烴基。

12.根據權利要求1～5中任一項所述的感光性樹脂組合物，所述碳原子數8～30的脂肪族二胺化合物為碳原子數10～30的脂肪族二胺化合物。

13.根據權利要求1～5中任一項所述的感光性樹脂組合物，所述碳原子數8～30的脂肪族二胺化合物為碳原子數12～25的脂肪族二胺化合物。

14.根據權利要求1～5中任一項所述的感光性樹脂組合物，所述碳原子數8～30的脂肪族二胺化合物為碳原子數15～25的脂肪族二胺化合物。

15.根據權利要求1～5中任一項所述的感光性樹脂組合物，所述碳原子數8～30的脂肪族二胺化合物為碳原子數17～21的脂肪族二胺化合物。

16.根據權利要求1～5中任一項所述的感光性樹脂組合物，所述碳原子數8～30的脂肪族二胺化合物為具有碳原子數2～4的亞烷基和碳原子數6～28的鏈狀脂肪族烴基的化合物。

17.根據權利要求1～5中任一項所述的感光性樹脂組合物，所述碳原子數8～30的脂肪族二胺化合物為具有碳原子數2～3的亞烷基和碳原子數12～25的鏈狀脂肪族烴基的化合物。

18.根據權利要求1～5中任一項所述的感光性樹脂組合物，所述碳原子數8～30的脂肪族二胺化合物為具有碳原子數3的亞烷基和碳原子數12～18的鏈狀脂肪族烴基的化合物。