[發(fā)明專利]光學(xué)泵浦垂直外腔表面發(fā)射激光設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380021857.5
• 申請日: 2013-04-11
• 公開（公告）號: CN104247174B
• 公開（公告）日: 2018-02-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: S.格羅恩博爾恩;M.米勒
• 申請（專利權(quán)）人: 皇家飛利浦有限公司
• 主分類號: H01S5/04
• 分類號: H01S5/04;H01S5/14;H01S5/42;H01S3/08;H01S5/022;H01S5/024;H01S5/026;H01S5/183;H01S5/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 張同慶,景軍平

1.一種光學(xué)泵浦垂直外腔表面發(fā)射激光設(shè)備，包括至少一個垂直外腔表面發(fā)射激光器（200）和若干泵浦激光二極管（300），

所述垂直外腔表面發(fā)射激光器（200）包括

- 疊層，其至少形成垂直外腔表面發(fā)射激光器（200）的第一端鏡（107，105）和有源區(qū)（108），以及

- 第二端鏡（410），其形成垂直外腔表面發(fā)射激光器（200）的外腔，

所述泵浦激光二極管（300）被布置成通過在鏡元件（400）處反射泵浦輻射（310）而光學(xué)地泵浦所述有源區(qū)（108），

其中所述鏡元件（400）布置在垂直外腔表面發(fā)射激光器（200）的光軸（210）上，并且被設(shè)計成將所述泵浦輻射（310）聚集在有源區(qū)（108）中并且同時形成垂直外腔表面發(fā)射激光器（200）的第二端鏡（410），其中泵浦激光二極管（300）被布置成朝鏡元件（400）定向基本上平行于光軸（210）的泵浦輻射，使得泵浦激光二極管（300）提供的泵浦光斑自動地與垂直外腔表面發(fā)射激光器（200）的光模對準。

2.依照權(quán)利要求1的設(shè)備，

其中所述泵浦激光二極管（300）為垂直腔表面發(fā)射激光器。

3.依照權(quán)利要求1或2的設(shè)備，

其中所述泵浦激光二極管（300）在第一芯片上形成，并且垂直外腔表面發(fā)射激光器（200）的所述疊層在第二芯片上形成，所述第一和第二芯片安裝在公共基板或者散熱器（501）上。

4.依照權(quán)利要求2的設(shè)備，

其中所述垂直腔表面發(fā)射激光器以及垂直外腔表面發(fā)射激光器（200）的所述疊層在相同芯片上形成。

5.依照權(quán)利要求4的設(shè)備，

其中所述垂直腔表面發(fā)射激光器以及垂直外腔表面發(fā)射激光器（200）的所述疊層起源于芯片上的相同層序列（100，103-109）。

6.依照權(quán)利要求5的設(shè)備，

其中所述層序列（100，103-109）包括形成垂直腔表面發(fā)射激光器的層結(jié)構(gòu)的第一層序列（103-106）以及形成垂直外腔表面發(fā)射激光器（200）的疊層的層結(jié)構(gòu)的第二層序列（107-109），所述第一和第二層序列通過蝕刻停止層（100）分離。

7.依照權(quán)利要求1的設(shè)備，

其中所述鏡元件（400）包括形成所述第二端鏡的中心區(qū)（410）以及被設(shè)計成將所述泵浦輻射（310）反射和聚集到垂直外腔表面發(fā)射激光器（200）的有源區(qū)（108）中的外部區(qū)（420，421）。

8.依照權(quán)利要求7的設(shè)備，

其中所述中心區(qū)和所述外部區(qū)以不同的曲率形成。

9.依照權(quán)利要求1的設(shè)備，

其中所述鏡元件（400）的所述外部區(qū)（420，421）被設(shè)計成在垂直外腔表面發(fā)射激光器（200）的有源區(qū)（108）中生成泵浦輻射（310）的強度分布，所述強度分布與垂直外腔表面發(fā)射激光器（200）的激光模式匹配。

10.依照權(quán)利要求1的設(shè)備，

其中所述鏡元件（400）的所述中心區(qū)（410）被設(shè)計成在垂直外腔表面發(fā)射激光器（200）中生成不具有高斯強度剖面的激光模式。

11.依照權(quán)利要求1的設(shè)備，

其中所述鏡元件（400）的主體由對于垂直外腔表面發(fā)射激光器（200）的激光輻射光學(xué)透明的材料制成。

12.依照權(quán)利要求1的設(shè)備，

其中所述泵浦激光二極管（300）被布置成朝所述鏡元件（400）發(fā)射基本上平行于垂直外腔表面發(fā)射激光器（200）的光軸（210）的所述泵浦輻射（310）。