[發明專利]分光傳感器

有效

• 申請號: 201380023122.6
• 申請日: 2013-05-08
• 公開（公告）號: CN104303032B
• 公開（公告）日: 2016-11-30
• 發明（設計）人: 柴山勝己;笠原隆
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: G02B6/293
• 分類號: G02B6/293
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

技術領域

本發明涉及一種分光傳感器。

背景技術

作為現有的分光傳感器，已知有具有根據入射位置使規定的波長范圍的光選擇性地透過的光學濾光部和對透過了光學濾光部的光進行檢測的光檢測基板的分光傳感器。例如，在專利文獻1所記載的分光傳感器中，在光學濾光部和光檢測基板之間、或者相對于光學濾光部的光的入射側配置FOP(Fiber?Optic?Plate(光纖板))。另外，在專利文獻2所記載的分光傳感器中，在光學濾光部和光檢測基板之間設置有限制光的入射角的角度限制濾光器。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開平6-129908號公報

專利文獻2：日本特開2011-203247號公報

發明內容

發明所要解決的技術問題

在專利文獻1所記載的分光傳感器中，在光學濾光部和光檢測基板之間配置有FOP的分光傳感器或專利文獻2所記載的分光傳感器中，能夠謀求光學濾光部和光檢測基板之間的區域中的光的串擾的抑制。另外，在專利文獻1所記載的分光傳感器中，在相對于光學濾光部的光的入射側配置有FOP的分光傳感器中，通過限制入射到光學濾光部的光的入射角，從而能夠謀求光學濾光部中的光的串擾的抑制。但是，對于這些分光傳感器而言，光學濾光部中的光的串擾的抑制不充分，其結果，存在在光檢測基板的受光面的規定的位置上所檢測的光的波長范圍變寬或雜散光成分變多等、濾光特性劣化的問題。

因此，本發明的目的在于提供一種能夠謀求濾光特性的提高的分光傳感器。

解決問題的技術手段

本發明的分光傳感器包括：干涉濾光部，其具有腔層以及隔著腔層相對的第1和第2鏡層，根據入射位置選擇性地使規定的波長范圍的光從第1鏡層側透過至第2鏡層側；光檢測基板，其具有透過了干涉濾光部的光進行入射的受光面，對入射到受光面的光進行檢測；以及隔板，其從腔層到達第1和第2鏡層的至少一方，在從與受光面交叉的規定的方向觀察的情況下，將干涉濾光部光學性地分離。

在該分光傳感器中，在從與受光面交叉的規定的方向觀察的情況下，干涉濾光部被隔板光學性地分離，該隔板從腔層到達第1和第2鏡層的至少一方。由此，例如，即使不與隔板分開地采用用于限制入射到干涉濾光部的光的入射角的結構，在腔層中，也抑制了光向與受光面平行的方向的傳播，所以能夠充分地謀求干涉濾光部中的光的串擾的抑制。而且，通過隔板限制了入射到光檢測基板的受光面的光的入射角，所以，能夠使光精度良好地入射到與干涉濾光部的入射位置對應的受光面的規定的位置。因此，根據該分光傳感器，能夠謀求濾光特性的提高。

在此，隔板也可以從腔層至少到達第2鏡層。根據該結構，能夠抑制第2鏡層和光檢測基板的受光面之間的光的多重反射和干渉所引起的雜散光的產生，能夠謀求濾光特性的進一步的提高。

再有，隔板也可以從腔層到達第1和第2鏡層的雙方。根據該結構，能夠抑制第2鏡層和光檢測基板的受光面之間的光的多重反射和干渉所引起的雜散光的產生，除此之外，由于腔層通過隔板而被可靠地分離，所以，能夠更加充分地謀求干渉濾光部中的光的串擾的抑制。

另外，分光傳感器也可以還具備：第1耦合層，其配置在干涉濾光部和光檢測基板之間，使從干涉濾光部行進至光檢測基板的光透過，隔板經由第2鏡層而到達第1耦合層。根據該結構，能夠抑制第2鏡層和光檢測基板的受光面之間的光的多重反射和干渉所引起的雜散光的產生，除此之外，入射到光檢測基板的受光面的光的入射角通過隔板而被更進一步限制，所以，能夠使光更加精度良好地入射到與干涉濾光部的入射位置對應的受光面的規定的位置。

另外，分光傳感器也可以還包括使入射到干涉濾光部的光透過的光透過基板、以及配置在光透過基板和干涉濾光部之間并使從光透過基板行進至干涉濾光部的光透過的第2耦合層，隔板經由第1鏡層而到達第2耦合層。根據該結構，通過隔板限制入射到干涉濾光部的光的入射角，所以能夠更加充分地謀求干涉濾光部中的光的串擾的抑制。

此時，腔層和第2耦合層也可以由相同材料構成。根據該結構，能夠容易地實現腔層和第2耦合層的層疊工序。另外，在例如通過干式蝕刻設置隔板的情況下，能夠使蝕刻氣體等的條件相同，因此，能夠實現形狀精度高的隔板。另外，折射率相同，所以也能夠獲得穩定的濾光特性。再有，能夠謀求用于限制光的入射角的隔板的準直特性的均勻化。此外，所謂相同，是指不僅包括完全相同的情況而且包括在制造誤差等的范圍內大致相同的情況。