[發(fā)明專利]顆粒吸附探頭

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380020552.2
• 申請(qǐng)日: 2013-04-09
• 公開（公告）號(hào): CN104271320A
• 公開（公告）日: 2015-01-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 前野洋平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日東電工株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B25J7/00
• 分類號(hào): B25J7/00;B25J15/06;B82Y35/00;G01N1/02;G01N15/00
• 代理公司: 北京尚誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顆粒吸附探頭。詳細(xì)而言，涉及例如適合在分析用途等中，為了拾取分散存在于分析對(duì)象物表面的微粒，運(yùn)入分析裝置內(nèi)進(jìn)行分析評(píng)價(jià)等而使用的顆粒吸附探頭。

背景技術(shù)

通過(guò)對(duì)分散存在于部件表面的異物的組成和形狀等進(jìn)行分析評(píng)價(jià)，了解該部件的制造工藝中該異物的混入途徑等，對(duì)于提供沒(méi)有異物的清潔的部件而言是至關(guān)重要的。

作為對(duì)分散存在于部件表面的異物的組成和形狀進(jìn)行評(píng)價(jià)的裝置，通常使用將鎢探頭或切刀(micro?knife)用作取樣工具的顆粒吸附探頭。通過(guò)使用這種顆粒吸附探頭，利用上述取樣工具拾取分散存在于部件表面的異物并運(yùn)入分析裝置內(nèi)，對(duì)該異物的組成和形狀等進(jìn)行分析評(píng)價(jià)(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。

但是，在將鎢探頭或切刀用作取樣工具的顆粒吸附探頭中，為了拾取異物，需要施加將取樣工具刺進(jìn)異物等的物理應(yīng)力。在施加了這種物理應(yīng)力時(shí)，會(huì)出現(xiàn)表面被覆材料脫落或表面凹凸、層構(gòu)造的變化等，產(chǎn)生表面的自然的結(jié)構(gòu)、組成觀察困難等問(wèn)題。

另一方面，為了不施加物理應(yīng)力地拾取異物，在使用糊劑等粘接劑或雙面膠帶等粘合劑作為取樣工具時(shí)，存在由于它們所含的有機(jī)成分導(dǎo)致異物表面被污染、不能進(jìn)行該異物的準(zhǔn)確的分析評(píng)價(jià)的問(wèn)題。另外，使用如上所述的粘接劑或粘合劑作為取樣工具的情況下，難以從粒徑分布寬的顆粒群中選擇性地拾取特定粒徑的顆粒。

另外，在將使用現(xiàn)有的顆粒吸附探頭拾取的異物運(yùn)入分析裝置內(nèi)進(jìn)行分析評(píng)價(jià)時(shí)，運(yùn)入分析裝置內(nèi)的該異物在分析評(píng)價(jià)時(shí)需要重新用糊劑等固定，工序繁瑣。

在先技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2008－52232號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的課題

本發(fā)明的課題在于提供一種新型的顆粒吸附探頭，用于吸附并拾取顆粒，在拾取顆粒時(shí)不需要施加物理應(yīng)力，在顆粒拾取時(shí)不會(huì)污染異物表面，能夠從粒徑分布寬的顆粒群中選擇性地拾取特定粒徑的顆粒，能夠在拾取顆粒后直接在分析裝置內(nèi)進(jìn)行分析評(píng)價(jià)。

用于解決課題的技術(shù)方案

本發(fā)明的顆粒吸附探頭具有具備多個(gè)碳納米管的碳納米管集合體。

在優(yōu)選的實(shí)施方式中，本發(fā)明的顆粒吸附探頭在軸狀基材上設(shè)有上述碳納米管集合體。

在優(yōu)選的實(shí)施方式中，上述碳納米管具有多層，該碳納米管的層數(shù)分布的分布幅度為10層以上，該層數(shù)分布的最頻值的相對(duì)頻率為25％以下。

在優(yōu)選的實(shí)施方式中，上述碳納米管具有多層，該碳納米管的層數(shù)分布的最頻值存在于層數(shù)10層以下，該最頻值的相對(duì)頻率為30％以上。

在優(yōu)選的實(shí)施方式中，本發(fā)明的顆粒吸附探頭選擇性地吸附直徑為200μm以下的顆粒。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種新型的顆粒吸附探頭，用于吸附并拾取顆粒，在拾取顆粒時(shí)不需要施加物理應(yīng)力，在顆粒的拾取時(shí)不會(huì)污染異物表面，能夠從粒徑分布寬的顆粒群中選擇性地拾取特定粒徑的顆粒，能夠在拾取顆粒后直接在分析裝置內(nèi)進(jìn)行分析評(píng)價(jià)。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明優(yōu)選的實(shí)施方式中顆粒吸附探頭的一個(gè)示例的截面示意圖。

圖2是本發(fā)明優(yōu)選的實(shí)施方式中顆粒吸附探頭的另一個(gè)示例的截面示意圖。

圖3是本發(fā)明優(yōu)選的實(shí)施方式中納米壓入儀用試料固定部件包括碳納米管集合體時(shí)的該碳納米管集合體的制造裝置的截面示意圖。

圖4是表示實(shí)施例3中得到的顆粒吸附探頭上吸附有顆粒的狀態(tài)的掃描型電子顯微鏡(SEM)的照片圖。

具體實(shí)施方式

《顆粒吸附探頭》

本發(fā)明的顆粒吸附探頭具有碳納米管集合體，該碳納米管集合體具備多個(gè)碳納米管。本發(fā)明的顆粒吸附探頭，優(yōu)選至少在前端部分具有具備多個(gè)碳納米管的碳納米管集合體。本發(fā)明的顆粒吸附探頭通過(guò)具有這種碳納米管集合體，在拾取顆粒時(shí)不需要施加物理應(yīng)力，在顆粒的拾取時(shí)不會(huì)污染異物表面，能夠從粒徑分布寬的顆粒群中選擇性地拾取特定粒徑的顆粒，能夠在拾取顆粒后直接在分析裝置內(nèi)進(jìn)行分析評(píng)價(jià)。

本發(fā)明的顆粒吸附探頭例如可以為僅由具備多個(gè)碳納米管的碳納米管集合體構(gòu)成的結(jié)構(gòu)，也可以為在軸狀基材上設(shè)有具備多個(gè)碳納米管的碳納米管集合體的結(jié)構(gòu)。在此，軸狀基材是指制成軸形狀的基材，有時(shí)也可以稱為例如軸、支柱、金屬柱等。

圖1是本發(fā)明優(yōu)選的實(shí)施方式中顆粒吸附探頭的一個(gè)示例的截面示意圖。在圖1中，本發(fā)明的顆粒吸附探頭1000僅由具有多個(gè)碳納米管10的碳納米管集合體100構(gòu)成。在圖1中，多個(gè)碳納米管10分別在長(zhǎng)度L的方向上取向，構(gòu)成束狀的碳納米管集合體100。