[發(fā)明專(zhuān)利]搬運(yùn)裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380020061.8
• 申請(qǐng)日: 2013-02-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104245546A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-12-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王鵬;松尾研吾;和田芳幸
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 株式會(huì)社IHI
• 主分類(lèi)號(hào): B65G49/06
• 分類(lèi)號(hào): B65G49/06;H01L21/677
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 張敬強(qiáng);嚴(yán)星鐵

1.一種搬運(yùn)裝置，其用于通過(guò)氣體使對(duì)象物懸浮并將該對(duì)象物向第一方向搬運(yùn)，該搬運(yùn)裝置的特征在于，具備：

懸浮部，其通過(guò)噴出上述氣體對(duì)上述對(duì)象物加壓而使上述對(duì)象物懸浮；

搬運(yùn)部，其具備皮帶及多個(gè)輥中至少一方，該皮帶為沿上述第一方向延伸的環(huán)形帶，具備為與上述對(duì)象物接觸而突出的多個(gè)突起，該輥能夠向上述第一方向旋轉(zhuǎn)，沿上述第一方向排列，該搬運(yùn)部構(gòu)成為與上述對(duì)象物接觸并向上述第一方向驅(qū)動(dòng)；

罩，其覆蓋上述搬運(yùn)部，并僅使上述多個(gè)突起或上述多個(gè)輥各自的上端突出；以及

吸引部，其使上述罩內(nèi)處于負(fù)壓而使上述對(duì)象物與上述搬運(yùn)部接觸。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，

上述懸浮部或上述搬運(yùn)部包括變形單元，該變形單元構(gòu)成為使上述對(duì)象物能夠在其寬度方向中央彎曲。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，

上述變形單元是構(gòu)成為在上述懸浮部產(chǎn)生低于上述多個(gè)突起上的上述對(duì)象物的高度的懸浮高度的氣體供給裝置，或者是形成為高于上述懸浮部的上述對(duì)象物的懸浮高度的上述多個(gè)突起。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，

上述多個(gè)突起各自的前端具有朝向上述懸浮部下降的傾斜。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，

上述吸引部是設(shè)置于上述罩內(nèi)的風(fēng)扇、鼓風(fēng)機(jī)或者泵。