[發明專利]輸送裝置

有效

• 申請號: 201380021075.1
• 申請日: 2013-02-26
• 公開（公告）號: CN104245547A
• 公開（公告）日: 2014-12-24
• 發明（設計）人: 王鵬;和田芳幸;松尾研吾
• 申請（專利權）人: 株式會社IHI
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06;H01L21/677
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 丁文蘊;王莉莉

技術領域

本發明涉及使如薄的玻璃那樣的基板懸浮而進行輸送的輸送裝置。

背景技術

在以液晶顯示器為代表的平板顯示器的制造中，為了無損傷地輸送如薄的玻璃那樣的基板，利用使基板懸浮而進行輸送的輸送裝置。這種輸送裝置通常具備噴出壓縮空氣的懸浮裝置，并且具備與懸浮的基板接觸并對其給與驅動力的帶式輸送機或者輥式輸送機。

附著于玻璃基板上的塵埃、其表面的傷痕對顯示器的品質帶來重大的影響。塵埃的附著、表面的傷痕的主要原因之一是玻璃基板與輸送裝置等接觸。另一方面，由于玻璃基板例如厚度為0.7mm或其以下，因此具有撓性，為了防止輸送中的接觸，重視在將基板保持為平坦的狀態下進行輸送。近年來，還渴望薄的玻璃，將玻璃保持為平坦地進行輸送更加困難。

專利文獻1公開了具備帶式輸送機的輸送裝置的技術。根據該技術，帶具備以等間隔配置的突起，突起與懸浮的玻璃基板接觸來對其進行輸送。

專利文獻2公開了具備輥式輸送機的輸送裝置技術。根據專利文獻2，“存在玻璃基板的通過線中央部向上方較大地浮起、或下垂的彎曲變得明顯的情況。”被認為是技術課題。為了解決該課題，通過調節來自寬度方向中央位置的氣動工作臺單元的空氣供給量，來抑制玻璃基板的彎曲。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本國專利申請公開2008－066661號

專利文獻2：日本國專利申請公開2008－260591號

發明內容

發明所要解決的課題

上述那樣的技術能夠大體上平坦地保持玻璃基板。但是，關于在輸送方向上、如前端的彎曲那樣的局部的彎曲，仍然留有技術的課題。即、在玻璃基板從一個輥向下一個輥移動，或者，從一個輸送裝置向下一個輸送裝置移動，由于沒有支撐前端的構件，因此前端因自重而向下方彎曲。存在前端容易與輥或者輸送裝置沖突的問題。

本發明是鑒于上述的問題而提出的方案。本發明的發明者發現，與上述那樣的技術常識相反地，僅將玻璃基板的寬度方向的兩端平坦地支撐，而使玻璃基板的中央部稍微彎曲，從而可抑制前端的彎曲，由此想到了本發明。

用于解決課題的方案

根據本發明的一個方案，用于利用氣體使對象物懸浮并向第一方向輸送的輸送裝置具備：懸浮部，其噴出上述氣體對上述對象物加壓從而使上述對象物懸?。惠斔筒?，其具備帶以及多個輥中的至少一方，該帶是在上述第一方向上延伸的環形帶，并具備為與上述對象物接觸而突出的多個突起，該多個輥在上述第一方向上能夠旋轉，并在上述第一方向上排列，上述輸送部為與上述對象物接觸并將其向上述第一方向驅動而構成；罩，其覆蓋上述輸送部，或者與上述輸送部鄰接地平行延伸，其僅使上述多個突起或者上述多個輥的各自的上端突出，并具備與上述對象物的下表面平行的面；以及吸引部，其對上述罩內給與負壓而使上述對象物與上述輸送部接觸。

發明的效果

能夠防止基板的前端的彎曲，并能夠防止基板和輸送裝置等沖突。

附圖說明

圖1是表示本發明的一個實施方式的輸送裝置的一部分的立體圖。

圖2是本實施方式的輸送裝置的三視圖。

圖3是本實施方式的輸送部以及吸引部的橫向剖視圖。

圖4是其他實施方式的輸送部以及吸引部的橫向剖視圖。

圖5是另一實施方式的吸引部以及輸送部的橫向剖視圖。

圖6是表示再一實施方式的輸送裝置的一部分的立體圖。

圖7是表示通過中央附近彎曲而防止前端彎曲的情形的基板的立體圖。

具體實施方式

以下參照附圖對本發明的例示的幾個的實施方式進行說明。

本發明的實施方式的輸送裝置能夠適合用于例如在清潔室內輸送如玻璃基板那樣薄的對象物。在玻璃基板的情況下，不僅將厚度0.7mm左右的基板作為對象，而且厚度0.1～0.3mm左右的極薄的基板也能夠作為對象。

參照圖1，本發明的一個實施方式的輸送裝置100具備使工件W(對象物)懸浮的懸浮部116、和向方向X(第一方向)驅動工件W的輸送部120。懸浮部116具備噴出氣體的開口116a，噴出的氣體對工件W給與正壓，因此，工件W懸浮。輸送部120具備由馬達等向方向X被驅動的多個突起114，突起114與工件W接觸來輸送工件W。輸送部120通過具備吸引部128來吸引突起114的周圍的氣體而使工件W與突起114接觸，詳細內容將于后文敘述。也可以不通過懸浮部116而是僅通過輸送部120來支撐并輸送工件W。