[發(fā)明專利]印刷式化學(xué)機(jī)械研磨墊

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380023299.6
• 申請(qǐng)日: 2013-04-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104285281B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-06-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: R·巴賈杰;B·L·欽;T·Y·李
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司
• 主分類號(hào): B24B37/26
• 分類號(hào): B24B37/26;B24D18/00;B33Y80/00
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司31100
• 代理人: 徐偉

1.一種制造研磨墊的研磨層的方法，所述方法包括以下步驟：

使用3D液滴噴出式印刷機(jī)相繼地沉積多個(gè)層以形成所述研磨層，藉由從所述液滴噴出式印刷機(jī)的噴嘴噴出墊材料前驅(qū)物的液滴、且固化所述墊材料前驅(qū)物以形成固化的墊材料的方式來(lái)沉積所述多個(gè)研磨層的每一層，其中固化所述墊材料前驅(qū)物的步驟包括硬化所述墊材料前驅(qū)物，且其中藉由所述噴嘴將所述墊材料前驅(qū)物的液滴噴射在支座上來(lái)沉積第一層以及藉由所述噴嘴將所述墊材料前驅(qū)物的液滴噴射在已固化的墊材料上來(lái)沉積每一后續(xù)沉積層。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述多個(gè)層的每一層的厚度小于所述研磨層的總厚度的50％。

3.如權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述多個(gè)層的每一層的厚度小于所述研磨層的總厚度的1％。

4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，包括藉由在計(jì)算機(jī)上執(zhí)行的3D繪圖程序控制所述墊材料前驅(qū)物的射出以在所述多個(gè)層的至少一些層中形成圖案的方式來(lái)在所述研磨層中形成凹槽。

5.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，硬化所述墊材料前驅(qū)物的步驟包括紫外線(UV)硬化。

6.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述墊材料前驅(qū)物包括胺甲酸乙酯單體。

7.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，包括通過(guò)使用所述3D印刷機(jī)相繼地沉積多個(gè)層以形成所述研磨墊的背托層。

8.如權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，形成所述背托層的步驟包括硬化所述背托層的所述多個(gè)層，且用于硬化所述背托層的所述多個(gè)層的硬化量與硬化所述研磨層的所述多個(gè)層的硬化量不同以提供不同的硬度。

9.如權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，使用與所述研磨層相同的前驅(qū)物和相同的孔隙度形成所述背托層。

10.如權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，形成所述背托層的步驟包括噴出與所述墊前驅(qū)物材料不同的材料。

11.一種制造研磨墊的研磨層的設(shè)備，包括：

支座，用于支持所述研磨層；

3D液滴噴出式印刷機(jī)，配置成相繼地沉積多個(gè)層以形成所述研磨層，所述3D液滴噴出式印刷機(jī)包括噴嘴并且配置成藉由從所述噴嘴噴出墊材料前驅(qū)物的液滴、且固化所述墊材料前驅(qū)物以形成固化的墊材料的方式來(lái)沉積所述多個(gè)層的每一層，其中藉由所述噴嘴將所述墊材料前驅(qū)物的液滴噴射在支座上來(lái)沉積第一層以及藉由所述噴嘴將所述墊材料前驅(qū)物的液滴噴射在已固化的墊材料上來(lái)沉積每一后續(xù)沉積層；以及

UV輻射，用于硬化所述墊材料前驅(qū)物以固化所述墊材料前驅(qū)物。

12.如權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其特征在于，所述多個(gè)層的每一層的厚度小于所述研磨層的總厚度的50％。

13.如權(quán)利要求12所述的設(shè)備，其特征在于，所述多個(gè)層的每一層的厚度小于所述研磨層的總厚度的1％。

14.如權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其特征在于，包括具有3D繪圖程序的計(jì)算機(jī)，所述3D繪圖程序配置成控制所述3D印刷機(jī)藉由控制所述墊材料前驅(qū)物的射出以在所述多個(gè)層的至少一些層中形成圖案的方式來(lái)在所述研磨層中形成凹槽。

15.如權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其特征在于，所述噴嘴配置成平移而橫越所述支座。

16.如權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其特征在于，所述墊材料前驅(qū)物包括胺甲酸乙酯單體。