[發(fā)明專利]用于制備金屬化的由鋁組成的基材的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380023448.9
• 申請(qǐng)日: 2013-04-08
• 公開（公告）號(hào): CN104271300B
• 公開（公告）日: 2018-12-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: R·C·伯恩斯;W·圖斯勒;B·海格勒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: AB微電子有限公司
• 主分類號(hào): B23K1/00
• 分類號(hào): B23K1/00;B23K1/20;C23C18/08;C23C18/12;H01L21/48;H05K3/10
• 代理公司: 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 柳冀

1.用于制造金屬化基材(1)的方法，其中所述基材(1)至少部分地由鋁和/或鋁合金組成，其特征在于，在基材(1)的表面(2)上至少局部地施加導(dǎo)電糊劑(3)，在第一燃燒階段(B₁)中，使所述導(dǎo)電糊劑(3)經(jīng)受基本上連續(xù)上升的燃燒溫度(T)，其中使燃燒溫度(T)升高至低于660℃的可預(yù)設(shè)的最高燃燒溫度(T_max)，在第二燃燒階段(B₂)中，使導(dǎo)電糊劑(3)基本上在可預(yù)設(shè)的最高燃燒溫度(T_max)經(jīng)受可預(yù)設(shè)的時(shí)間段(t_B)，在冷卻階段(A)中，將所述導(dǎo)電糊劑(3)冷卻，和在后處理階段中，將導(dǎo)電糊劑(3)的表面(4)以機(jī)械方式后處理；

其中，導(dǎo)電糊劑包括至少一種的金屬粉末、無機(jī)粉末以及有機(jī)粘結(jié)劑和溶劑；

在第一燃燒階段(B₁)中，使燃燒溫度(T)至少臨時(shí)以40℃/min至60℃/min升高；

在使用基于銀的導(dǎo)電糊劑的情況下，最高燃燒溫度為565℃，和在使用基于銅的導(dǎo)電糊劑的情況下，最高燃燒溫度為548℃。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述基材(1)全部由鋁和/或鋁合金組成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在后處理階段中，將導(dǎo)電糊劑(3)的表面(4)刷光。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，將所述導(dǎo)電糊劑(3)通過絲網(wǎng)印刷法施加在基材(1)的表面(2)上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，使用包含銅粉末的導(dǎo)電糊劑(3)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，使用包含由PbO-B₂O₃-SiO₂體系組成的玻璃和/或包含Bi₂O₃的玻璃的導(dǎo)電糊劑(3)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，將導(dǎo)電糊劑(3)在第一燃燒階段(B₁)之前，在干燥階段中，在80℃至200℃的溫度干燥，時(shí)間長(zhǎng)度為5min至20min。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，將導(dǎo)電糊劑(3)在第一燃燒階段(B₁)之前，在干燥階段中，在100℃至150℃的溫度干燥。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，將導(dǎo)電糊劑(3)在第一燃燒階段(B₁)之前，在干燥階段中，在最高130℃的溫度干燥。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，至少導(dǎo)電糊劑(3)的燃燒在第一燃燒階段(B₁)和/或第二燃燒階段(B₂)中在焙燒爐中進(jìn)行，其中在焙燒爐中燃燒溫度(T)占主導(dǎo)地位。

11.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，在第一燃燒階段(B₁)中，將燃燒溫度(T)升高至580℃的最高燃燒溫度(T_max)。

12.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，在第一燃燒階段(B₁)中，將燃燒溫度(T)升高至565℃的最高燃燒溫度(T_max)。

13.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，在第一燃燒階段(B₁)中，將燃燒溫度(T)升高至548℃的最高燃燒溫度(T_max)。