[發明專利]帶電粒子束調整支援裝置以及方法

無效

• 申請號: 201380022012.8
• 申請日: 2013-04-04
• 公開（公告）號: CN104254900A
• 公開（公告）日: 2014-12-31
• 發明（設計）人: 深谷直彥;北川健二;八木將計;平塚幸惠;小竹航
• 申請（專利權）人: 株式會社日立高新技術
• 主分類號: H01J37/22
• 分類號: H01J37/22;H01J37/147;H01J37/24;H01J37/28
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 趙琳琳

1.一種帶電粒子束調整支援裝置，支援進行三維顯示的帶電粒子束裝置的調整，所述帶電粒子束調整支援裝置的特征在于，具備：

二維調整值設定單元，其從調整者終端受理所述帶電粒子束裝置中的二維調整值，并發送給所述帶電粒子束裝置；

三維調整值設定單元，其從所述調整者終端受理所述帶電粒子束裝置中的三維調整值，并發送給所述帶電粒子束裝置；

調整值對應計算單元，其將所述二維調整值和所述三維調整值建立關聯來生成二維-三維調整值對應信息，并保存在存儲裝置中；和

調整值獲取單元，其基于所述二維調整值而從保存在所述存儲裝置中的所述二維-三維調整值對應信息之中檢索類似的二維調整值，并獲取所對應的三維調整值。

2.根據權利要求1所述的帶電粒子束調整支援裝置，其特征在于，

所述帶電粒子束調整支援裝置還具備：

最佳照射位置調整值估計單元，其以所述帶電粒子束裝置的二維調整值當中的探針電流的調整值和工作距離的調整值為基礎，來估計三維調整值當中的獲取左右傾斜圖像時的觀察對象中的帶電粒子束的最佳的照射位置調整值；

最佳像散調整值估計單元，其以所述帶電粒子束裝置的二維調整值當中的像散的調整值為基礎，來估計三維調整值當中的獲取左右傾斜圖像時的最佳的像散的調整值；和

聚焦最佳調整值估計單元，其以所述帶電粒子束裝置的二維調整值當中的聚焦的調整值為基礎，來估計三維調整值當中的獲取左右傾斜圖像時的聚焦的最佳的調整值。

3.根據權利要求1所述的帶電粒子束調整支援裝置，其特征在于，

所述帶電粒子束調整支援裝置還具備：

使用所述三維調整值的多個候選在所述帶電粒子束裝置中獲取圖像并顯示于所述調整者終端，以使調整者選擇最佳的調整值的單元。

4.根據權利要求1所述的帶電粒子束調整支援裝置，其特征在于，

所述帶電粒子束調整支援裝置還具備：

二維調整值獲取單元，其基于所述三維調整值而從保存在所述存儲裝置中的所述二維-三維調整值對應信息之中檢索類似的三維調整值，并獲取所對應的二維調整值。

5.一種帶電粒子束調整支援方法，通過計算機來支援進行三維顯示的帶電粒子束裝置的調整，其特征在于，

所述計算機

通過二維調整值設定單元，從調整者終端受理所述帶電粒子束裝置中的二維調整值，并發送給所述帶電粒子束裝置，

通過三維調整值設定單元，從設計者終端受理所述帶電粒子束裝置中的三維調整值，并發送給所述帶電粒子束裝置，

通過調整值對應計算單元，將所述二維調整值和所述三維調整值建立關聯來生成二維-三維調整值對應信息，并保存在存儲裝置中，

通過調整值獲取單元，基于所述二維調整值而從保存在存儲裝置中的所述二維-三維調整值對應信息之中檢索類似的二維調整值，并獲取所對應的三維調整值。

6.根據權利要求5所述的帶電粒子束調整支援方法，其特征在于，

所述計算機還

通過最佳照射位置調整值估計單元，以所述帶電粒子束裝置的二維調整值當中的探針電流的調整值和工作距離的調整值為基礎，來估計三維調整值當中的獲取左右傾斜圖像時的觀察對象中的帶電粒子束的最佳的照射位置調整值，

通過最佳像散調整值估計單元，以所述帶電粒子束裝置的二維調整值當中的像散的調整值為基礎，來估計三維調整值當中的獲取左右傾斜圖像時的最佳的像散的調整值，

通過聚焦最佳調整值估計單元，以所述帶電粒子束裝置的二維調整值當中的聚焦的調整值為基礎，來估計三維調整值當中的獲取左右傾斜圖像時的聚焦的最佳的調整值。

7.根據權利要求5所述的帶電粒子束調整支援方法，其特征在于，

所述計算機還

通過最佳調整值選擇單元，使用三維調整值的多個候選在所述帶電粒子束裝置中獲取圖像并顯示于所述調整者終端，以使調整者選擇最佳的調整值。

8.根據權利要求5所述的帶電粒子束調整支援方法，其特征在于，

所述計算機還

通過二維調整值獲取單元，基于所述三維調整值而從保存在存儲裝置中的所述二維-三維調整值對應信息之中檢索類似的三維調整值，并獲取所對應的二維調整值。