[發明專利]用于預熱真空泵裝置的方法和設備

有效

• 申請號: 201380022974.3
• 申請日: 2013-04-24
• 公開（公告）號: CN104246230B
• 公開（公告）日: 2016-10-26
• 發明（設計）人: J.R.塔特薩爾
• 申請（專利權）人: 愛德華茲有限公司
• 主分類號: F04C25/02
• 分類號: F04C25/02;F04C28/06;F04D27/00;F04D19/04
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 周春梅;胡斌

1.一種用于預熱真空泵裝置的方法，所述真空泵裝置具有增壓泵和在所述增壓泵下游的前級泵，用于抽空處理室，所述方法包括：

將所述增壓泵設定在第一速度處，所述第一速度高于所述增壓泵在其處于空轉模式時的空轉速度；以及

至少在從所述真空泵裝置從所述空轉模式被起動時到所述增壓泵達到等于或超過第一預定閾值的溫度時的時間段內，將所述增壓泵的出口處的前級壓力控制在從0.1毫巴到10毫巴的范圍內。

2.如權利要求1所述的方法，其中，所述控制前級壓力包括：調節所述前級泵的速度，所述前級泵的入口連接到所述增壓泵的出口。

3.如權利要求2所述的方法，其中，當所述真空泵裝置從所述空轉模式被起動時，將所述前級泵設定在第二速度處。

4.如權利要求3所述的方法，其中，所述前級泵的所述第二速度降低到預定水平，以便使所述增壓泵的前級壓力落入到從0.1毫巴到10毫巴的范圍內。

5.如權利要求4所述的方法，其中，所述第二速度經過大量時間間隔逐漸地降低到所述預定水平。

6.如權利要求1所述的方法，其中，所述控制前級壓力包括：在所述增壓泵的出口處注入吹掃氣體。

7.如權利要求6所述的方法，其中，以將所述增壓泵的前級壓力調節到從0.1毫巴到10毫巴的范圍內的方式來控制所述吹掃氣體的流速。

8.如權利要求1所述的方法，其中，將所述真空泵裝置設定為準備好用于在正常操作模式下抽空所述處理室，此時所述增壓泵的溫度等于或超過所述第一預定閾值，且所述前級泵的溫度等于或超過第二預定閾值，其中，所述第一預定閾值和所述第二預定閾值可以相同或者可以不相同。

9.一種設備，包括：

處理室；

增壓泵，其入口流體連接到所述處理室的出口；

前級泵，其入口流體連接到所述增壓泵的出口，所述前級泵用于與所述增壓泵一起抽空所述處理室；以及

控制器，其與所述增壓泵和所述前級泵電聯接，所述控制器配置為至少在從所述增壓泵和所述前級泵從空轉模式被起動時到所述增壓泵達到等于或超過第一預定閾值的溫度時的時間段內，將所述增壓泵的出口處的前級壓力控制在從0.1毫巴到10毫巴的范圍內。

10.如權利要求9所述的設備，其中，所述控制器通過調節所述前級泵的速度來控制所述增壓泵的前級壓力。

11.如權利要求10所述的設備，其中，當所述真空泵裝置從所述空轉模式被起動時，所述控制器將所述前級泵設定在預定速度處。

12.如權利要求11所述的設備，其中，所述控制器將所述前級泵的預定速度降低到預定水平，以便使所述增壓泵的前級壓力落入到從0.1毫巴到10毫巴的范圍內。

13.如權利要求12所述的設備，其中，所述控制器使所述預定速度經過大量時間間隔逐漸地降低到所述預定水平。

14.如權利要求9所述的設備，進一步包括流體連接在所述增壓泵的出口處的吹掃氣體源。

15.如權利要求14所述的設備，其中，所述控制器控制正在所述增壓泵的出口處注入的吹掃氣體的流速，從而將所述增壓泵的前級壓力控制在從0.1毫巴到10毫巴的范圍內。

16.如權利要求9所述的設備，其中，所述增壓泵和所述前級泵被設定為準備好用于在正常操作模式下抽空所述處理室，此時所述增壓泵的溫度等于或超過所述第一預定閾值，且所述前級泵的溫度等于或超過第二預定閾值，其中，所述第一預定閾值和所述第二預定閾值可以相同或者可以不相同。