[發明專利]用于以激光輻射加工工件的方法和設備

有效

• 申請號: 201380022703.8
• 申請日: 2013-03-18
• 公開（公告）號: CN104302438B
• 公開（公告）日: 2017-03-22
• 發明（設計）人: U·格拉夫;R·高赫
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: B23K26/064
• 分類號: B23K26/064;B23K26/362;B23K26/70
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司72002
• 代理人: 曾立

1.一種用于以激光輻射加工工件(110)的方法，特別是用于激光燒蝕，其中，提供至少一個激光束(130)，所述激光束(130)借助于至少一個能夠變化的射束成形裝置(132)來影響，所述激光束(130)接著射在所述工件(110)的至少一個加工面(112)上，借助于所述射束成形裝置(132)給所述激光束(130)在所述加工面(112)的位置上施加至少一個預給定的能夠調節的射束輪廓(116，118，120)。

2.根據上一個權利要求所述的方法，其中，所述射束成形裝置(132)設置用于，在所述加工面(112)上產生至少兩個不同的圖樣，所述圖樣包括照射區域和非照射區域(122，124)，當在兩個不同的圖樣之間變換時所述照射區域(122)中的積分通量基本上保持不變。

3.根據上述權利要求中任一項所述的方法，其中，所述射束成形裝置(132)具有變化元件(140)的矩陣(138)，其中，所述變化元件(140)設置用于使所述激光束(130)射到所述變化元件(140)上的組成部分在其相位和/或振幅和/或強度和/或偏振方面變化。

4.根據上一個權利要求所述的方法，其中，借助于所述變化元件(140)在垂直于所述激光束(130)的光學軸(134)的平面中產生與位置相關的相位調制的圖樣，借助于至少一個聚焦元件(142)使所述與位置相關的相位調制的圖樣在所述加工面(112)上變換成與位置相關的強度調制的圖樣。

5.根據上兩個權利要求中任一項所述的方法，其中，借助于所述變化元件(140)在垂直于所述激光束(130)的光學軸的平面中產生與位置相關的強度調制的圖樣，借助于至少一個成像光學器件(152)使所述與位置相關的強度調制的圖樣在所述加工面(112)上成像為與位置相關的強度調制的圖樣。

6.根據上述權利要求中任一項所述的方法，其中，所述射束成形裝置(132)包括至少一個空間光調制器(136)和/或至少一個微鏡系統。

7.根據上述權利要求中任一項所述的方法，其中，所述方法包括一順序，該順序具有至少兩個不同的照射步驟，其中，在所述不同的照射步驟中，以所述激光束(130)的不同射束輪廓(116，118，120)照射所述工件(110)的加工面(112)。

8.根據上一個權利要求所述的方法，其中，在所述不同的照射步驟中，所述射束成形裝置(132)的變化元件(140)的矩陣(138)分別被以不同的方式控制。

9.根據上三個權利要求中任一項所述的方法，其中，在所述不同的照射步驟中，分別在所述工件(110)的不同平面中將不同幾何形狀和/或不同深度的孔引入到所述工件(110)中。

10.一種用于以激光輻射加工工件(110)的激光加工設備(126)、特別是激光燒蝕設備，其中，所述激光加工設備(126)具有至少一個激光源(128)以提供至少一個激光束(130)，其中，所述激光加工設備(126)如此設置，使得所述激光束(130)射在所述工件(110)的至少一個加工面(112)上，所述激光加工設備(126)還具有至少一個射束成形裝置(132)以影響所述激光束(130)，所述射束成形裝置(132)設置用于給所述激光束在所述加工面(112)的位置上施加至少一個預給定的能夠調節的射束輪廓(116，118，120)。

11.根據上一個權利要求所述的激光加工設備(126)，其中，所述激光加工設備(126)具有至少一個控制器(148)，所述控制器(148)設置用于執行一順序，該順序包括至少兩個不同的照射步驟，在所述不同的照射步驟中，以所述激光束(130)的不同的射束輪廓(116，118，120)照射所述工件(110)的加工面(112)。

12.根據上述涉及到激光加工設備(126)的權利要求中任一項所述的激光加工設備(126)，其中，所述激光加工設備(126)具有至少一個保持部以接收所述工件(110)。