[發明專利]圖像處理系統、圖像處理方法以及圖像處理程序

無效

• 申請號: 201380021906.5
• 申請日: 2013-02-28
• 公開（公告）號: CN104254757A
• 公開（公告）日: 2014-12-31
• 發明（設計）人: 坂本陽平
• 申請（專利權）人: 奧林巴斯株式會社
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02;G01N21/956;G06T1/00
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

技術領域

本發明涉及一種對圖像實施圖像處理的圖像處理系統、圖像處理方法以及圖像處理程序。

背景技術

對玻璃基板、半導體基板、印刷電路板等處理對象基板進行檢查的檢查裝置為了測量形成于處理對象基板的微米級的圖案的線寬而具有載置基板的載置臺、光學顯微鏡以及攝像部。在該檢查裝置中具有自動調焦功能，在載置于載置臺的處理對象基板的測量點自動地進行對焦來進行拍攝。拍攝得到的圖像被發送到圖像處理部，測量測量點處的圖案的線寬，進行處理對象基板的檢查。

另外，在上述檢查裝置中，在進行光學顯微鏡的驅動、處理對象基板的輸送時產生振動。作為該振動，例如可舉出為了防止損傷而通過空氣使處理對象基板懸浮來輸送的懸浮輸送所產生的振動。由于傳遞至基板的振動，光學顯微鏡的焦點位置產生偏離，會獲取到焦點位置偏離的攝像圖像。由此，可能會無法維持線寬的測量精度。

針對該問題公開了如下技術：一邊使光學顯微鏡相對于處理對象基板相對地移動，一邊以預先設定的攝像間隔進行拍攝來獲取斷層圖像，由此獲取焦點位置不同的圖像(例如參照專利文獻1)。在專利文獻1中，在獲取到的斷層圖像中分別計算對比度值，根據該對比度值來檢測圖案的邊緣，測量線寬。

專利文獻1：日本特開2008-14646號公報

發明內容

發明要解決的問題

然而，雖然在專利文獻1所公開的技術中能夠維持對測量項目的測量精度，但是由于在一個攝像區域內根據各斷層圖像的對比度值來檢測圖案的邊緣，因此圖像的大小和檢查區域的大小越大、數量越多則對比度值的計算處理和邊緣檢測處理的負荷、所需時間越增加。由此，線寬測量所需的時間有可能也會有所增加。

本發明是鑒于上述情形而完成的，目的在于提供一種能夠維持測量精度并抑制處理時間的增加的圖像處理系統、圖像處理方法以及圖像處理程序。

用于解決問題的方案

為了解決上述問題而達到目的，本發明所涉及的圖像處理系統的特征在于，具備：圖像獲取部，其獲取攝像對象的圖像數據；預處理裝置，其對上述圖像獲取部獲取到的圖像數據實施規定的預處理；以及控制裝置，其具有后處理部，該后處理部在上述預處理裝置實施了處理的圖像數據中提取測量對象的圖像數據，使用提取出的該圖像數據來進行與測量項目相應的測量處理，該控制裝置以能夠通信的方式保持上述預處理裝置，并且輸出上述后處理部進行測量處理得到的測量結果。

另外，本發明所涉及的圖像處理系統的特征在于，在上述發明中，上述預處理裝置分別計算多個上述圖像數據的對比度值，上述后處理部根據由上述預處理裝置計算出的對比度值來對上述圖像數據排序，將該排序中最靠前的圖像數據或者該排序中靠前的多個圖像數據作為上述測量對象的圖像數據而提取出來。

另外，本發明所涉及的圖像處理系統的特征在于，在上述發明中，上述預處理裝置分別計算多個上述圖像數據的對比度值，根據該對比度值來進行測量位置檢測處理，在該測量位置檢測處理中檢測進行上述測量處理的測量位置，上述后處理部根據通過上述預處理部的檢測處理而得到的上述測量位置來進行測量處理。

另外，本發明所涉及的圖像處理系統的特征在于，在上述發明中，上述后處理部根據從上述預處理裝置獲取到的多個上述圖像數據來實施回歸分析，根據通過該回歸分析而得到的評價值來提取上述測量對象的圖像數據。

另外，本發明所涉及的圖像處理系統的特征在于，在上述發明中，上述后處理部提取多個圖像數據，使用提取出的該圖像數據分別進行與測量項目相應的測量處理，利用規定的算法在與各圖像數據相應的測量結果中決定輸出至上述控制裝置的測量結果。

另外，本發明所涉及的圖像處理系統的特征在于，在上述發明中，上述控制裝置以可裝卸的方式保持上述預處理裝置。

另外，本發明所涉及的圖像處理方法是對攝像對象的圖像數據實施圖像處理的方法，該圖像處理方法的特征在于，包括：圖像獲取步驟，獲取上述圖像數據；預處理步驟，預處理裝置對在上述圖像獲取步驟中獲取到的圖像數據實施規定的預處理；后處理步驟，在通過上述預處理步驟被實施了處理的圖像數據中提取測量對象的圖像數據，使用提取出的該圖像數據來進行與測量項目相應的測量處理；以及輸出步驟，輸出通過上述后處理步驟中的測量處理而得到的測量結果。